Bài thuyết trình Stylus Profiler

Chia sẻ: Lavie Lavie | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:18

Thêm vào BST

Báo xấu

70
lượt xem 3
download

Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

Bài thuyết trình Stylus Profiler nêu lên cấu tạo của Stylus Profiler, nguyên tắc hoạt động của Stylus Profiler và ứng dụng của Stylus Profiler. Mời các bạn tham khảo bài thuyết trình để hiểu rõ hơn về những nội dung này.

Chủ đề:

Bình luận(0) Đăng nhập để gửi bình luận!

Lưu

Nội dung Text: Bài thuyết trình Stylus Profiler

Mục Lục Stylus Profiler Cấu tạo Nguyên tắc hoạt động Một số ứng dụng GVHD : TS. Lê Vũ Tuấn Hùng SVTH : Nguyễn Duy Khánh
 Cấu tạo Stylus Profiler Cấu tạo Nguyên tắc hoạt động Một số ứng dụng
 Cấu tạo Stylus Profiler Camera Mũi dò Đĩa giữ mẫu Bộ dịch chuyển Vít điều chỉnh
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g Stylus Profiler Cấu tạo Nguyên tắc hoạt động Một số ứng dụng
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g Stylus Profiler Bộ biến đổi vi sai Tín hiệu AC tuyến tính (LVDT) • Bộ khuếch đại • Bộ lọc Bộ chuyển đổi A-D Mũi dò - Tip • Hình thái bề mặt (2D-3D) • Độ dày màng Mẫu
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g Stylus Profiler Mũi dò – Tip ~1.016mm • Hình dạng Tín hiệu: 2AC loại chính : Ball-stylus và Chisel-Stylus Bộ biến đổi vi sai tuyến tính Mũi dò - Tip • Kích thước : (LVDT) *• Bề Bộ mặt mịnđại khuếch < 2m ~880 m *• Bề Bộ mặt lọc nhám : 2 – 10 m • Vật liệu : Bộ chuyển đổi A-D Mẫu * Bề mặt kim loại : Saphere, Ruby * Bề mặt thuỷ tinh : SiN • Lực kéo Ball tip : • Hình thái bề mặt (2D-3D) • Giảm tín hiệu nhiễu • Độ dày màng • Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò • Sử dụng cho nhiều loại vật liệu Chisel tip : • Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao Ball tip Chisel tip
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g Stylus Profiler ~1.016mm Tín hiệu AC • Bộ khuếch đại Scan direction ~880 m • Bộ lọc Bộ chuyển đổi A-D Barrier Mẫu Height ~880 nm Ball tip : • Hình thái bề mặt (2D-3D) • Giảm tín hiệu nhiễu • Độ dày màng • Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò • Sử dụng cho nhiều loại vật liệu Chisel tip : • Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao Ball tip Chisel tip
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g Stylus Profiler ~1.016mm Tín hiệu AC • Bộ khuếch đại Scan direction ~880 m • Bộ lọc Bộ chuyển đổi A-D Barrier Mẫu Height ~880 nm Ball tip : • Hình thái bề mặt (2D-3D) • Giảm tín hiệu nhiễu • Độ dày màng • Tiếp xúc tốt giữa bề mặt vật liệu – mũi dò • Sử dụng cho nhiều loại vật liệu Chisel tip : • Bề mặt có độ cứng và gồ ghề cao Ball tip Chisel tip
 N g u yê n t ắ c h o ạ t đ ộ n g Stylus Profiler Bộ biến đổi vi sai tuyến tính (LVDT)
 Một số ứng dụng Stylus Profiler Cấu tạo Nguyên tắc hoạt động Một số ứng dụng
 Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg L RP 1 RV R A =  z dx Z L0 RT L 1 5 5  o RA : Độ gồ ghề trung bình R Z =   z P + z V  o RP : Độ lớn đỉnh cao nhất nằm trên đường chuẩn 5  i=1 i i=1 i  o RV : Độ lớn vị trí thấp nhất nằm dưới đường chuẩn o RT : Khoảng cách điểm cao nhất và thấp nhất o RZ : Độ cao trung bình của 5 đỉnh cao nhất và sâu nhất
 Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 2mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg 100 m – 500 m
 Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Bước lấy mẫu dài  không chi tiết Bước lấy mẫu ngắn  nhiễu Lmax = 2mm o L  80m : 0.04 – 0.2 m o 80  L  400 m : 0.2m – 1.0 m o 400  L  2000 m : 1.0m – 5.0 m
 Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Bước lấy mẫu dài  không chi tiết Bước lấy mẫu ngắn  nhiễu Lmax = 2mm o L  80m : 0.04 – 0.2 m o 80  L  400 m : 0.2m – 1.0 m o 400  L  2000 m : 1.0m – 5.0 m
 Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg • Thuỷ tinh – Ceramic • Áp suất bề mặt mẫu - tip 1  6WE'2  3 Po =  3 2   R  • R = 0,1 m, W = 1mg • Ni-P E = 83 GPa : Thuỷ tinh – Ceramic 130 GPa : Ni-P 1140 GPa : Mũi dò kim cương  PG-C = 11,4 GPa và PNi-P = 15 Gpa lớn hơn độ cứng của vật liệu  Phá huỷ
 Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg
 Một số ứng dụng Stylus Profiler Một số ứng dụng Thông số • Chiều dài quét : 30m – 30mm • Tốc độ quét : lý tưởng 5 – 10 m/s  Số điểm quét = n  thời gian quét • Lực quét : load 1 – 15mg Đường ITO Thủy tinh
Thanks for your attention !