Phương pháp phún xạ phản ứng DC

Đề tài này tập trung vào việc khảo sát và chế tạo được màng AIN bằng phương pháp vật lý sử dụng phún xạ DC có phản ứng từ bia AI nguyên chất trong điều kiện thí nghiệm tại Phòng thí nghiệm trung tâm Nano và Năng lượng, Đại học Khoa học Tự nhiên Hà Nội. Để hiểu rõ hơn mời các bạn cùng tham khảo nội dung chi tiết của luận văn này.

63p thewizardofoz 28-08-2021 32 6   Download