Phương pháp CVD hai vùng nhiệt
Xem 1-1 trên 1 kết quả Phương pháp CVD hai vùng nhiệt
-
Nghiên cứu này được thực hiện trên cơ sở khảo sát sự hình thành Vanadium dioxit (VO2) bằng phương pháp CVD hai vùng nhiệt kết hợp plasma tăng cường. Nghiên cứu sự ảnh hưởng của plasma đến việc hình thành màng mỏng trên đế thủy tinh đồng thời xác định điều kiện tối ưu nhất để hình thành màng Vanadium dioxit.
3p 
viclerkmaxwel
16-02-2022
39
2
Download
