Plasma trong phương pháp tạo màng mỏng

Bài giảng Plasma trong các phương pháp tạo màng mỏng đưa ra phương pháp CVD, Hóa học trong CVD, hệ CVD, lò phản ứng CVD, ưu điểm PP CVD, ứng dụng của PP CV, PECVD (Plasma Enhanced CVD), Plasma điện dung và một số nội dung khác.

13p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 142 10   Download

Hơn nửa thế kỷ qua , vật liệu và linh kiện mảng mỏng đã được chế tạo và ứng dụng thực tiễn , và ngày nay nó đang đóng vai trò trung tâm trong nhiều lĩnh vực khoa học, kỹ thuật cũng như đời sống.

104p conchokon 24-09-2012 126 23   Download