Cơ chế ăn mòn Anốt làm xốp SiC trong dung dịch axít hyđroflorit loãng trong ethylen glycol hoặc nước

Trong bài báo này, chúng tôi trình bày các kết quả thực nghiệm để chỉ ra cơ chế ăn mòn anốt trực tiếp SiC trong dung dịch hyđroflorit (HF) loãng. Một lớp SiC xốp đã được tạo ra trên màng SiC vô định hình (aSiC) bằng ăn mòn anốt ở chế độ ổn dòng trong dung dịch axít hyđroflorit loãng với dung môi ehtylen glycol (HF/EG) hoặc nước (HF/H2O). Kết quả cho thấy sự phụ thuộc của hình thái lớp aSiC xốp vào mật độ dòng anốt trong hai trường hợp trên là khác nhau cho mỗi trường hợp.