CHƯƠNG II KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ HẤP THỤ VÀ PHỔ PHÁT XẠ

Chia sẻ: Doan Quang Vinh | Ngày: | Loại File: DOC | Số trang:18

Thêm vào BST

Báo xấu

169
lượt xem 41
download

Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

Nguồn tạo bức xạ: Cung cấp bức xạ có bước sóng phù hợp cho việc nghiên cứu mẫu trong từng trường hợp cụ thể. Để phổ kế cho các bức xạ có tần số khác nhau, người ta sử dụng các dụng cụ bổ xung như các dạng lăng kính, bộ lọc sắc hoặc các cách tử. Khi nguồn bức xạ chiếu vào mẫu, một phần sẽ bị hấp thụ, phần còn lại sẽ truyền qua và rơi vào tế bào quang điện, dụng cụ này sẽ chuyển tín hiệu quang thành điện....

Chủ đề:

Bình luận(0) Đăng nhập để gửi bình luận!

Lưu

Nội dung Text: CHƯƠNG II KỸ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ HẤP THỤ VÀ PHỔ PHÁT XẠ

K Ỹ THUẬT PHÂN TÍCH PHỔ HẤP THỤ VÀ PHỔ PHÁT XẠ CHƯƠNG II II.1. Các dụng cụ trong hệ phổ hấp thụ và phổ phát xạ Sơ đồ cơ bản của một hệ đo phổ hấp thụ hoặc phổ phát xạ có thể được mô tả như sau: Mẫu đo Nguồn tạo Dụng cụ Phổ kế Tế b ào Thiết bị đọc bức xạ b ổ xung quang điện ở đầu ra Hình 2.1. Các dụng cụ chính trong hệ phân tích phổ Nguồn tạo bức xạ: Cung cấp bức xạ có bước sóng phù hợp cho việc nghiên cứu mẫu trong từng trư ờng hợp cụ thể. Để phổ kế cho các bức xạ có tần số khác nhau, người ta sử dụng các dụng cụ bổ xung như các dạng lăng kính, bộ lọc sắc hoặc các cách tử. Khi nguồn bức xạ chiếu vào m ẫu, một phần sẽ bị hấp thụ, phần còn lại sẽ truyền qua và rơi vào tế bào quang điện, dụng cụ này sẽ chuyển tín hiệu quang thành điện. Tín hiệu, sau khi được khuếch đại sẽ được xử lý tại phần đọc ở đầu ra dưới dạng đồ thị hoặc file kết quả. Quang kế: Là dụng cụ dùng để xác định tỷ phần công suất của hai chùm bức xạ điện-từ. Phổ kế: Là dụng cụ bao gồm các linh kiện nhận bức xạ, phân chia và đưa ra chùm tia có bước sóng lựa chọn trong vùng phổ xác định. Phổ kế cho phép xác định sự phụ thuộc của công suất bức xạ vào bước sóng. Quang-phổ kế: Là phổ kế cùng các thiết bị hỗ trợ để có thể xác định tỷ phần công suất bức xạ của hai chùm tia như một hàm số của bước sóng phổ. Hai chùm tia bức xạ có thể đư ợc phân biệt bởi không gian, thời gian hoặc cả hai thông số trên. II.1.1. Nguồn bức xạ. Nguồn bức xạ trong một hệ phổ hấp thụ có nhiệm vụ cơ b ản: - Cung cấp một cách hiệu quả năng lượng bức xạ trên toàn bộ vùng bước sóng m à phổ hấp thụ được đo. - Duy trì cường độ bức xạ không đổi liên tục trong kho ảng thời gian đo. Nếu cường độ bức xạ quá thấp trong vùng đo phổ th ì phải sử dụng các kính đơn sắc để nhận được nguồn năng lượng cần thiết. - Nói chung độ sáng không gây ảnh hưởng lớn đến kết quả phân tích phổ, tuy nhiên trong thiết kế, cần lưu ý là m ật độ thông lượng chùm bức xạ thay đổi tỷ lệ ngịch với bình phương khoảng cách từ nguồn tới mẫu đo. II.1.1.1. Đèn hydrogen. Làm việc trong vùng cực tím (UV), trong điều kiện áp suất thấp (0.2- 5 torr) và điện áp thấp (40V DC). Cathode được nung nóng là cơ chế chính để duy trì sự phát bức xạ. Sự phát sáng này có nhiệt độ âm so với nhiệt độ tỏa ra trên điện trở theo hiệu ứng nhiệt, do đó cần có thêm nguồn dòng để có thể điều chỉnh đư ợc. Đặc điểm quan trọng nhất của loại đèn này là khẩu độ cơ học giữa cathode và anode, dùng để nén chùm sáng đi qua một lỗ hẹp. Thông thường anode được đặt gần khẩu độ để có thể tạo quả cầu sáng tập trung cư ờng độ có đường kính 0.6- 1.5mm Ở 35
phía cathode sử dụng hydro nặng để làm tăng m ột chút kính thước giữa cầu sáng và tăng độ chói từ 3 -5 lần, ảnh của chùm sáng đi vào phổ kế sẽ phụ thuộc vào kh ẩu độ. Để làm tăng hiệu suất tập trung ánh sáng cần điều chỉnh vị trí đèn tại điểm hội tụ của gương ph ản xạ ellip. VD: Đèn bình thường hiệu suất tập trung ~10%, đ èn có cấu tạo như trên hiệu suất sẽ trên 60%. Đèn hydrogen cung cấp bức xạ mạnh và liên tục trong vùng phổ thấp hơn 360nm. Nếu được bảo vệ bởi SiO2 đèn có th ể cho phổ bức xạ ở vùng sóng 160nm. Ở các bước sóng lớn hơn 380nm, đèn cho phổ phát xạ có các vạch trùng nhau liên tục và tạo ra nhiễu. II.1.1.2. Đèn S ợi đốt nóng sáng Thường dùng cho các h ệ đo phổ trong vùng bước sóng từ 350nm đến 2.5 m. Sử dụng sợi đốt W nung nóng đến phát sáng bằng dòng điện. Sợi đốt được đặt trong ống thủy tinh h àn kín, bên trong có thể là khí trơ hoặc chân không. Sợi đốt đ ược xoắn lại để tăng cường độ phát xạ. Đèn lo ại n ày ch ế tạo đơn giản, giá thành thấp.. Đèn Halogen- Wolfram là một dạng đặc biệt của đèn sợi đốt nóng sáng. Đèn được bọc bằng thuỷ tinh thạch anh để tăng nhiệt độ làm việc tới 3500K. Khí I2 được đưa vào bên trong ống thuỷ tinh, trong quá trình phát sáng xảy ra phản ứng hóa học tạo khí: I +W =WI2(khí), khí này bám vào sợi đốt W và phục hồi sợi đốt, quá trình cứ diễn ra liên tục như vậy và đèn luôn được làm sạch. Đèn loại này duy trì trên 90% ánh sáng so với ban đầu trong suốt thời gian hoạt động. Về cơ bản sự phân bố công suất bức xạ của đèn sợi đốt cũng giống như bức xạ của vật đen tuyệt đối, do đó nếu đo phổ ở vùng bước sóng xa với công suất cực đại sẽ rất nhạy với các loại nhiễu. Chú ý rằng đ èn sợi đốt W phát bức xạ chủ yếu ở trong vùng năng lượng ứng với bước sóng hồng ngoại gần, đạt cường độ lớn nhất ở 1000nm và giảm rất nhanh đến 1% ở vùng 300nm. Chỉ còn 15% của năng lượng bức xạ trong vùng nhìn thấy đối với đèn có nhiệt độ 2850K. Thông thường để loại bỏ bức xạ hồng ngoại nhưng không làm giảm năng lượng bức xạ ở vùng sóng ngắn một thiết bị lọc hấp thụ nhiệt hoặc gương làm lạnh được đặt giữa đèn và mẫu đo. Vỏ bọc bằng thuỷ tinh hấp thụ mạnh trong vùng nhỏ hơn 280nm. Đèn sợ đốt là nguồn phát rất quan trọng trong hệ phân tích phổ vì tính chất ổn định tuyệt vời của nó h ơn là tính ch ất của phổ bức xạ. II.1.1.3. Ổn định bức xạ . Dòng quang điện xuất hiện khi chiếu chùm bức xạ vào Detector tỷ lệ thuận với điện áp đặt vào đèn. Để ổn định dòng quang điện trong khoảng 0,2% (ứng với độ chính xác của hệ phổ) th ì nguồn điện áp cho sợi đốt cần phải được điều chỉnh trong khoảng vài nghìn vôn. Nguồn được ổn định bằng cách sử dụng các bộ pin nạp hoặc các biến thế chuyển điện áp xoay chiều thành một chiều. Bằng cách đặt một detector thứ 2 trên đường đi của chùm sáng từ nguồn tới mẫu, có thể hiệu chỉnh đư ợc tín hiệu ở đầu ra của đ èn. Điều này được thực hiện do có sự hồi tiếp tín hiệu đến nguồn điện áp đặt vào đèn nhằm mục đích tăng hoặc giảm dòng đ ầu ra. II.1.1.4. Chế độ điều biến hoặc xung của đèn. Sử dụng nguồn điện áp hồi tiếp cho đ èn cho phép nguồn làm việc ở chế độ điều biến hoặc chế độ xung. Ở chế độ điều biến, nguồn điện áp bên ngoài được điều biến hoặc lập trình h ệ đèn nguồn để tạo các tín hiệu h ình sin, hình chữ nhật hoặc dạng răng cưa. Sử dụng tín hiệu hồi tiếp quang và điều biến điện áp ngoài, cho phép nhận các tín hiệu quang có 36
mức méo thấp nhất. Do đ èn được liên h ệ với tín hiệu hồi tiếp nên những điểm không tuyến tính trên đặc trưng của đèn cần phải đ ược xem xét. Ở chế độ xung, đèn làm việc ở mức công suất cao hơn b ình thường, dòng hư kháng được thiết lập ở giá trị thấp và giá trị dòng tăng trong thời gian phát xung. Dòng tăng mạnh nhất ở vùng tia cực tím và yếu nhất ở vùng hồng ngoại. Thời gian ngắn nhất của một xung là 300 s, thời gian dài nhất có thể vài giây hoặc lâu h ơn phụ thuộc vào lo ại đèn. Trong cả hai chế độ điều biến và xung thì tuổi thọ của đèn đ ều bị giảm. II.1.2. Detectors Detector là lo ại cảm biến chuyển bức xạ điện từ thành tín hiệu điện, tức là tạo dòng đ iện chạy trong thiết bị đọc ở đầu ra. Dòng quang đ iện cần được khuếch đại, đặc biệt là khi thực hiện phép đo ở các mức năng lượng rất thấp. Có các lo ại detector đơn như tế bào quang điện, photodiode, ống phát quang. Các loại phát quang đa phần tử như các ma trận detector. Đặc trưng quan trọng nhất của một loại detector là độ nhạy phổ, độ phản hồi bước sóng, độ khuếch đại và thời gian phản hồi. II.1.2.1. Tế bào quang điện Se/Ag (H.2.2) Sử dụng các tấm kim loại như Fe làm đ ịên cực, và m ột m àng bán dẩn mỏng Se phủ lên trên điện cực. Sau đó một m àng rất mỏng Ag hoặc Au đư ợc chế tạo bởi phương pháp phún xạ phủ lên trên màng Se, màng này được sử dụng như cực góp. Hình 2.2. Cấu trúc một tế bào quang điện Khi bức xạ chiếu vào màng Se, sẽ sinh ra các cặp điện tử -lỗ trống trên b ề mặt tiếp xúc Se/Ag. Điện tử sẽ chuyển lên cực collector (Ag). Do sự khác nhau về công thoát của điện tử ở kim loại và bán d ẫn sẽ hình thành hàng rào thế tại lớp kim loại và bán dẫn (Se/Ag). Điện tử chỉ có thể dịch chuyển về phía kim loại m à không thể dịch chuyển về phía ngược lại, kết quả sẽ tạo nên hai vùng tích điện trái dấu và có sự khác biệt về điện thế giữa cực gốc và cực góp. Nếu mạch ngoài có điện trở  400 , dòng đoản mạch sẽ gần nh ư tỷ lệ thuận với công suất bức xạ của chùm tới. Độ phản hồi đạt giá trị lớn nhất trong vùng bước sóng m àu xanh lá cây và màu vàng. Vì trở kháng của tế bào quang điện rất thấp n ên dòng đầu ra không thể khuếch đại được nếu không sử dụng bộ khuếch đại hồi tiếp. Chính vì vậy, tế bào quang điện được dùng chủ yếu trong các bộ lọc quang không đắt tiền, có độ phát sáng cao tới detector và không cần khuếch đại dòng. Tế b ào quang điện là loại photodector ít được sử dụng nhất vì nh ững hạn chế về độ nhạy cũng nh ư dải hoạt động tuyến tính tương đối hẹp. 37
II.1.2.2: Đèn b ức xạ quang (Vacuum Photoemisive Tubes) Đèn b ức xạ quang là một dạng đèn điện tử Anode - Cathode được đặt trong vỏ thu ỷ tinh và hút tạo chân không bên trong. Cathode nhạy quang được làm từ kim loại có hình dạng một nửa h ình trụ trên b ề mặt phủ một lớp nhạy quang. Dây Anode đư ợc đặt dọc theo trục của Cathode (nửa hình trụ) hoặc làm dạng hộp bao quanh Cathode. Khi ánh sáng chiếu vào photocathode, các điện tử quang sẽ bị b ật ra và bay về phía cực dương (+) Anode tạo nên dòng quang điện. Tất cả các điện tử sẽ đ ược thu trên Anode bởi điện áp +90 V so với Cathode. Dòng quang ch ạy qua điện trở tại RL tạo nên tín hiệu điện áp: LS=i.RL . Thông thường trở tải trong mạch ngoài là điện trở đầu vào của mạch khuếch đại. Dòng chạy trong mạch ngoài tỷ lệ thuận với tốc độ quang điện tử phát ra, tức là t ỷ lệ với thông lượng chùm sáng chiếu vào. Đèn bức xạ bị giới hạn bởi khả năng nhạy với các bức xạ giả gây ra bởi năng lư ợng nhiệt, và khi cường độ ánh sáng chiếu vào ở mức thấp, dòng quang điện tạo th ành cũng rất nhỏ. Mặc dù dòng quang điện rất nhỏ; i  10pA nhưng cũng có thể dễ d àng khuếch đại được. Tuy nhiên n ếu dòng quá nhỏ, nhỏ hơn cả dòng rò đi vào đèn từ vỏ mắc song song với trở tải, th ời gian hồi tiếp sẽ lớn và làm hỏng các hiệu ứng phản hồi của detector. Đối với độ chính xác  1%; cần phải hiệu chỉnh để loại bỏ những vùng không tuyến tính trên đường đặc trưng dòng quang điện phụ thuộc vào độ chiếu sáng. Thời gian phản hồi của đ èn vào kho ảng 150 ps. Đèn b ức xạ phù h ợp với các nguồn có độ phát cao, tốc độ lặp lại thấp. Nhiễu xuất hiện trong thiết bị cảm biến này thường là nhiễu có bước sóng ngắn, xuất hiện do dòng điện và năng lượng ánh sáng bị lư ợng tử hoá, photon đập vào các Cathode một cách ngẫu nhiên. Điện tử quang dạng n ày sẽ bức xạ và rơi vào anode cũng hoàn toàn ngẫu nhiên. II.1.2.3 Đèn nhân quang (Photomultiplier Tubes) Là một dụng cụ kết hợp giữa đèn b ức xạ Cathode và một chuỗi linh kiện nhân điện tử (Dynode) (H.2.3). Bức xạ chiếu vào Cathode làm cho các quang điện tử bứt ra ( 10 -13s). Các quang điện tử này được hội tụ bằng trường tĩnh điện và gia tốc đến đập vào các điện cực (Dynode - khoảng 10 sợi dây phủ hợp chất BeO, Gap, hoặc CsSb) tiếp tục làm bứt ra vô số các điện tử khác và tạo ra mật độ lớn các điện tử có năng lượng cao. Một số thiết bị có Dynode thứ hai dạng mặt cầu sẽ hướng các điện tử đi theo một chiều, trong khi đó điện trường ở bên cạnh hoặc đầu Dynode sẽ chuyển điện tử theo hướng thứ hai.Để lặp lại quá trình nhân điện tử ở các Dynode tiếp theo cần duy trì điện áp tạo nên dòng thác đ iện tử bay đến Anode; như vậy d òng đã được khuếch đại. Sau đó dòng có th ể được tiếp tục khuếch đại ở mạch ngoài. Để tránh sự phá hỏng bề mặt Dynode do nung nóng cục bộ và sự già hoá của đèn, dòng Anode được giữ trong khoảng  1mA. Điều này được thực hiện khi điện áp giữa Dynode cuối cùng và Anode là  50V. Th ời gian phản hồi  0,5 ns nếu vật liệu phủ Dynode là GaP; với các vật liệu khác  1 2 ns. Điện trở của chuỗi linh kiện sẽ chia điện áp trên hiệu điện thế giữa các dynode vào khoảng 75 - 100 V. Lý tưởng, tổng hệ số khuếch đại của đèn có n tầng (n Dynode): G = (f)n. trong đó f- Hệ số bức xạ điện tử thứ cấp của một tầng khuếch đại. Giá trị chính xác của f phụ thuộc vào vật liệu phủ và điện áp đặt vào dynode. ( f  3  10), với GaP cho f = 50. Photocathode thường đư ợc chế tạo từ vật liệu có hệ số bức xạ tới lớn nhất và có độ dày đủ lớn để có thể hấp thụ ho àn toàn ánh sáng tới, nhưng lại cũng phải đủ mỏng 38
để có thể tạo ra các quang điện tử và các điện tử n ày sau khi đi qua còn đủ năng lượng để vượt qua rào thế công thoát của bề mặt chân không. Hiệu suất lượng tử Cathode (Quantum efficient - QF) là thông số biểu diễn tỷ số giữa số lượng trung bình các quang điện tử bứt ra từ Cathode với số lượng photon tới. Bước sóng bức xạ phụ thuộc vào vật liệu làm Cathode: Cs-Te cathode cho phép điều chỉnh được phổ trong vùng từ 120  350 nm, còn Ga-As trong vùng 200  900 nm. Độ nhạy bức xạ sóng ngắn được điều chỉnh bằng vật liệu bao bọc. Nếu bọc bằng thu ỷ tinh th ì giới hạn của b ước sóng là 350 nm còn bằng SiO2 giới hạn n ày là 200 nm Hình 2.3. S ơ đồ đèn nhân quang II.1.2.4. Photodiodes. Cấu trúc một photodiode như hình 2.4. Chuyển tiếp p-n được phân cực ngược do đó không có dòng điện chạy qua. Khi chùm photon tới đập vào diode, điện tử sẽ chuyển lên vùng dẫn và tạo th ành dòng quang điện tỷ lệ với cư ờng độ chùm sáng chiếu vào. Linh kiện loại này được làm việc trong vùng ánh sáng nhìn thấy và hồng ngoại gần, có độ phản hồi khoảng 250  500 mA/W (hình 2.5). Nói chung tốc độ làm việc của diode bị giới hạn bởi hệ số thời gian giữa trở kháng đầu vào của bộ khuếch đại và điện dung tụ vùng nghèo của chuyển tiếp p -n ( 2- 5 pF). Để giảm giá trị điện dung phải chế tạo linh kiện rất nhỏ. Chùm sáng được đ ưa tới diode qua hệ thấu kính , thời gian phản hồi khoảng 5 ns. Có thể chế tạo một ma 39
trận diode để thu tín hiệu từ rất nhiều cảm biến riêng biệt. Dụng cụ này có độ ổn định rất tốt, sự lan truyền điện tích từ các kênh chậm nên tín hiệu trong từng kênh lớn, nên có thể thực hiện phép đo có độ chính xác rất cao. Hình 2.4. Cấu trúc của photodiode II.1.3. Module đọc. Đây là dụng cụ tạo tín hiệu DC ( Direct Current) tín hiệu này sau đó được khuếch đại bởi bộ khuếch đại DC và hiển thị ra các dụng cụ chỉ số, bộ ghi hoặc vôn kế. Tuy nhiên bộ khuếch đại DC có hệ số khuếch đại lớn sẽ làm lệch và đổi tín hiệu. Sự có m ặt của nhiễu ở tần số thấp trong tín hiệu sẽ làm h ạn chế việc mở rộng tỷ số giữa tín hiệu/ nhiễu. Do những n guyên nhân như vậy, thông thường, người ta điều b iến tín hiệu và chuyển sang tín hiệu xoay chiều (Alternating Current) có tần số cao đủ để loại bỏ sự Hình 2.5. Độ phản hồi của sai lệch tín hiệu và nhiễu. Sau khi khuếch đại bằng bộ diode p-n khuếch đại AC tín hiệu được chuyển ngược về dạng DC bởi bộ khử biến hoặc bộ lọc vì h ầu hết các dụng cụ đọc ở đầu ra cần tín hiệu DC. Điều biến thường đ ược tạo bởi các bộ ngắt chùm ánh sáng chiếu vào detector bằng một dụng cụ quang dạng đĩa có các khoảng trống. Các phần trên bộ ngắt quang sẽ được phân biệt bởi điện tích sử dụng. II.1.4. Bộ lọc Với mục đích lựa chọn tỷ số tín hiệu/nhiễu giữa các vạch bức xạ cơ sở và phân tích, đ ể phân biệt được các dải rất hẹp của bư ớc sóng người ta phải sử dụng các bộ lọc hay kính đơn sắc hoặc sử dụng cả hai. Bộ lọc bảo đảm hiệu suất ánh sáng đi qua rất cao 50 - 80 %, ánh sáng tán xạ có cường độ tương đối cao đặc biệt là các h ệ không hộ tụ. Một bộ lọc phải dùng được cho 5 bước sóng. 40
II.1.4.1 Bộ lọc hấp thụ Hiệu ứng xảy ra bên trong khi bức xạ tương tác với các nguyên tử vật liệu. Trong một số loại vật liệu sự tương tác này là quá trình tán xạ có lựa chọn, còn đối với các vật liệu khác th ì sự hấp thụ ion chiếm ưu thế. Hệ số truyền qua sẽ giảm theo chiều dày và được biểu diễn bởi hàm exp. của hệ số hấp thụ. Kính lọc hấp thụ được làm từ các vật liệu như Gelatin (một dạng keo tụ); thu ỷ tinh, chất lỏng và nhựa. Kính lọc bằng thuỷ tinh được sử dụng rộng rãi trong các hệ phân tích và tự động. Loại tán xạ phụ thuộc vào tinh th ể tán xạ được tạo th ành bên trong khối thuỷ tinh bằng các xử lý nhiệt. Các bức xạ có bước sóng ngắn sẽ bị tán xạ và hấp thụ trong khi thành phần có bước sóng d ài thì không b ị ảnh hưởng. Hình 2.6. Đặc trưng truyền qua của phổ khi đi qua bộ lọc làm từ thuỷ tinh hỗn hợp. Các loại kính lọc khác dựa trên cơ sở hấp thụ một cách chọn lọc ion trong dung dịch sạch sử dụng một bộ lọc khối để ngăn chặn các phổ không mong muốn từ các kính lọc giao thoa hoặc các kính lọc nhiễu xạ. Một d ãy kính lọc chỉ cho phép bức xạ có bước sóng dài đi qua (màu vàng đỏ), một dãy khác thì chỉ cho sóng ngắn hơn (màu xanh) đi qua, (h ình.2.6). Độ rộng trên phổ của điểm cut–on và cut– o ff từ 20 –70 nm. Hệ số truyền qua cực đại (peak transmisson) vào kho ảng 5-20 %, hệ số này sẽ giảm nếu phổ được cách ly tốt. Các bộ lọc loại này không thể dùng cho các d ải phổ rất hẹp và có cá peak truyền qua cao (các cấu trúc đa màng). Tất cả các bộ lọc giao thoa làm từ các ch ất điện môi có ưu điểm hơn về độ nhạy. Có rất nhiều loại kính lọc được làm từ nhựa. II.1.4.2. Bộ lọc giao thoa 41
Hình 2.7. Sơ đồ bộ lọc giao thoa và đường đi của tia sáng qua bộ lọc. Bộ lọc gioa thoa gồm một màng mỏng điện môi (CaF2; MgF2; SiO) n ằm giữa 2 màng kim loại thường là Bạc(Ag) đặt song song phản xạ từng phần. Có thể sử dụng các loại kính lọc hấp thụ để loại bỏ các dải sóng không cần thiết. Độ rộng dải bước sóng trung tâm có th ể thay đổi bằng cách thay đổi nhiệt độ của kính lọc hay thay đổi góc tới của chùm bức xạ. Khi tăng nhiệt độ thì phổ sẽ dịch chuyển về phía bư ớc sóng dài hơn và ngược lại. Các vạch phổ trong vùng nhìn thấy sẽ dịch chuyển khoảng 0.01 nm/1oC. Khi tăng góc của chùm tia tới, bước sóng trung tâm sẽ dịch chuyển về phía sóng ngắn hơn. Nếu thay các màng kim loại bằng màng điện môi người ta gọi là bộ lọc đa màng. Các tính chất của bộ lọc n ày sẽ tốt h ơn rất nhiều vì độ hấp thụ của m àng điện môi gần như bằng không. Các màng mỏng n ày được phủ xen kẽ sao cho màng có chiết suất cao ở cạnh màng có chiết suất thấp, các màng đ ều có độ dày bằng 1/4 b ước sóng. Khi chùm tia tới chiếu vào bộ lọc chúng sẽ bị chia ra tại bề mặt tiếp xúc giữa các màng, ở đó chúng truyền qua và phản xạ liên tục. Các bước sóng sẽ được quét cả về 2 phía của bư ớc sóng trung tâm. Một bộ lọc có thể gồm từ 5 đến 25 m àng, ngày nay kính lọc loại n ày có th ể cho d ải bước sóng đi qua trong khoảng 0 .1 nm (bình thường là 1- 5 nm), và h ệ số truyền qua là 10-6. Thông thường đỉnh phổ truyền qua còn ~55-60%. Bộ lọc loại n ày có th ể làm việc trong vùng bước sóng từ 180 nm- 3 5m. Vấn đề cần khắc phục là khi chùm tia tới hội tụ cao hoặc không hội tụ. Do bước sóng đi qua tại một điểm của bô lọclà một hàm số phụ thuộc vào góc của Hình 2.8. Ph ổ truyền qua của bộ lọc tia tới, ngoài ra chiết suất của m àng thay giao thoa đa lớp với dải thông ở điểm có đổi không phụ thuộc vào nhau và chiều bước sóng là 500nm d ày không tương thích của các màng cũng là các yếu tố ảnh hưởng. II.1.5. Đơn sắc kế Là dụng cụ quang học bao gồm: 42
1- Khe hẹp (slit) đầu vào để chùm sáng đi vào tạo h ình ảnh rất hẹp của nguồn bức xạ. 2- Chuẩn trực (Collim ator) làm cho chùm tia sáng đi từ khe luôn song song 3- Cách tử (Grate) hay lăng kính để phân tán chùm tia tới. 4- Chuẩn trực để tái tạo h ình ảnh của nguồn bức xạ khi đến khe đầu vào. 5- Khe đầu ra nhằm định vị và tách phổ bằng cách ngăn chặn tất cả các bức xạ phân tán ngoại trừ bức xạ cho độ phân giải của phần tử. Các dụng cụ quang học này được đặt gần nhau. Nhiệm vụ chính của đơn sắc kế là cung cấp chùm bức xạ có bư ớc sóng và độ rộng dải phổ xác định. Phổ đầu ra của đơn sắc kế được sử dụng như ngu ồn sáng liên tục. Nhiệm vụ thứ 2 là điều chỉnh năng lượng đi qua bằng điều chỉnh độ rộng khe. Khe có chiều rộng rất nhỏ sẽ cho năng lượng rất nhỏ đi qua cho tác dụng của độ nhạy phân tích như kết quả của sai hỏng giữa tỷ số tín hiệu/nhiễu. Yêu cầu của đơn sắc kế: - Thiết kế phải đ ơn giản - Độ phân giải cao - Độ rộng vùng phổ xác định - Tính đơn sắc của chùm sáng ra - Độ tán sắc: Độ tán sắc lớn và công suất cao sẽ nén các phổ phát xạ thành các vạch rời rạc và dải phổ hấp thụ nhọn sẽ cho phổ rõ nét hơn. Các dạng gương ho ặc kính được sử dụng để thu bức xạ ánh sáng từ nguồn và hướng tất cả chùm tia vào khe đầu vào của đ ơn sắc kế. II.1.5.1 Khe (SLIT) Đơn sắc kế không thể định vị một bước sóng của chùm sáng từ phổ liên tục của bức xạ nguồn, thay vào đó là một dải bước sóng xác định của bức xạ đi qua đơn sắc kế. Đầu vào của đơn sắc là khẩu độ dài và h ẹp với độ rộng có thể điều chỉnh đư ợc gọi là khe, khe dài hơn 3 mm. Bên trong đơn sắc kế, chùm tia bị lệch khỏi khe đầu vào và chiếu vào gương của ống chuẩn trực tạo th ành chùm sáng song song, hội tụ chùm tia vào phần tử phân tán. Chùm sáng song song đi từ ống chuẩn trực là một dạng mở rộng của khe đầu vào. Tiết diện h ình chữ nhật của chùm tia ph ải đủ lớn để chiếu vào toàn bộ bề mặt của lăng kính hay chiều dài của cách tử. Ngược lại, dụng cụ tán sắc sẽ tách chùm sáng tới đa bước sóng thành các chùm sáng đơn sắc, mỗi chùm ra khỏi dụng cụ tán sắc với góc khác nhau. Để điều chỉnh hình dạng chùm sáng đầu vào và đ ầu ra, sử dụng 2 gương nhỏ đ ược đặt lệch nhau 45 o. Chúng ta sẽ khảo sát sự phụ thuộc cường độ sáng tại khe đầu ra phụ thuộc vào bước H theo sơ đồ sau đây: sóng C D G A B E F 12345 12345 Hình 2.9. Khe và phân bố kích thước và hình dạng hình ảnh của nguồn 43
Trong hình 2.9. ABCD là hình ảnh của dải đ ơn sắc trên m ặt phẳng đầu ra, EFGH là kích thư ớc khe, giả sử hai hình chữ nhật bằng nhau; 1, 2, 3, 4 là vị trí các bước sóng. Khi hình ảnh của khe đầu vào dịch chuyển dọc theo mặt phẳng hội tụ và đi qua khe đầu ra, trong khi dụng cụ tán sắc quay để quét các bước sóng. Giả sử đến một điểm khi cạnh BD của h ình ảnh đến vị trí 1, không có ánh sáng truyền qua khe đầu ra. Khi BD đ ến vị trí 2, một nửa chùm sáng đi qua. Tại vị trí b ước sóng tiêu chuẩn số 3 khẩu độ của khe đầu ra được lấp đầy hoàn toàn, và cường độ chùm sáng truyền qua là 100%. Khi hình ảnh đạt vị trí 4 hệ số truyền qua còn 1/2 và tại vị trí số 5 bằng không. Hình tam giác cho th ấy sự phụ thuộc cường độ ánh sáng truyền qua và bước sóng, được bểu diễn bởi các vị trí của hình ảnh. Khe được đặc trưng bởi độ rộng dải phổ. Độ rộng dải phổ có thể được xác định như là kho ảng bước sóng của bức xạ khi ra khỏi khe đầu ra của đơn sắc kế, bằng hiệu số bước sóng giữa hai điểm khi cường độ truyền qua bằng 1/2 cực đại hoặc độ rộng của dải phổ chiếm 75% năng lư ợng bức xạ rời khỏi đ ơn sắc kế. Độ rộng của khe xác định cường độ và độ phân giải. Để quét phổ phân tử, chiều rộng của khe đ ược điều chỉnh sao cho giải phổ đi qua bằng 1/10 độ rộng dải phổ sẽ ghi. Đối với phổ nguyên tử các vạch được ghi khi độ rộng của khe bằng 1/2 độ rộng của dải phổ. Như vậy việc chọn độ rộng khe phụ thuộc vào mức độ cách biệt giữa các vạch phổ hoặc vị trí định vị của các đường phân tích từ các đặc điểm phổ giao nhau. II.1.5.2. Tạo màng mỏng Bên trong đơn sắc kế cần phải sử dụng các bề mặt của gương để chuẩn trực và hội tụ chùm tia. Để làm thẳng các loại thấu kính và làm cho độ lệch tia sáng nhỏ nhất. Khi tia sáng đi từ môi trường 1 (có chiết suất n1) tới môi trường 2 (có chiết suất n2), một phần sẽ bị phản xạ tại lớp biên phân cách giữa hai môi trường . 2    1  Rflection   2 Ph ần hao tổn đi sẽ là :      2 1 Thông thường môi trường 1 là môi trường không khí n 1 =1, do đó thành phần mất đi là một hàm của chiết suất môi trường đó. Sự hao tổn đối với vật liệu có chiết suất cao sử dụng trong vùng hồng ngoại có thể dẫn đến sự suy giảm nhanh cường độ sáng trong hệ nhiều thành phần. Thậm trí đối với các loại thuỷ tinh có chiết suất thấp tổng hao phí có thể là đáng kể nếu như số lượng các dụng cụ quang học tham gia vào lớn. Với chiết suất của thu ỷ tinh là n2 = 1,25 thì tại mỗi bề mặt tiếp xúc giữa không khí và thu ỷ tinh phần hao tổn sẽ là 4%. Để giảm độ hao tổn, trên bề mặt kính thuỷ tinh phủ một lớp màng mỏng điện môi, hoặc kim loại hoăc cả hai chiều d ày của màng b ằng 1/2 bước sóng ánh sáng. 2   2 f   a g  Rflection   2  Khi đó:      f  ag Trong đó: n f : Chiết suất của mảng mỏng. na : Chiết suất của môi trường. ng : Chiết suất của đế. Độ hao phí còn ~ 0,2 % cho một bề mặt tiếp xúc. II.1.5.3. Sợi quang (Fiber Optics) 44
Sợi quang là vật liệu tổng hợp của vô số các sợi thuỷ tinh hoặc nhựa nối với nhau. Sợi đ ơn sẽ truyền ánh sáng, còn một bó sợi sẽ truyền đ ược cả ánh sáng và hình ảnh. Sợi quang truyền ánh sáng bằng phản xạ to àn phần ở b ên trong. Phản xạ toàn phần xuất hiện khi tia sáng truyền từ môi trường đến bề mặt phân cách có chiết suất thấp h ơn, trong điều kiện góc tới lớn hơn giá trị giới hạn. Góc giới hạn đư ợc xác định khi tia khúc xạ song song với bề mặt. Như vậy, sợi quang được cấu tạo bởi lõi có chiết suất cao, bao quanh bên ngoài là vật liệu có chiết suất thấp, ánh sáng được truyền theo một góc thu từ đầu n ày của sợi quang và qua đầu kia đúng bằng một góc như vậy. Kết quả đo góc thu gọi là khẩu độ số NA (Numerical Apeture). NA = n3.sin  n  n12  n 2 2 n1 : chiết suất của lõi n2 : chiết suất của vỏ n3 : chiết suất của môi trường xung quanh w: một nửa góc thu cực đại Trong sợi quang thuỷ tinh, hai vật liệu phải được chọn không chỉ để có khẩu độ số cần thiết mà còn ph ải có nhiệt độ nóng chảy và h ệ số dãn nở nhiệt tương thích. Thông thường, chiết suất của lõi là n1 = 1,64 và vỏ bọc là n2 = 1 ,53 cho NA = 0,54 tương đương với góc toàn ph ần là 660, đường kính sợi quang từ 10 đến 150 m. Trong sợi quang plastic, lõi nhựa được làm từ polymethylmetha-crylate (n = 1 ,49) bọc bằng vỏ polymer có chiết suất 1,39 , đường kính sợi khoảng 0,13 tới 1,0 mm. II.1.5.4. Các đặc trưng của hệ đơn sắc kế Các đặc trưng của hệ đơn sắc kế bao gồm 3 thông số liên h ệ với nhau là độ phân giải, công suất tập trung ánh sáng, độ đơn sắc của ánh sáng ở đầu ra (purity of light output). Độ phân giải - còn gọi là công suất phân giải, là khả năng phân biệt rõ ràng các a) đặc trưng của phổ trùng lên nhau, có th ể là d ải phổ hấp thụ hoặc vạch phổ phát xạ. Độ phân giải được xác định bởi kích thước và đ ặc trưng tán sắc của cách tử hoặc lăng kính. Định nghĩa được sử dụng rộng rãi là R = /d  = W(d/d)  : gọi là bước sóng khảo sát d : hiệu số giữa hai b ước sóng đo tại các vạch hoặc đỉnh (peak) trung tâm W : độ rộng của khẩu độ hiệu dụng Trong thực tế, hai đỉnh (peak) đ ược coi là phân biệt khi cường độ giữa chúng giảm ít nhất 10%. Thông th ường thì người đo mong muốn có khoảng thấp biểu diễn nền cơ sở giữa hai vạch phổ phát xạ m à không có điều kiện liên quan tới cư ờng độ vạch. Nh ư vậy hai vạch phổ có thể chạm nhau nhưng không thể trùng nhau. Trong trường hợp này, đ ộ phân giải chính bằng chiều rộng cơ sở của khe:  = 2WD-1. Độ phân giải của một đơn sắc kế trong thực tế thường là nhỏ hơn giá trị lý thuyết vì có sự sai lệch chùm tia, hiệu ứng nhiễu xạ (quang sai) v.v... Độ phân giải (resolution) phụ thuộc vào độ tán sắc (Dispersion) và mức độ hoàn hảo của h ình ảnh, trong khi đó độ đơn sắc đư ợc xác định chủ yếu bởi số lư ợng nhiễu hoặc ánh sáng tán xạ. Trong hệ đơn sắc kế thì độ tán sắc phải lớn và công suất phân giải phải cao để có thể đo một cách chính xác phổ bức xạ với các vạch hoặc dải phổ hấp thụ nhọn. 45
Hình 2.10. Ảnh hưởng của hiệu ứng độ rông dải phổ (Bandpass) lên d ạng phổ 1- BP = 20 n m ; 2 – 10 nm ; 3 – 5 nm ; 4 – 1 n m ; Nếu độ phân giải nhỏ, độ rộng dải phổ ở đỉnh tăng lên, sự tách biệt giữa hai đỉnh không rõ ràng. Khi tăng độ phân giải, chiều cao đỉnh phổ tăng lên. Mặt khác, nếu độ phân giải quá lớn sẽ xuất hiện nhiễu trùng lên tín hiệu (rất khó nhận thấy sự ảnh hưởng n ày) (hình2.10). Nh ư vậy cần chọn độ phân giải hợp lý. Khi độ rộng dải phổ bằng 1/20 độ rộng thực của đỉnh, độ sai lệch so với chiều cao thực của đỉnh là 0,5 %. b) Độ tán sắc được định nghĩa là là khả năng phân tán (mở rộng) các bước sóng trong không gian, nghĩa là khả năng tách riêng từng b ước sóng th ành ph ần trong một hỗn hợp các b ước sóng. Điều này được thực hiện trong đơn sắc kế bằng lăng kính (thông qua khúc xạ) hoặc bằng cách tử (thông qua nhiễu xạ). Độ tán sắc đ ảo tuyến tính D-1 là khoảng bước sóng truyền qua một đ ơn vị khoảng cách trong mặt phẳng hội tụ của đơn sắc kế. d  nm  D-1= ;  dx  mm  Góc tán sắc d là góc mà d ải bước sóng d truyền qua . Khi đó độ tán sắc :  d  D  f   d  f : chiều dài hội tụ của đơn sắc kế (tiêu cự). BP = W.D-1, với W là chiều rộng khe. Độ rộng dải phổ (Bandpass) đ ược xác định : Độ rộng cơ sở  của khe đư ợc xác định nh ư sau :  = 2WD-1 Ví dụ : Sử dụng khe có chiều rộng 0,1 mm, D-1 = 1,6 nm/mm  BP = 0,16 nm. Trong điều kiện như vậy 2 vạch phổ tại bước sóng 0,6 nm sẽ cách nhau 0,38 nm về phía mặt phẳng tiêu theo trục của khe đầu ra. c) Công suất tập trung ánh sáng. Khi độ rộng khe quá hẹp, các vạch phổ (peak) quá gần nhau và khó phân biệt, lúc này t ỷ số giữa tín hiệu và nhiễu trở nên quan trọng. Ánh sáng có cường độ đủ để đến detector sẽ cho tín hiệu phân biệt với nền. Do những nguyên nhân như vậy, người ta phải sử dụng dụng cụ tập trung ánh sáng. Để đặc trưng cho dụng cụ n ày sử dụng đại lượng f/number - là tốc độ của ph ổ kế cho thấy khả năng của gương chuẩn trực tập 46
trung ánh sáng từ khe vào. Tỷ số f/ number càng nhỏ thì đ ộ tập trung ánh sáng càng cao f f c number d c fc : đ ộ d ài hội tụ (tiêu cự ) dc : đường kính gương chuẩn trực II.1.5.5. Dụng cụ tán sắc a) Lăng kính Ho ạt động của lăng kính phụ thuộc vào sự khúc xạ ánh sáng khi truyền qua vật liệu. Công suất tán sắc phụ thuộc vào sự thay đổi của chiết suất với bước sóng. Tia sáng chiếu vào lăng kính với góc tới i sẽ bị khúc xạ tại bề mặt. Để giảm sự nhiễu lo ạn của lăng kính và nhận được rõ nét các tia sáng đ ơn sắc cần chiếu vào lăng kính ánh sáng song song qua khe song song với cạnh của lăng kính sao cho tia sáng đi ra qua m ặt phẳng song song với đế, tia sáng đi qua lăng kính đối xứng sao cho tia tới và tia ló tạo th ành một góc bằng nhau với bề mặt. Đối với các lăng kính thạch anh với tiêu cự khoảng f = 600 nm D-1 ( = 230 nm) = 0,6 nm/mm ; D-1 ( = 270 nm) = 1,04 nm/mm D-1 ( = 230 nm) = 1,56 nm/mm ; D-1 ( = 370 nm) = 2,9 nm/mm -1 D-1 ( = 600 nm) = 12 nm/mm D ( = 230 nm) = 5,4 nm/mm ; Thu ỷ tinh silic cho độ tán sắc tốt h ơn nên thường được sử dụng cho các vùng hồng ngoại gần hoặc vùng phổ nhìn thấy. Thạch anh thường được sử dụng trong vùng tia cực tím. Giả sử các bư ớc sóng  và +d đư ợc phân biệt bởi dụng cụ, khi đó độ phân giải của một lăng kính được xác định như sau :   dn   d  dx f k dn  f  d ; ho ặc R  d  df  dk ; R  b d R  t      d    với t : chiều d ài của đế; n- Chiết suất vật liệu làm lăng kính. dn/d: công suất tán xạ của vật liệu, để lăng kính có độ phân giải cao th ì cụng suất lớn do đó công su ất tán xạ của vật liệu (dn/d) phải lớn . Đối với thuỷ tinh, sự hấp thụ đạt cực đại tại < 360 nm, do đó công suất phân giải lớn nhất trong vùng màu xanh da trời (Blue) và vùng tím. Thạch anh hấp thụ tại < 185 nm cho cụng suất phõn giải lớn nhất trong vựng tử ngoại (UV-từ 300 đến 200 nm) và tương đối thấp trong vùng nhỡn thấy (VIS) . 47
Hình 2.11. Sơ đồ xác định độ tán sắc của lăng kính b L1 P () L2 P’ (+d) Xác định độ tán sắc của lăng kính: Chùm ỏnh sỏng trắng qua thấu kính L1 sau khi qua lăng kính bị tán sắc và hội tụ bởi L2 vào Detector, gọi khoảng cách PP’= dl, - độ tán sắc dài được xác định như sau : dl/d , - độ tán sắc góc d /d , trong đó d là sự khỏc biệt giữa hai gúc tạo bởi cỏc tia từ thấu kớnh L1 tới P và P’. a) 0 -  p p’ b) Hình 2.12. Sơ đồ đánh giá độ phân giải của lăng kính Tiờu chuẩn để đánh giá độ phân giải (Rayleigh): Giả sử đặt khe hẹp trước thấu kính L1 ,khi đó detector sẽ nhỡn thấy khụng phải là hỡnh ảnh của khe tại bước sóng  mà tại là hỡnh ảnh nhiễu xạ với cường độ nhỏ nhất tại  ;  2 (hỡnh a ),cực đại lớn nhất tại O (tâm). Rayleigh giả sử rằng nếu 2 hỡnh ảnh nhiễu xạ tương ứng với hai điểm P và P’ thoả món điều kiện điểm cực đại trung tâm của P’ không quá gần P hơn là điểm cực tiểu đầu tiên của P (hỡnh 2.12b) .Như vậy P và P’ được coi như phân biệt. Một điểm quan trọng có thể nhận thấy ở cỏc vạch phổ là ảnh hưởng bởi khe đầu vào tại một bước sóng nhất định và bị nhiễu xạ. Như vậy nếu khe đ ược làm rộng ra thỡ cực đại chính trong giản đồ nhiễu xạ sẽ rộng ra và độ phân giải của dụng cụ tán sắc sẽ giảm đi. Mặt khác khi độ rộng khe giảm đến một kích thước n ào đó mà độ rộng vạch phổ không thể giảm được nữa thậm chí dụng cụ tán sắc có độ phân giải rất cao. Điểm này xuất hiện khi độ rộng vạch phổ bị giới hạn bởi các hiệu ứng áp suất và Doppler. 48
b) Cỏch tử nhiễu xạ  Cách tử nhiễu xạ được làm từ thuỷ tinh hoặc kim loại gồm vô số các khe hẹp song song.  Các khe này rất gần nhau, khoảng cách giữa chúng nhỏ hơn 1 m .  Cỏch tử nhiễu xạ thường được tạo trên b ề mặt kim loại có độ phản xạ cao như nhôm và hoạt động giống như chiếc gương.  Bề mặt của cỏch tử cú thể phẳng hoặc lừm xuống. Phương trỡnh tổng quỏt của nhiễu xạ bỏi cỏch tử: m =d(sini +sin ) ; i- gúc tới -bước sóng - góc phản xạ (đo từ pháp tuyến) m=0,1,2,3... bậc nhiễu xạ. d- độ rộng cuả khe Khi i=0  m =d sin; Tỏn sắc gúc do cỏch tử gõy ra : d m ;  d d cos Tán sắc góc tăng, khi m tăng và tăng từ vựng tia tớm đến tia đỏ v-1-R v-2-R v-n-R v-3-R v-5-R Đ ối xứng G Hình 2.13. Sơ đồ sự tán sắc ánh sáng bởi cách tử Cụng suất phõn giải của cỏch tử: R=m.N, N:Số khe nhận tỏc dụng của chựm tia tới Hỡnh 2.13 cho thấy khi m tăng , có sự che phủ lẫn nhau giữa các vùng sóng do đó ph ải sử dụng hệ lọc sắc, hoặc là sử dụng hệ tán sắc sơ cấp với lăng kính nhỏ, cách tử nhỏ. Nếu chúng ta chỉ sử dụng 1 bậc nhiễu xạ, điều n ày rất lóng phớ vỡ phải loại bỏ bức xạ bị nhiễu xạ cỏc bậc khỏc và cả bậc như vậy nhưng ở m ặt bên kia của chùm tia tới . Bức xạ có thể bị nhiễu xạ gần như theo 1 góc xác đ ịnh khi sử dụng cách tử dạng răng cưa . Cỏc rónh được tạo bởi dao kim cương và thường có dạng chữ V đối xứng giống như hỡnh 2.14. N  49
Hình 2.14. Sơ đồ cách tử phản xạdạng răng cưa Sự phản xạ hoàn toàn hiệu quả khi tia tới và tia nhiễu xạ tạo ra 1 gúc ,  được gọi là góc răng cưa. Khi cách tử được sử dụng với góc tới bằng góc phản xạ thỡ: m  =2dsin ; Cách tử loại này thường cho hiệu quả thấp ở vùng hồng ngoại cho n ên thư ờng sử dụng tron g vùng nh ỡn thấy và vựng tớm gần. Bài tập : Cách tử nhiễu xạ có chiều rộng 10,40cm gồm 600 khe/mm có dạng răng cưa =45. a) Tính góc bước sóng của bức xạ nhiễu xạ bậc 1 ,4 và 9. b ) Tớnh cụng suất phõn giải c) Tính độ phân giải theo bước sóng , số sóng và tần số tại bậc 9 và =300nm. Giải: Tổng số khe : N=104.600=62000 Kho ảng cỏch giữa 2 khe : d=0,104/62000=1,6667.10-6 (m) Phương trỡnh Bragg đối với nhiễu xạ: m =2dsin=2.16667.0.70711=2357 (nm) a) m=1=2357 m=4=589,3 m=9=261,9 b) R=mN=62400 m m=1 =249600 m m=4 =561600 m m=9 c) R= /dR= k/dk= f/df d= /R= 300/561600=5,342.10-4 nm  k=1/=1/300=33333 cm-1 d k=k/R=0,05935 cm-1 f=c/=9,9933.1014 s-1 d f=f/R=1,779 Ghz II.1.5.6. Hệ đơn sắc kế sử dụng cách tử a ) Hệ Ebert Khe vào Cách Gương chuẩn trực tử lõm Khe ra Tiêu cự 50 f
Hình 2.15: Sơ đồ hệ đơn sắc kế Ebert Không có tán xạ trong quá trình truyền tia sáng từ gương - Thiết bị gọn, khẩu độ cao: (f/3 hoặc f/5). - Bước sóng được chọn bằng cách xoay cách tử quanh trục. - Góc giữa tia tới và tia nhiễu xạ không đổi - b ) Hệ Czerny-Turner Giống như hệ Ebert, khác ở chỗ là thay m ột gương chu ẩn trực lõm lớn bằng hai hai gương lõm nh ỏ. Kh ẩu độ thấp : f/6 - f/10 . Khó xắp đặt hơn, thường được sử dụng trong các hệ đắt tiền để giảm nhiễu và tăng độ phân giải. c) Hệ Littrow Trong thực tế người ta thường sử dụng hệ đ ơn sắc kế có tên là Littrow (hình 2.16). Ưu đ iểm quan trọng của hệ này là độ tán sắc cao, kích thước gọn, loại bỏ đựợc hai lần khúc xạ. Sử dụng trong các hệ phổ nhỏ, khẩu độ là f/3 tới f/5. Góc tới và góc nhiễu xạ ở cùng một phía của pháp tuyến nên có thể sử dụng công thức nhiễu xạ: m  2b sin i . Hiệu suất cao, độ tinh khiết của phổ cao, độ lệch phổ nhỏ. d) Hệ Seya -Namioka (hình 2.17) Hai khe được đặt trên đường tròn bán kính b ằng 1/2 bán kính của cách tử. Hai gương phẳng được sử dụng để nắn tia vào và tia ra. ưu điểm: Gọn, độ phân giải cao, Độ đơn sắc cao, Độ nhiễu thấp. Để quét ánh sáng, quay cách tử theo trục Hình 2.16. Một số dạng của hệ thẳng đứng. đ ơn sắc kế Littrow Cách Cách tử quay tử 70o15’ Khe vào Khe ra Nguồ n Hình 2.17. Sơ đồ hệ đơn sáng sắc kế Seya-Namioka Hình 2.18. Sơ đồ hệ 51 đơn sắc kế Rowland
e) Hệ Rowland (hình 2.18) Sử dụng cho hệ cảm biến đa kênh, khẩu độ: f/3,  =180 700 nm, độ rộng vạch phổ ~ 4nm. Cách tử lõm, cong với sai số 2% tại bước sóng 210nm. 52