Tạo màng bằng phương pháp sputtering

Luận văn tìm hiểu về các ứng dụng của màng nano vàng và phương pháp chế tạo, từ đó xây dựng quy trình chế tạo màng vàng trên đế lamen bằng phương pháp hóa học; chế tạo thành công màng nano vàng trên đế lamen từ các hạt mầm vàng; trong cùng điều kiện chế tạo, độ lặp lại của mẫu khá cao.

56p capheviahe28 01-03-2021 31 4   Download

Cảm biến màng mỏng WO3 được chế tạo thành công từ bia nguồn W sử dụng kết hợp phương pháp phún xạ phản ứng (reactive sputtering) kết hợp với kỹ thuật quang khắc (photolithography). Chiều dày màng mỏng, vi cấu trúc và hình thái bề mặt của vật liệu được khảo sát bằng thiết bị đo chiều dày màng mỏng (α-step), giản đồ nhiễu xạ tia X và kính hiển vi điện tử quét.

5p vimariecurie2711 01-08-2019 57 3   Download

Đề tài khảo sát ảnh hưởng của chiều dày màng lên cấu trúc, hình thái học và tính chất đảo điện trở thuận nghịch của màng mỏng CrOx được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron cao áp một chiều (Dc-sputtering). Các kết quả khảo sát phổ tán xạ Raman và phổ dao động hồng ngoại FTIR cho thấy màng mỏng CrOx lắng đọng ở nhiệt độ phòng có thành phần hợp thức đa pha, gồm Cr2O3, CrO2, Cr8O21...

9p baoanhlib 24-01-2017 71 4   Download

Bài giảng Tạo màng bằng phương pháp sputtering đưa ra khái niệm phún xạ, cơ chế vật lý của phương pháp sputtering, điều kiện cần cho phún xạ, hiệu suất phún xạ, sơ đồ cấu tạo của hệ phún xạ, kỹ thuật phún xạ,... Mời các bạn tham khảo.

35p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 97 5   Download