Thuộc tính plasma ion hóa

Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật điện tử "Xác định các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của phân tử khí TRIES và khả năng ứng dụng trong công nghệ chế tạo vi mạch" trình bày các nội dung chính sau: Tổng quan về ứng dụng công nghệ plasma trong kỹ thuật vi điện tử; Xác định được các thuộc tính plasma ion hóa yếu trong va chạm electron của chất khí TRIES và hỗn hợp của chất khí TRIES với các chất khí khác,

165p vibentley 08-09-2022 18 4   Download