Hướng dẫn phún xạ magnetron

Bài viết "Chế tạo và nghiên cứu tính chất vật lý của màng dẫn trong suốt ZnO pha tạp Ag bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron" nghiên cứu công suất phún xạ ảnh hưởng mạnh đến độ kết tinh của màng thu được trong khi nồng độ pha tạp quyết định độ dẫn. Nồng độ pha tạp 1% cho màng có độ dẫn cao nhất (điện trở suất ~ 8×10-4Ω.cm) và có xu hướng giảm ở các nồng độ pha tạp cao hơn. Độ truyền qua của các màng mỏng ZnO:Ag trong vùng nhìn thấy bị giảm đi khi tăng nồng độ pha tạp nhưng vẫn đáp ứng yêu cầu để làm màng dẫn trong suốt trong các linh kiện quang điện tử.

8p nhanchienthien 25-07-2023 9 3   Download

Màng mỏng trong suốt dẫn điện ZnO pha tạp F (FZO) được lắng đọng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron từ bia gốm ZnO pha tạp ZnF2 . Cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quang của màng FZO được nghiên cứu theo sự thay đổi nhiệt độ lắng đọng (100-300o C), bằng các phương pháp như phổ nhiễu xạ tia X (XRD), phép đo Hall và phổ truyền qua UV-Vis. Kết quả XRD cho thấy các màng FZO đều có cấu trúc đặc trưng hexagonal wurtzite của ZnO, với định hướng ưu tiên theo trục c vuông góc với bề mặt đế.

5p quenchua1 11-11-2019 89 4   Download

Màng SnO2 pha tạp Ga (GTO) được chế tạo từ bia gốm hỗn hợp (SnO2 + Ga2O3) bằng phương pháp phún xạ magnetron DC trong khí nền Ar ở áp suất 4.10-3 torr. Ảnh nhiễu xạ tia X (XRD), phương pháp đo Hall Van Der Pauw và phổ truyền qua UV- Vis được sử dụng để khảo sát đặc trưng của màng. Mời các bạn cùng tham khảo kết quả nghiên cứu.

10p bautroibinhyen17 13-02-2017 81 5   Download

Phún xạ là kỹ thuật chế tạo màng mỏng dựa trên nguyên lý truyền động năng bằng cách dùng các iôn khí hiếm được tăng tốc dưới điện trường bắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động năng cho các nguyên tử này bay về phía đế và lắng đọng trên đế. Để tìm hiểu sâu hơn về vấn đề này mời các bạn tham khảo "Báo cáo Phương pháp phún xạ magnetron trong chế tạo màng mỏng".

31p codon_01 18-11-2015 142 20   Download