Màng đa lớp micro nano

Luận án trình bày các nội dung chính sau: Chế tạo các màng mỏng (sắt điện, kênh dẫn, điện cực) bằng phương pháp dung dịch với chất lượng màng tốt, không nứt gãy, độ lặp lại cao mở ra hướng chế tạo; Khảo sát một cách có hệ thống sự ảnh hưởng của nhiệt độ ủ, chiều dày của các màng mỏng điện cực; Thiết kế, chế tạo và khảo sát hoạt động của các bộ nhớ sắt điện FGT.

26p viyeri2711 14-09-2021 15 3   Download