Phương pháp sputtering

Bài giảng Công nghệ chế tạo các vật liệu từ cấu trúc Nano giới thiệu tới các bạn những nội dung về kỹ thuật mạ điện, phương pháp bay bốc nhiệt, Epitaxy chùm phân tử, ứng dụng, phún xạ catốt (sputtering), bản chất quá trình phún xạ,... Mời các bạn tham khảo.

68p maiyeumaiyeu10 17-09-2016 144 16   Download

Bài giảng Các phương pháp chế tạo màng từ nêu lên cấu tạo màng từ, các phương pháp chế tạo màng từ bao gồm sputtering, phương pháp xung laser, phương pháp epitaxy chùm phân tử. Đặc biệt, trong mỗi phương pháp đều chỉ ra ưu điểm và nhược điểm của nó.

22p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 135 8   Download

Bài giảng Tạo màng bằng phương pháp sputtering đưa ra khái niệm phún xạ, cơ chế vật lý của phương pháp sputtering, điều kiện cần cho phún xạ, hiệu suất phún xạ, sơ đồ cấu tạo của hệ phún xạ, kỹ thuật phún xạ,... Mời các bạn tham khảo.

35p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 103 5   Download

Luận văn tìm hiểu về các ứng dụng của màng nano vàng và phương pháp chế tạo, từ đó xây dựng quy trình chế tạo màng vàng trên đế lamen bằng phương pháp hóa học; chế tạo thành công màng nano vàng trên đế lamen từ các hạt mầm vàng; trong cùng điều kiện chế tạo, độ lặp lại của mẫu khá cao.

56p capheviahe28 01-03-2021 35 4   Download

Cơ chế: + ion hóa hạt trung hòa thanh ion + Tăng tôc ion trong từ trường bắn phá bia, bức các nguyên tử trên bia lắng đọng trên đế DC SPUTTERING + Dùng hiệu điện thế 1 chiều + Khí thường dùng là Ar, He + Áp suất khoảng 10-7 torr + Bia phải dẫn điện + Bia chỉ bị bắn phá ở một của chu kỳ âm của HĐT

13p 0541050239 24-09-2012 257 56   Download