Điều kiện cần cho phún xạ

Thông thường, các màng mỏng để có thể sử dụng đều được chế tạo trên các lớp đế, là các khối vật liệu đơn tinh thể (VD: Si, MgO, Ge, GaAs, thạch anh...). Các kỹ thuật chế tạo màng mỏng bắt đầu được phát triển từ cuối thế kỷ 19, cho đến thời điểm hiện tại, có rất nhiều phương pháp được dùng tùy theo mục đích và điều kiện kinh tế, kỹ thuật: Kỹ thuật mạ điện Kỹ thuật phun tĩnh điện Bốc bay nhiệt trong chân không Phún xạ catốt Epitaxy chùm phân tử (MBE) Lắng đọng hơi...

22p tieulaubau 21-06-2011 820 124   Download

Bài giảng Tạo màng bằng phương pháp sputtering đưa ra khái niệm phún xạ, cơ chế vật lý của phương pháp sputtering, điều kiện cần cho phún xạ, hiệu suất phún xạ, sơ đồ cấu tạo của hệ phún xạ, kỹ thuật phún xạ,... Mời các bạn tham khảo.

35p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 107 6   Download

Trong phún xạ, năng lượng được chuyển từ ion đến nguyên tử target phá vỡ liên kết giữa các nguyên tử, bứt những nguyên tử ra khỏi target. Để hiểu rõ hơn về điều này mời các bạn tham khảo bài thuyết trình Các phương pháp thực nghiệm: Phương pháp phún xạ sau đây.

82p maiyeumaiyeu10 17-09-2016 76 11   Download