Bài thuyết trình Màng từ

Chia sẻ: Lavie Lavie | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:9

Thêm vào BST

Báo xấu

55
lượt xem 5
download

Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

Bài thuyết trình Màng từ dưới đây giới thiệu tới các bạn những nội dung về định nghĩa; sơ đồ bố trí các bộ phận thiết bị phún xạ; cơ chế thực hiện quá trình phún xạ; đặc điểm của các hạt nguyên tử trên bia.

Chủ đề:

Bình luận(0) Đăng nhập để gửi bình luận!

Lưu

Nội dung Text: Bài thuyết trình Màng từ

LOGO MÀNG TỪ Học viên: Phạm Thị Xuân Hạnh
LOGO
LOGO Nội dung 1 Định nghĩa 2 Sơ đồ bố trí các bộ phận thiết bị phún xạ 3 Cơ chế thực hiện quá trình phún xạ 4 Đặc điểm của các hạt nguyên tử trên bia
LOGO Định nghĩa Màng từ là lớp kim loại, hợp kim, oxit đa hoặc đơn tinh thể mỏng (0,01 - 10 μm) có các tính chất từ. Màng từ được tạo ra bằng cách: bốc bay trong chân không; phún xạ catôt; lắng đọng điện phân kim loại trên đế; phản ứng hoá học (đối với các oxit).
LOGO Sơ đồ bố trí Khí vào Nguồn Bia điện Phiến bán dẫn Đế Bơm chân không
LOGO Cơ chế Dòng khí hiếm (Ar) được bơm vào buồng chân không. Dưới tác dụng của điện trường, các Lớp phủ màng Nguyên tử nguyên tử khí Ar bị iôn hóa. phún xạ từ bia Đường cảm Điện tử được tăng tốc nhờ điện trường ứng từ chuyển động tới anode, chúng tiếp tục gây ra iôn hóa các nguyên tử Ar mới. Các ion Ar được tăng tốc cũng bởi điện trường và chuyển động tới catode, va chạm với vật liệu bia, truyền động năng làm bắn ra các hạt vật liệu bia và các điện tử thứ cấp. Các hạt vật liệu bia bị phún xạ ra khi được đưa tới bề mặt các phiến đế sẽ lắng đọng và tạo ra màng mỏng trên đó, còn các điện tử thứ cấp khi đi tới anode góp phần tăng cường quá trình ion hóa các nguyên tử Ar. Nam châm Ar -> Ar+ + e-
LOGO Cơ chế Các nguyên tử tập hợp lại thành từng cụm trên đế. Khi các cụm đủ lớn sẽ liên kết lại hình thành màng (gồm một số lớp nguyên tử). Từ các lớp ban đầu này màng sẽ tiếp tục phát triển, nhưng ko phải phát triển đồng đều cho cả bề mặt, mà phát triển theo các hướng có năng lượng tự do thấp nhất. Hình thái của màng mỏng khác nhau tuỳ thuộc:  nhiệt độ của đế,  năng lượng (hay áp suất) của ion Ar
LOGO Cơ chế - Trong quá trình phún xạ, ta có thể lợi dụng các ion thứ cấp hình thành để • tăng tốc độ tạo màng • giảm thế áp vào bia (catode) • giảm áp suất dòng Ar. -> Kỹ thuật này gọi là phún xạ magnetron. -Trong kỹ thuật này ta áp 1 từ trường vào bia. Từ trường này sẽ giữ các electron thứ cấp dao động trên các đường sức từ quanh bia. -Các electron dao động gần bề mặt bia sẽ góp phần ion hoá nhiều nguyên tử Argon hơn. Chính điều này tăng tốc độ quá trình tạo màng mỏng.
LOGO Đặc điểm - Trước hết, các nguyên tử vật liệu bia bị phún xạ ra ngoài bia trung hòa về điện tích, nên chuyển động của chúng không phụ thuộc chiều điện trường mà được quyết định bởi các va chạm với các ion Ar+. - Năng lượng liên kết của các hạt nguyên tử vật liệu bia phụ thuộc vào nhiều yếu tố như : • các thông số của các ion Ar tham gia va chạm • định hướng tinh thể, v.v… Ví dụ, giá trị đối với vật liệu Ge khi dùng các ion Ar+ có động năng 1.2 KeV là vào khoảng ~ 15 eV. - Do có động năng lớn nên các hạt nguyên tử vật liệu bia có thể gây ra các hiệu ứng phụ như nhiễm bẩn thứ cấp, v.v…