Ưu điểm phún xạ
-
Bài giảng Phần 3: Giới thiệu về một số phương pháp tạo màng thông dụng được biên soạn nhằm cung cấp cho các bạn những kiến thức về khái niệm màng mỏng, ứng dụng của việc tạo màng, các phương pháp chế tạo màng mỏng và ưu nhược điểm của từng phương pháp.
14p maiyeumaiyeu09 16-09-2016 78 10 Download
-
Tham khảo tài liệu 'phún xạ phần 3', kỹ thuật - công nghệ, năng lượng phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả
8p canhcachuatrung 18-04-2011 145 30 Download
-
Tham khảo tài liệu 'phún xạ phần 2', kỹ thuật - công nghệ, năng lượng phục vụ nhu cầu học tập, nghiên cứu và làm việc hiệu quả
10p canhcachuatrung 18-04-2011 134 34 Download
-
Phún xạ (tiếng Anh: Sputtering) hay Phún xạ catốt (Cathode Sputtering) là kỹ thuật chế tạo màng mỏng dựa trên nguyên lý truyền động năng bằng cách dùng các iôn khí hiếm được tăng tốc dưới điện trường bắn phá bề mặt vật liệu từ bia vật liệu, truyền động năng cho các nguyên tử này bay về phía đế và lắng đọng trên đế.
10p canhcachuatrung 18-04-2011 184 51 Download