ZnO pha tạp Al2O3

Đề tài được thực hiện nhằm mục đích: (1) Giới thiệu phương pháp lắng đọng bằng chùm xung điện tử PED; (2) khảo sát tính chất cấu trúc, tính chất quang và tính chất điện của màng ZnO và ZnO pha tạp Al2O3.

83p change14 07-07-2016 103 11   Download