Mũi dò quét định hướng

Luận án "Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic" được thực hiện nhằm phát triển hệ lò xo vi cơ ưu tiên dao động theo phương vuông góc với mặt phẳng đế chế tạo trục z); thiết lập quy trình chế tạo mũi dò khắc có kích thước nano sử dụng kỹ thuật quang khắc và vi cơ khối ướt truyền thống.

154p kimphuong1121 11-08-2023 10 6   Download

Luận án "Nghiên cứu thiết kế hệ thống lò xo vi treo kiểu dầm cong kết cặp cơ và chế tạo mũi dò quét định hướng ứng dụng khắc các cấu trúc nano plasmonic" được thực hiện nhằm phát triển hệ lò xo vi cơ ưu tiên dao động theo phương vuông góc với mặt phẳng đế chế tạo trục z); thiết lập quy trình chế tạo mũi dò khắc có kích thước nano sử dụng kỹ thuật quang khắc và vi cơ khối ướt truyền thống.

27p kimphuong1121 11-08-2023 8 4   Download

Mục tiêu của đề tài nghiên cứu nhằm phát triển các bộ vi chấp hành một chiều (trục z) có dịch chuyển thắng đứng để khắc phục độ lệch biên, có dịch chuyển lớn và chống nhiếu kết cặp mode; thiết kế bộ chấp hành ba chiều có thể điều khiển độc lập, tích hợp trên cùng một linh kiện, công nghệ chế tạo đơn giản, có thể thực hiện được với công nghệ hiện có ở trong nước, định hướng ứng dụng các bộ vi dịch chuyển có tích hợp mũi dò trong khắc các cấu trúc nano dạng mảng hai chiều.

133p ruby000 22-09-2021 21 5   Download