Phún xạ phần 2

Chia sẻ: Danh Ngoc | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:10

Thêm vào BST

Báo xấu

137
lượt xem 35
download

Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

Tham khảo tài liệu 'phún xạ phần 2', kỹ thuật - công nghệ, năng lượng phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả

Chủ đề:

Bình luận(0) Đăng nhập để gửi bình luận!

Lưu

Nội dung Text: Phún xạ phần 2

Phún xạ (tiếp) Hệ thống phóng điện cải tiến cho phún xạ Các thông số công nghệ thường dùng: Chân không: 10-7 torr Áp suất hơi Ar: 1 – 5 mtorr Điện áp: 500 – 1000 V (một chiều hay xoay chiều tần số radio) Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà 2/2/2006 11 11
Phún xạ (tiếp) Phún xạ hóa học Trong quá trình phún xạ, một hay nhiều thành phần của vật liệu màng mỏng phún xạ tồn tại dưới dạng các ion/tổ hợp mang điện và được vận chuyển bởi điện trường. Tại không gian gần/tại bề mặt đế, đư các thành phần đó tham gia phản ứng hóa học với các thành phần khác sẵn có hay cũng được vận chuyển tới để tạo thành vật liệu cuối kh cùng và lắng đọng trên bề mặt đế. Cần để ý tới hiện tượng ăn mòn (rỉ) do môi trường khí. ng (r Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà 2/2/2006 12 12
Phún xạ (tiếp) Phún xạ một chiều (DC) và xoay chiều tần số radio (RF) Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà 2/2/2006 13 13
Phún xạ (tiếp) Phún xạ dùng súng magnetron Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà 2/2/2006 14 14
Phún xạ (tiếp) Súng magnetron thương mại Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà 2/2/2006 15 15
Phún xạ (tiếp) Magnetron công nghiệp dạng tròn (trái) và phẳng (phải) Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà 2/2/2006 16 16
Phún xạ (tiếp) Chuyển động của các điện tử trong súng magnetron ng Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà 2/2/2006 17 17
Phún xạ (tiếp) Đường sức từ trường Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà 2/2/2006 18 18
Phún xạ (tiếp) Cơ chế của sự rỉ (ăn mòn) bia Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà 2/2/2006 19 19
Phún xạ (tiếp) Cải thiện việc sử dụng bia Đại học Bách khoa Hà Nội Bá Hà 2/2/2006 20 20