Tụ điện phẳng kiểu coplanar

Luận văn này trình bày nghiên cứu, thiết kế và chế tạo một cấu trúc cảm biến vi cơ lỏng phát hiện tế bào trong kênh dẫn sử dụng tụ điện phẳng kiểu coplanar (tụ điện với các bản điện cực đồng phẳng với nhau) cấu trúc vòng cung. Cấu trúc cảm biến được đề xuất bao gồm một cấu trúc tụ điện phẳng hình vòng cung gồm 3 điện cực tạo thành cặp tụ vi sai với lớp điện môi bao gồm chất lỏng môi trường và tế bào đích.

68p hanh_tv26 04-04-2019 42 9   Download