Chế tạo hệ CVD

Hiện nay các loại cảm biến khí thế hệ mới trên cơ sở vật liệu có cấu trúc nano với nhiều tính năng ưu việt đang thu hút được các nghiên cứu đặc biệt là các dây nano oxit bán dẫn như SnO2, ZnO, TiO2 và In2O3...Trong nghiên cứu này, đã chế tạo dây nano oxit indium đơn tinh thể (NW) trên điện cực cài răng lược Platin bằng phương pháp CVD.

5p viaespa2711 31-07-2021 44 2   Download

Mục đích của đề tài là thiết kế và chế tạo màng mỏng nanocomposite với các tinh thể TiC phân tán trên nền vô định hình carbon giống kim cương (DLC) bằng phương pháp phún xạ magnetron (một dạng PVD) kết hợp CVD. Màng được kỳ vọng có độ cứng cao từ tỷ lệ lớn sp3 (giống kim cương của carbon) của nền kết hợp với cốt là các tinh thể nano TiC có kích thước vài nm. Hệ số ma sát thấp do có sự chuyển hóa từ cấu trúc sp3 (kim cương) sang sp2 (graphite) trong quá trình chịu tải.

160p capheviahe28 01-03-2021 43 6   Download

Bài viết nghiên cứu chế tạo hệ CVD nhằm sản xuất graphene trên đế Cu. Bài viết cũng làm rõ cơ chế hình thành graphene trên đế Cu và đưa ra được quy trình chi tiết chế tạo graphene bằng phương pháp CVD.

6p viatani2711 14-02-2020 78 5   Download