Màng mỏng PZT

Luận văn nghiên cứu và phát triển màng mỏng sắt điện nhằm định hướng cho những ứng dụng trong bộ nhớ sắt điện (FeRAM), các sensor, hay thiết bị vi cơ điện tử (MEMS/NEMS) đã và đang diễn ra rất mạnh mẽ và đa dạng trong những năm gần đây.

79p guitaracoustic04 20-12-2021 28 2   Download

Nội dung chính của luận văn này là tiến hành nghiên cứu và chế tạo màng mỏng PZT bằng phương pháp dung dịch, vì đây là phương pháp đơn giản có chi phí đầu tư thấp, tiêu hao ít vật liệu và năng lượng phù hợp với điều kiện nghiên cứu của Việt Nam. Mời các bạn cùng tham khảo.

83p capheviahe28 01-03-2021 30 4   Download

Luận án nghiên cứu chế tạo màng mỏng áp điện PZT bằng phương pháp quay phủ sol-gel đã thu được các màng mỏng PZT với độ ổn định và với chất lượng cao; đóng góp những hiểu biết mới về việc tối ưu hóa quy trình công nghệ chế tạo màng mỏng áp điện bằng phương pháp quay phủ sol-gel.

24p change04 08-06-2016 96 15   Download