Plasma trong PECVD

Bài giảng Lắng tụ hơi hóa học tăng cường Plasma sau đây được biên soạn nhằm giúp cho các bạn nắm bắt được những kiến thức về CVD thường, CVD nhiệt; Plasma trong CVD, PECVD. Mời các bạn tham khảo bài giảng để bổ sung thêm kiến thức về lĩnh vực này.

62p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 134 8   Download

Bài giảng Plasma trong các phương pháp tạo màng mỏng đưa ra phương pháp CVD, Hóa học trong CVD, hệ CVD, lò phản ứng CVD, ưu điểm PP CVD, ứng dụng của PP CV, PECVD (Plasma Enhanced CVD), Plasma điện dung và một số nội dung khác.

13p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 142 10   Download