Cấu trúc cảm biến SAW

Nghiên cứu này trình bày phương pháp mô phỏng FEM 2D và thực nghiệm chế tạo khảo sát cảm biến SAW có cấu trúc đa lớp Graphene/AlN/Si thay đổi theo độ ẩm. Cảm biến SAW hóa học là loại cảm biến dựa trên hiện tượng thay đổi sóng âm bề mặt.

6p vibranson 30-11-2023 11 5   Download

Luận án "Nghiên cứu về cảm biến thụ động không dây dạng sóng âm bề mặt" được thực hiện nhằm nghiên cứu sự ảnh hưởng của các thông số cấu trúc cảm biến SAW đến biên độ sóng phản xạ; xây dựng phương pháp tính toán góc pha của tín hiệu phản xạ; xây dựng thuật toán đọc thông tin phản hồi đồng thời từ các cảm biến thành phần trong hệ đa cảm biến SAW đường trễ phản xạ (Reflective Delay Lines-RDL) được mã hóa theo phương pháp tần số trực giao (Orthogonal Frequency Coding-OFC).

159p kimphuong1121 11-08-2023 19 6   Download

Luận án "Nghiên cứu về cảm biến thụ động không dây dạng sóng âm bề mặt" được thực hiện nhằm nghiên cứu sự ảnh hưởng của các thông số cấu trúc cảm biến SAW đến biên độ sóng phản xạ; xây dựng phương pháp tính toán góc pha của tín hiệu phản xạ; xây dựng thuật toán đọc thông tin phản hồi đồng thời từ các cảm biến thành phần trong hệ đa cảm biến SAW đường trễ phản xạ (Reflective Delay Lines-RDL) được mã hóa theo phương pháp tần số trực giao (Orthogonal Frequency Coding-OFC).

24p kimphuong1121 11-08-2023 10 4   Download

Bài viết thể hiện quá trình nghiên cứu thiết kế bộ lọc và bộ cộng hưởng kiểu sóng âm bề mặt (Surface Acoustic Wave – SAW) từ các bước tính toán thiết kế, mô phỏng và chế tạo thực nghiệm. Cấu trúc lựa chọn của bộ lọc SAW là kiểu delay line màng mỏng áp điện AlN/Si (Aluminium Nitride/Silicon), bộ cộng hưởng SAW two-port đế khối áp điện Quartz.

8p viengland2711 23-07-2019 145 4   Download