Ccơ chế vật lý của phương pháp sputtering

Bài giảng Tạo màng bằng phương pháp sputtering đưa ra khái niệm phún xạ, cơ chế vật lý của phương pháp sputtering, điều kiện cần cho phún xạ, hiệu suất phún xạ, sơ đồ cấu tạo của hệ phún xạ, kỹ thuật phún xạ,... Mời các bạn tham khảo.

35p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 97 5   Download