intTypePromotion=1
ADSENSE

Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật viễn thông: Nghiên cứu tính toán thiết kế các mạch tích hợp giao thoa đa mode dùng trong mạng toàn quang

Chia sẻ: Na Na | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:129

43
lượt xem
3
download
 
  Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

Mục tiêu nghiên cứu là đề xuất thiết kế các mạch tích hợp quang với những ưu điểm về chất lượng hiệu năng so với các thiết kế dựa trên các mạch quang phẳng khác về các phương diện: cấu trúc không quá phức tạp, kích thước cấu kiện nhỏ gọn, tổn hao ghép nối thấp, băng thông tương đối cao, dung sai chế tạo khá lớn và tương thích với các phương pháp chế tạo vi mạch phổ biến hiện nay để có chi phí chế tạo thấp.

Chủ đề:
Lưu

Nội dung Text: Luận án Tiến sĩ Kỹ thuật viễn thông: Nghiên cứu tính toán thiết kế các mạch tích hợp giao thoa đa mode dùng trong mạng toàn quang

  1. BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI TRƢƠNG CAO DŨNG NGHIÊN CỨU TÍNH TOÁN THIẾT KẾ CÁC MẠCH TÍCH HỢP GIAO THOA ĐA MODE DÙNG TRONG MẠNG TOÀN QUANG LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT VIỄN THÔNG HÀ NỘI - 2015
  2. BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƢỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI TRƢƠNG CAO DŨNG NGHIÊN CỨU TÍNH TOÁN THIẾT KẾ CÁC MẠCH TÍCH HỢP GIAO THOA ĐA MODE DÙNG TRONG MẠNG TOÀN QUANG Chuyên ngành: Kỹ thuật viễn thông Mã số: 62520208 LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT VIỄN THÔNG TẬP THỂ HƯỚNG DẪN KHOA HỌC: 1. GS. TS. Trần Đức Hân 2. PGS.TS. Lê Trung Thành HÀ NỘI - 2015
  3. LỜI CAM ĐOAN Tôi xin cam đoan rằng các kết quả khoa học được trình bày trong luận án này là thành quả nghiên cứu của bản thân tôi trong suốt thời gian làm nghiên cứu sinh và chưa từng xuất hiện trong công bố của các tác giả khác. Các kết quả đạt được là chính xác và trung thực. Tác giả luận án Trương Cao Dũng i
  4. LỜI CẢM ƠN Đầu tiên và trên hết, tôi xin bày tỏ lời cảm ơn sâu sắc đến tập thể hướng dẫn khoa học: GS. TS. Trần Đức Hân và PGS.TS. Lê Trung Thành, những người không chỉ hướng dẫn trực tiếp về mặt khoa học mà còn hỗ trợ về mọi mặt để tôi có thể hoàn thành bản luận án này sau hơn ba năm làm nghiên cứu sinh. Tôi cũng xin gửi lời cảm ơn đến TS. Hoàng Vũ Chung –Viện Hàn lâm khoa học Việt Nam, người đưa đến cho tôi sự tư vấn hiệu quả về các vấn đề công nghệ chế tạo ống dẫn sóng cùng với sự hỗ trợ chuyên môn trong suốt thời gian nghiên cứu vừa qua. Tôi cũng xin gửi lời cảm ơn sâu sắc đến em Trần Tuấn Anh – Sinh viên K54, Đại học Bách Khoa Hà Nội – người đã có những đóng góp đắc lực, hỗ trợ tính toán cho các nghiên cứu khoa học của tôi. Qua đây, tôi cũng bày tỏ lòng biết ơn đến Viện Điện tử-Viễn thông và Viện Đào tạo Sau Đại học, Trường Đại học Bách Khoa Hà Nội đã tạo mọi điều kiện thuận lợi cho tôi trong quá trình học tập nghiên cứu. Cuối cùng, tôi dành những lời yêu thương nhất đến gia đình tôi: bố mẹ, các anh chị và đặc biệt là vợ tôi Vũ Vân Anh và con gái tôi Trương Khánh Chi. Sự động viên, giúp đỡ và sự hi sinh, nhẫn nại của họ là động lực mạnh mẽ giúp tôi vượt qua mọi khó khăn để hoàn thành luận án này. Xin chân thành cảm ơn! Hà Nội, ngày tháng năm 2015 Tác giả luận án Trương Cao Dũng ii
  5. Mục lục Mục lục ................................................................................................................................. iii Danh mục các thuật ngữ viết tắt ........................................................................................... vi Danh mục các ký hiệu ........................................................................................................ viii Danh mục các hình vẽ .......................................................................................................... ix Danh mục các bảng biểu ...................................................................................................... xii Mở đầu ................................................................................................................................... 1 Đối tượng và mục tiêu nghiên cứu .................................................................................... 3 Các kết quả đạt được ......................................................................................................... 4 Tổ chức luận án ................................................................................................................. 4 Chương1 ................................................................................................................................ 6 Giao thoa đa mode và mô phỏng BPM.................................................................................. 6 1.1 Giao thoa đa mode .................................................................................................. 6 1.1.1 Cơ sở truyền sóng trong ống dẫn sóng ............................................................ 7 1.1.2 Ống dẫn sóng đa mode và phân tích truyền mode ........................................... 9 1.1.3 Giao thoa tổng quát – GI ............................................................................... 12 1.1.4 Giao thoa hạn chế -RI .................................................................................... 13 1.1.5 Ống dẫn sóng hình búp măng ........................................................................ 15 1.2 Các phương pháp phân tích ống dẫn sóng ............................................................ 17 1.2.1 Phương pháp Marcatili .................................................................................. 17 1.2.2 Phương pháp hệ số hiệu dụng ........................................................................ 18 1.2.3 Phương pháp hệ số hiệu dụng hiệu chỉnh ...................................................... 19 1.3 Các phương pháp mô phỏng số học ...................................................................... 20 1.3.1 Phương pháp truyền chùm BPM ................................................................... 22 1.3.2 Lời giải mode thông qua BPM ...................................................................... 26 1.4 Kết luận chương .................................................................................................... 28 Chương 2 ............................................................................................................................. 29 Bộ chia công suất nhiều tỷ số và chia chùm phân cực sử dụng giao thoa đa mode ............ 29 2.1 Bộ chia công suất nhiều tỷ số dựa trên cấu trúc giao thoa đa mode ..................... 29 2.1.1 Nguyên lý thiết kế.......................................................................................... 30 iii
  6. 2.1.2 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 34 2.1.3 Tóm lược kết quả ........................................................................................... 41 2.2 Bộ chia chùm phân cực dựa trên ống dẫn sóng đa mode hình cánh bướm được khắc trên nền vật liệu SOI ............................................................................................... 41 2.2.1 Phân tích và thiết kế....................................................................................... 43 2.2.2 Tối ưu cấu trúc ............................................................................................... 45 2.2.3 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 47 2.2.4 Tóm lược kết quả ........................................................................................... 51 2.3 Kết luận chương .................................................................................................... 51 Chương 3 ............................................................................................................................. 52 Chuyển mạch quang dựa trên cấu trúc giao thoa đa mode .................................................. 52 3.1 Phân tích tổng quát của chuyển mạch quang N×N ............................................... 52 3.2 Bộ chuyển mạch toàn quang dựa trên các bộ ghép giao thoa đa mode 3×3 sử dụng các bộ ghép phi tuyến ...................................................................................................... 55 3.2.1 Phân tích và thiết kế cấu kiện ........................................................................ 55 3.2.2 Mô phỏng và thảo luận .................................................................................. 62 3.3 Bộ chuyển mạch toàn quang 2×2 không nhạy phân cực dựa trên cấu trúc giao thoa đa mode sử dụng các bộ ghép phi tuyến ......................................................................... 67 3.3.1 Thiết kế và tối ưu cấu trúc ............................................................................. 68 3.3.2 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 71 3.4 Bộ chuyển mạch quang 3×3 dựa trên các bộ ghép giao thoa đa mode sử dụng hiệu ứng điện- quang là các bộ dịch pha ................................................................................. 75 3.4.1 Phân tích và thiết kế....................................................................................... 75 3.4.2 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 77 3.5 Kết luận chương .................................................................................................... 82 Chương 4 ............................................................................................................................. 83 Bộ ghép kênh ba bước sóng sử dụng giao thoa đa mode .................................................... 83 4.1 Giới thiệu và nguyên lý thiết kế ............................................................................ 83 4.2 Thiết kế bộ triplexer dựa trên một bộ ghép giao thoa đa mode 2×2 hình cánh bướm và một bộ ghép định hướng sử dụng các ống dẫn sóng silic. ............................... 86 4.2.1 Thiết kế và tối ưu cấu trúc ............................................................................. 86 iv
  7. 4.2.2 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 91 4.3 Thiết kế bộ triplexer dựa trên phân tầng hai bộ ghép đa mode 2×2 hình cánh bướm sử dụng ống dẫn sóng silic .................................................................................... 94 4.3.1 Phân tích thiết kế và tối ưu cấu trúc .............................................................. 95 4.3.2 Kết quả mô phỏng và thảo luận ..................................................................... 97 4.4 Kết luận chương .................................................................................................. 100 Kết luận và hướng phát triển ............................................................................................. 101 Đóng góp khoa học của luận án .................................................................................... 101 Hướng phát triển tương lai của luận án ......................................................................... 102 DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ CỦA LUẬN ÁN ............................. 104 Tài liệu tham khảo ............................................................................................................. 105 v
  8. Danh mục các thuật ngữ viết tắt AON All Optical Network Mạng toàn quang AWG Arrayed Waveguide Grating Cách tử ống dẫn sóng được xếp mảng BPM Beam Propagation Method Phương pháp truyền chùm Complementary Metal Oxide CMOS Bán dẫn ô xít kim loại bù Semiconductor COM Complementary Operator Method Phương pháp toán tử bù Cr.T Crosstalk Xuyên nhiễu DC Directional Coupler Bộ ghép định hướng Dense Wavelength Division Ghép kênh phân chia bước sóng mật DWDM Multiplexing độ cao E.L Excess Loss Suy hao vượt qua EBL Electron beam lithography Quang khắc bằng chùm tia điện tử Phương pháp hệ số chiết suất hiệu EIM Effective Index Method dụng EMS Eigenvalue mode solver Lời giải mode giá trị riêng Ex.R Extinction Ratio Tỷ lệ phân biệt Finite Difference Beam Phương pháp truyền chùm sai phân FD-BPM Propagation Method hữu hạn FDM Finite Difference Method Phương pháp sai phân hữu hạn FDTD Finite difference –Time domain Sai phân hữu hạn miền thời gian FEM Finite Element Method Phương pháp phần tử hữu hạn Fast Fourier Transform Beam Phương pháp truyền chùm biến đổi FFT-BPM Propagation Method Fourier nhanh FTTH Fiber to the home Cáp quang đến tận nhà Full vectorial Beam Propagation Phương pháp truyền chùm véc tơ đầy FV-BPM Method đủ GI General Interference Giao thoa tổng quát I.L Insertion Loss Suy hao chèn MDM Mode Division Multiplexing Ghép kênh phân chia theo mode vi
  9. Phương pháp hệ số chiết suất hiệu MEIM Modified Effective Index Method dụng được hiệu chỉnh MEMS Mechanic-electronic micro switch Chuyển mạch vi cơ điện tử MMI Multimode Interference Giao thoa đa mode MOC Mode Order Conversion Chuyển đổi thứ tự mode MPA Mode Propagation Analysis Phân tích truyền mode MRR Microring Resonator Bộ vi cộng hưởng vòng MZI Mach-Zehnder Interferometer Giao thoa kế Mach-Zehnder OEICs Opto-electronic Integrated Circuits Vi mạch tích hợp quang-điện tử PhC Photonic Crystal Tinh thể quang tử PICs Photonic Integrated Circuits Mạch tích hợp quang tử PLCs Planar Lightwave Circuits Mạch quang phẳng PML Perfectly Match Layer Lớp thích hợp hoàn hảo PON Passive Optical Network Mạng quang thụ động RI Restrict Interference Giao thoa hạn chế RIE Reactive ion etching Phương pháp khắc bằng chùm ion SI Symetric Interference Giao thoa đối xứng SOI Silicon on Insulator Silic trên nền chất cách điện Semi-vectorial Beam Propagation SV BPM Phương pháp truyền chùm bán véc tơ Method TBC Transparent Boundary Condition Điều kiện biên trong suốt TE Transverse Electric Sóng điện ngang TEM Transverse Electromangnetic Sóng điện từ ngang TM Transverse Magnetic Sóng từ ngang TMM Transfer Matrix Method Phương pháp ma trận truyền đạt Wide angle – Beam Propagation WA-BPM Phương pháp truyền chùm góc rộng Method WDM Wavelength Division Multiplexing Ghép kênh phân chia bước sóng vii
  10. Danh mục các ký hiệu nc Chiết suất lớp vỏ ống dẫn sóng ns Chiết suất lớp đế (hay lớp nền) ống dẫn sóng We Chiều rộng hiệu dụng bộ ghép đa mode LMMI Chiều dài bộ ghép giao thoa đa mode L Nửa chiều dài phách của bộ ghép đa mode Pin Công suất đầu vào ống dẫn sóng Pout Công suất đầu ra ống dẫn sóng Pd Công suất ống dẫn sóng đầu ra mong muốn Tổng công suất từ các ống dẫn sóng đầu ra không mong Pu (tot ) muốn Tổng công suất từ các bước sóng đầu vào không mong P (tot ) muốn đưa đến cổng đầu ra mong muốn Hệ số mũ chỉ trạng thái phân cực.  =0 với mode TE và   =1 với mode TM c Hệ số biên độ mode thứ   Thứ tự mode trong cơ chế giao thoa đa mode  Góc dịch pha (rad) F Phép lấy vi phân hàm F theo biến riêng t t Khẩu độ số: góc tới lớn nhất có thể truyền được trong N.A ống dẫn sóng (để phản xạ toàn phần trong ống dẫn sóng)  Bước sóng hoạt động trong ống dẫn sóng nr (hoặc n f ) Chiết suất lớp lõi ống dẫn sóng WMMI Chiều rộng bộ ghép giao thoa đa mode viii
  11. Danh mục các hình vẽ Hình 1.1 Sơ đồ của một ống dẫn sóng đa mode N×M theo hình chiếu bằng. ....................... 9 Hình 1.2. Biểu diễn hai chiều của một ống dẫn sóng hệ số chiết suất bậc hai chiều .......... 10 Hình 1.3. Sơ đồ của một bộ chia hoặc kết hợp quang 1:N dựa trên cấu trúc giao thoa đối xứng. .................................................................................................................................... 15 Hình 1.4. Các ống dẫn sóng có chiều rộng biến đổi tuyến tính: (a) ống dẫn sóng hình búp măng và (b) ống dẫn sóng hình cánh bướm ........................................................................ 16 Hình 1.5. Mô tả sơ đồ phân tích bằng phương pháp hệ số hiệu dụng. ................................ 19 Hình 2.1. Cấu trúc của một bộ ghép giao toa đa mode cơ bản 2×2 MMI: .......................... 30 Hình 2.2 Sơ đồ khối của một bộ ghép đa mode 2×2 MMI dựa trên việc nối liền các phần 2×2 MMI cơ sở: (a) Ba bộ ghép 2×2 MMI và (b) Bốn bộ ghép 2×2 MMI. ........................ 31 Hình 2.3. Kết quả mô phỏng của các bộ ghép đa mode cơ sở: (a) Tại các chiều dài tối ưu và (b) Mô phỏng BPM cho sự truyền các trường quang qua bộ ghép cơ sở ............................ 35 Hình 2.4. Các kết quả mô phỏng BPM về đường bao điện trường cho vài bộ ghép đa mode được nối phân tầng để đạt được các tỷ số chia công suất mới ............................................ 36 Hình 2.5. Kết quả mô phỏng bằng phương pháp BPM sự phụ thuộc vào bước sóng: ........ 37 Hình 2.6. Sự phụ thuộc vào chiều dài của bộ ghép kiểu D trong kiểu ghép ba tầng AAD và kiểu ghép bốn tầng CDAD. ................................................................................................. 37 Hình 2.7. Sự phụ thuộc vào chiều rộng của bộ ghép kiểu D trong kiểu ghép ba tầng AAD và bốn tầng CDAD .............................................................................................................. 38 Hình 2.8. Sự phụ thuộc vào vị trí của bộ ghép kiểu D trong kiểu ghép ba tầng AAD và bốn tầng CDAD ................................................................................................................... 38 Hình 2.9. Pha của tín hiệu đầu ra tại các (a) chiều dài, (b) chiều rộng và (c) vị trí khác nhau của MMD-D trong cấu hình ghép ba tầng kiểu AAD và bốn tầng kiểu CDAD ......... 40 Hình 2.10. Sơ đồ cấu hình của bộ chia chùm phân cực dựa trên bộ ghép đa mode hình được khắc hình cánh bướm trên nền tảng vật liệu SOI: a) Hình chiếu bằng. b) Hình chiếu cạnh. ............................................................................................................................................. 42 Hình 2.11. Nửa chiều dài phách của các mode phân cực TE và TM là hàm số đối với các biến độ sâu khắc d và chiều rộng của vùng đa mode. (a) Độ sâu khắc. (b) Độ rộng vùng đa mode. ................................................................................................................................... 45 Hình 2.12. Công suất đầu ra được chuẩn hóa là hàm số với biến là chiều dài của vùng đa mode. ................................................................................................................................... 46 Hình 2.13. Công suất ra chuẩn hóa là hàm số của chiều rộng đáy lớn của ống dẫn sóng hình búp măng. .................................................................................................................... 47 Hình 2.14. Sự truyền của đường bao cường độ trường quang với các mode phân cực từ vị trí z=0+ µm đến điểm cuối z=218 µm: (a) và (b) đối với mode TE, (c) và (d) đối với mode TM. ...................................................................................................................................... 48 ix
  12. Hình 2.15. Đáp ứng bước sóng của suy hao vượt qua và tỷ lệ phân biệt cho hai mode phân cực. ...................................................................................................................................... 49 Hình 2.16. Suy hao vượt qua và tỷ lệ phân biệt là các hàm số của của chiều sâu khắc d cho hai mode phân cực. ....................................................................................................... 49 Hình 2.17. Suy hao vượt qua và tỷ lệ phân biệt là các hàm số của sai khác hệ số chiết suất giữa lớp lõi và lớp vỏ ∆n cho hai mode phân cực. .............................................................. 50 Hình 3.1. Sơ đồ nguyên lý của bộ chuyển mạch quang N×N sử dụng cấu trúc giao thoa đa mode .................................................................................................................................... 53 Hình 3.2. Một bộ chuyển mạch toàn quang dựa trên các bộ ghép giao thoa đa mode tổng quát kiểu 3×3 và sử dụng các bộ ghép định hướng làm các bộ dịch pha ............................ 57 Hình 3.3. Mô phỏng 2D-BPM cho các giá trị tối ưu của khoảng hở g giữa ống dẫn sóng điều khiển và ống dẫn sóng tín hiệu ngoài cùng.................................................................. 60 Hình 3.4. Các kết quả mô phỏng được thực hiện bằng phương pháp BPM cho các trạng thái chuyển mạch của bộ chuyển mạch toàn quang 3×3. .................................................... 63 Hình 3.5. Công suất đầu ra chuẩn hóa theo sự biến đổi của chiều rộng và chiều dài của bộ ghép đa mode cho tất cả các trạng thái bộ chuyển mạch đề xuất: (a) theo sự biến đổi của chiều rộng và (b) theo sự biến đổi của chiều dài. ................................................................ 64 Hình 3.6. Sự phụ thuộc theo bước sóng của suy hao chèn trong các trạng thái hoạt động chuyển mạch của cấu trúc đề xuất. ...................................................................................... 65 Hình 3.7. Các kết quả mô phỏng bằng 2D BPM cho sự phụ thuộc vào bước sóng cho: (a) Xuyên nhiễu (b) Tỷ lệ phân biệt .......................................................................................... 66 Hình 3.8. Một bộ chuyển mạch toàn quang 2×2 không nhạy phân cực dựa trên cấu trúc giao thoa đa mode ................................................................................................................ 69 Hình 3.9. Giá trị tối ưu được chọn của chiều dài của các vùng ghép đa mode được tìm thấy bằng mô phỏng 3D-BPM. ............................................................................................ 70 Hình 3.10. Mô phỏng 3D BPM của các mẫu trường điện của bộ chuyển mạch: (a) mode TE; (b) mode TM. ............................................................................................................... 72 Hình 3.11. Sự phụ thuộc của suy hao chèn, tỷ lệ phân biệt và xuyên nhiễu vào bước sóng: (a) Suy hao chèn, (b )Tỷ lệ phân biệt và (c) Xuyên nhiễu ................................................... 73 Hình 3.12. Mô phỏng bằng 3D-BPM cho các dung sai chế tạo của các bộ ghép đa mode của bộ chuyển mạch được đề xuất: (a) dung sai theo chiều dài, (b) dung sai theo chiều rộng. ..................................................................................................................................... 74 Hình 3.13. Sơ đồ cấu trúc bộ chuyển mạch quang dựa trên các bộ ghép đa mode 3×3 ..... 75 Hình 3.14. Mode cơ sở tại cổng đầu vào thứ hai của bộ chuyển mạch 3×3 ........................ 78 Hình 3.15. Kết quả mô phỏng thực hiện bằng phương pháp BPM cho tất cả các trạng thái chuyển mạch của bộ chuyển mạch quang 3×3 .................................................................... 79 Hình 3.16. Sự phụ thuộc vào bước sóng của suy hao chèn trong trường hợp đầu vào 1 và 2 của bộ chuyển mạch. ........................................................................................................ 80 x
  13. Hình 3.17. Công suất đầu ra chuẩn hóa phụ thuộc vào sự thay đổi của chiều rộng và chiều dài của vùng giao thoa đa mode MMI trong hoạt động ở trạng thái đầu vào thứ 2 đến đầu ra thứ 2 của bộ chuyển mạch: (a) sự biến đổi của chiều rộng; (b) sự biến đổi của chiều dài. . 81 Hình 3.18. Hiệu ứng của sự thay đổi hệ số chiết suất đến công suất ra được chuẩn hóa ... 82 Hình 4.1 Sơ đồ nguyên lý bộ ghép kênh hai bước sóng sử dụng bộ ghép đa mode 2×2 .... 84 Hình 4.2. Sơ đồ đề xuất của bộ triplexer dựa trên các ống dẫn sóng silic: ........................ 85 Hình 4.3. Mô phỏng 3D BPM cho sự thay đổi chiều dài của bộ ghép ............................... 88 Hình 4.4. Mô phỏng 3D-BPM cho vị trí tối ưu của ống dẫn sóngtruy nhập của bộ ghép đa mode. ................................................................................................................................... 88 Hình 4.5. Mô phỏng 3D-BPM cho chiều rộng đáy lớn tối ưu của các ống dẫn sóng hình búp măng. ............................................................................................................................ 89 Hình 4.6. Mô phỏng 3D-BPM cho chiều dài tối ưu Lc của bộ ghép định hướng. .............. 90 Hình 4.7. Mẫu điện trường (dạng đường bao) cho triplexer đề xuất tại ba bước sóng: ...... 91 Hình 4.8. Đáp ứng bước sóng của triplexer đề xuất tại ba cổng cho ba bước sóng ........... 92 Hình 4.9. Dung sai chế tạo cho triplexer đề xuất: (a) dung sai chiều rộng, (b) dung sai chiều dài. ....................................................................................................................................... 93 Hình 4.10. Sai khác hệ số chiết suất của triplexer. ............................................................. 94 Hình 4.11. Sơ đồ đề xuất của bộ triplexer dựa trên phân tầng các bộ ghép đa mode sử dụng các ống dẫn sóng silic: (a) Hình chiếu bằng; (b) Hình chiếu đứng và mode cơ sở của ống dẫn sóng đầu vào tại bước sóng 1550 nm. ........................................................................... 95 Hình 4.12. Mô phỏng 3D-BPM cho chiều dài tối ưu của bộ ghép đa mode hình cánh bướm thứ hai. ................................................................................................................................. 96 Hình 4.13. Đường bao phân bố điện trường cho triplexer đề xuất tại ba bước sóng: ........ 97 Hình 4.14. Đáp ứng theo bước sóng của triplexer đề xuất tại ba cổng............................... 98 Hình 4.15. Dung sai chế tạo cho triplexer được đề xuất: (a) dung sai theo chiều rộng, .... 99 Hình 4.16. Dung sai chế tạo vật liệu lớp lõi của triplexer đề xuất ................................... 100 xi
  14. Danh mục các bảng biểu Bảng 1.1. Đa thức Padé ....................................................................................................... 25 Bảng 2.1. Cấu trúc ghép và các tỷ số chia công suất mới ................................................... 33 Bảng 2.2. Suy hao vượt qua và tỷ lệ phân biệt của của bộ chia phân cực đã đề xuất ......... 48 Bảng 3.1. Các trạng thái dịch pha yêu cầu cho hoạt động chuyển mạch 3×3 ..................... 58 Bảng 3.2.Các giá trị cường độ trường điều khiển cần thiết ................................................. 61 Bảng 3.3. Suy hao chèn, tỷ lệ` phân biệt và xuyên nhiễu của bộ chuyển mạch ................. 63 Bảng 3.4. Các trạng thái dịch pha và cường độ trường điều khiển tối ưu cho hoạt động chuyển mạch của bộ chuyển mạch được đề xuất. ............................................................... 70 Bảng 3.5. Suy hao chèn, xuyên nhiễu và tỷ lệ phân biệt của bộ chuyển mạch được đề xuất ............................................................................................................................................. 71 Bảng 3.6. Các trạng thái dịch pha cho hoạt động của bộ .................................................... 76 Bảng 4.1. Công suất (chuẩn hóa theo công suất đầu vào) ba cổng đầu ra của triplexer đề xuất tại ba bước sóng ........................................................................................................... 92 Bảng 4.2. Công suất ra (được chuẩn hóa theo công suất đầu vào) ba cổng của triplexer đề xuất tại ba bước sóng ........................................................................................................... 98 xii
  15. Mở đầu Thông tin quang sợi [3] là một trong những thành tựu nổi bật nhất của con người trong thế kỷ trước, cung cấp giải pháp hữu hiệu cho vấn đề truyền tải thông tin. Sự ra đời của mạng Internet mang lại một lợi ích to lớn cho tri thức, nhu cầu trao đổi, lưu trữ và xử lý thông tin của con người. Với sự bùng nổ của các dịch vụ số liệu trên nền Internet, nhu cầu băng thông phát triển với tốc độ rất nhanh [2]. Để đáp ứng được nhu cầu này, công nghệ truyền dẫn theo phương thức ghép kênh phân chia theo bước sóng quang –WDM (wavelength division multiplexing) [115] có khả năng ghép nhiều bước sóng trên một sợi quang đã đáp ứng nhu cầu phát triển nhanh của các dịch vụ tryền số liệu các dịch vụ video, các dịch vụ cáp sợi quang đến hộ gia đình –FTTH (fiber to the home) [17] [140] hay các mạng truy nhập quang thụ động PON (passive optical network) khác. Hơn nữa, với sự phát triển của các bộ khuếch đại quang [50] đã tạo ra những hệ thống thông tin có cự ly truyền dẫn rất xa cho các mạng quốc gia hay kết nối liên châu lục. Trước đây, các thành phần đầu cuối nối với khách hàng và các nút truyền tải có sự biến đổi tín hiệu giữa miền điện và miền quang hoặc lai ghép giữa miền điện và miền quang làm chậm tốc độ xử lý bởi đặc điểm về trễ, quán tính và giới hạn lượng tử của điện tử. Theo xu hướng hiện đại thì các thành phần quang xử lý tín hiệu toàn quang thay thế hoàn toàn cho các thành phần xử lý có sự biến đổi qua miền điện. Phương pháp xử lý tín hiệu toàn quang có ưu điểm nổi bật về: tốc độ xử lý, băng thông cao, dễ phối ghép, cho phép tích hợp cỡ lớn và dễ đóng gói. Do đó các mạng thông tin xử lý tín hiệu toàn quang AONs (all optical networks) là xu thế phát triển cho các hệ thống thông tin quang thế hệ mới. Các thành phần vi mạch tích hợp chức năng như các bộ chia quang, kết hợp quang, phát thu quang, điều chế quang, khuếch đại quang, chuyển mạch quang và ghép/tách quang là những phần tử cần thiết để xử lý, truyền tải và xen rẽ tín hiệu quang. Các mạch tích hợp quang tử –PICs (photonic integrated circuits) được chờ đợi là thế hệ kế tiếp của các mạch tích hợp quang điện tử, trong đó chỉ các linh kiện quang thụ động mới được tích hợp [138]. Các mạch quang phẳng – PLCs (planar lightwave circuits) là một ứng cử viên tốt để xây dựng các mạch quang thích hợp trong thông tin quang. Theo truyền thống, các mạch quang phẳng bị cản trở bởi một số vấn đề lớn, chẳng hạn: sự phụ thuộc phân cực và độ nhạy nhiệt và chúng bị giới hạn trong không gian hai chiều và chịu ảnh hưởng của suy hao quang. Những vấn đề này đã và đang được giải quyết mang lại cho mạch tích hợp quang phẳng với bốn ưu điểm: (1) chức năng được nâng cao, (2) suy hao rất thấp, (3) kích thước rất nhỏ gọn và (4) tiềm năng để chế tạo hàng loạt. Dựa trên những thành tựu to lớn của công nghệ chế tạo bán dẫn và các công nghệ quang khắc, PLCs có thể được chế tạo với nhiều chức năng phức tạp và linh động. Các thành phần này có thể tùy theo yêu cầu mật độ tích hợp cao và giá thành rẻ. Chẳng hạn, nhiều PLCs được chế tạo trên nền các vật liệu thủy tinh silic [36], [93], [124], thủy tinh chalcogenide [34], InP/GaAsInP [6] [45], vật liệu polymer [5] [101] v.v để tạo ra nhiều thành phần chức năng, linh kiện, 1
  16. thiết bị quang. So sánh với các thành phần rời rạc của mạch quang tích hợp chẳng hạn được xây dựng dựa trên công nghệ màng mỏng hay tinh thể quang tử (photonic crystal) thì các linh kiện dựa trên công nghệ PLCs hứa hẹn hơn bởi chất lượng hiệu năng (performances) tốt của chúng như: kích thước nhỏ, suy hao thấp, độ tin cậy cao hơn, hiệu năng tốt, khả năng sản xuất hàng loạt và thiết kế linh động, giá thành ngày một giảm. Một ống dẫn sóng quang là một đơn vị cơ bản cho các thành phần quang tử, nó giống như dây dẫn điện cho điện tử. Xét về phương diện mạch thì quang tử có thể được xem như tương đương với tín hiệu điện được thay thế bởi tín hiệu quang. Một cách so sánh, ống dẫn sóng dựa trên phản xạ toàn phần của tín hiệu quang để dẫn tín hiệu [64] cũng giống như điện tử được dẫn trong các dây dẫn điện như kim loại hay sóng điện từ được truyền trong môi trường không gian truyền sóng. Nguyên lý truyền ánh sáng trong ống dẫn sóng cũng chính là nguyên lý của sóng ánh sáng được dẫn trong các sợi cáp quang. Ưu điểm của truyền sóng dựa trên phản xạ toàn phần là suy hao truyền sóng thấp do hầu như không bị tán xạ ra môi trường bên ngoài. Do đó, hiện nay các mạch tích hợp quang PLCs sử dụng các ống dẫn sóng là chủ đạo để xây dựng các thành phần chức năng trong các hệ thống thông tin cáp sợi quang. Các ống dẫn sóng quang và các cấu kiện vi quang có thể được chế tạo với nhiều loại vật liệu khác nhau. Mỗi loại vật liệu có một số ưu nhược điểm khác nhau tùy theo cấu trúc, chức năng và mục đích ứng dụng các hiệu ứng vật lý. Chẳng hạn, với những thành phần cấu kiện quang thụ động thì vật liệu SOI (silicon on insulator) là một ứng cử viên tốt để lựa chọn bởi suy hao vật liệu tương đối thấp, giá thành rẻ, hệ số tương phản cao nhưng gặp khó khăn để đạt được phát xạ ánh sáng bởi khoảng băng gián tiếp (indirect bandgap). Mặc khác vật liệu SOI có hệ số điện quang (electro-optic coefficient) và hệ số chiết suất phi tuyến (nonlinear refractive index) thấp nên không thích hợp với những ứng dụng của các hiệu ứng điện quang hay hiệu ứng phi tuyến Kerr. Trong khi đó vật liệu như InP [6] chẳng hạn lại là lựa chọn lý tưởng cho tích hợp nguyên khối (monolithic integration) bởi chúng có thể hỗ trợ hiệu ứng điện quang [90] để tạo ra các cấu trúc điều chế, chuyển mạch tốc độ cao nhưng nhược điểm của chúng là suy hao dẫn sóng lớn và sai khác hệ số chiết suất giữa lớp lõi và lớp vỏ không cao nên kích thước còn khá lớn. Một loại vật liệu khác là thủy tinh chalcogenide (As2S3) với đáp ứng thời gian nhanh kết hợp với hệ số phi tuyến bậc ba cao thích hợp cho các mạch quang xử lý tốc độ cao [121]. Hơn nữa vật liệu có hệ số phi tuyến Kerr rất lớn do vậy rất phù hợp với những ứng dụng cần có tác động của hiệu ứng phi tuyến. Các bộ ghép giao thoa đa mode MMI (multimode interference) là những ống dẫn sóng quang phẳng, chúng hoạt động dựa trên nguyên lý tự tạo ảnh và được phát triển rất nhanh trong những năm gần đây kể từ khi được giới thiệu về ứng dụng trong quang tích hợp bởi Ulrich và Ankele [135]. Các phương pháp phân tích truyền mode và mô phỏng số hiện đại đặc biệt là các phương pháp truyền chùm –BPM (beam propagation method) [145] và 2
  17. phương pháp sai phân hữu hạn miền thời gian – FDTD (finite difference time domain) [61] với năng lực trợ giúp của máy tính điện toán (computer) ngày càng cao đã và đang tạo ra những bước đột phá mới cho nghiên cứu ứng dụng của các bộ ghép đa mode. Bộ ghép đa mode có những ưu điểm như: băng thông tương đối cao [142] [88], suy hao thấp [84], dung sai chế tạo lớn và mật độ tích hợp cao [151], tính ổn định rất tốt và tương thích với công nghệ chế tạo bán dẫn CMOS [20]. Nhờ đó mà các bộ phối ghép giao thoa đa mode được nghiên cứu và chế tạo để sử dụng rộng rãi trong nhiều mạch quang phẳng tích hợp gồm: laser diode [125], bộ ghép nối quang [51], chia công suất quang [24] [123], kết hợp quang, điều chế quang [16], chuyển mạch quang [136] [59], ghép/tách bước sóng quang [128], các bộ cảm biến y sinh (biosensors) [69], các mạch logic quang [57] [79], các bộ tạo mã quang [107]. Bên cạnh đó, các bộ giao thoa đa mode có thể được tích hợp với các mạch quang phẳng khác chẳng hạn như: bộ cộng hưởng vi vòng [18], tinh thể quang, ảnh giao thoa ba chiều (hologram) [130], cách tử Bragg [154], cách tử ống dẫn sóng được xếp mảng –AWG (arrayed waveguide grating) [32] để tạo ra các vi mạch quang phức hợp. Tuy nhiên, cho đến nay khả năng áp dụng của các bộ ghép giao thoa đa mode để xây dựng nên các mạch tích hợp quang là những linh kiện của mạng thông tin xử lý tín hiệu toàn quang còn nhiều cơ hội và thách thức cho nghiên cứu khoa học. Khả năng áp dụng các bộ ghép giao thoa đa mode để tạo ra các bộ chia công suất với các tỷ số chia đa dạng, các bộ chia chùm phân cực, các bộ chuyển mạch quang không chặn nhiều cổng, các bộ ghép kênh ba bước sóng, các bộ ghép kênh phân chia theo mode hay các bộ điều chế pha vi sai, các bộ cộng hưởng Fano, các bộ suy hao quang biến đổi điều khiển được,v.v. Bên cạnh đó, việc sử dụng các cấu trúc hình học cho các bộ ghép đa mode để tối ưu hóa chất lượng hiệu năng hoạt động là vấn đề quan trọng cần giải quyết. Đó cũng chính là những tiềm năng và động lực nghiên cứu cho luận án này. Đối tƣợng và mục tiêu nghiên cứu Tóm lược những thảo luận ở trên, luận án hướng đến những đối tượng nghiên cứu như sau: - Nghiên cứu những tính chất, đặc điểm vật lý nổi bật của các bộ ghép giao thoa đa mode với những cấu trúc hình học truyền thống và cải tiến. - Kết hợp những ưu thế của cấu trúc giao thoa đa mode với các cấu hình, cấu trúc hình học, vật liệu khác nhau để đề xuất xây dựng một số thành phần (hoặc phần tử) là những vi mạch tích hợp chức năng mới của các mạng xử lý tín hiệu toàn quang. - Các cấu kiện được đề xuất có cấu trúc mới hoặc được cải tiến để đạt được chất lượng hiệu năng quang học tốt hơn nhờ những lợi điểm của bộ ghép đa mode so với các thành phần cấu kiện dựa trên các mạch quang phẳng khác đã được thiết kế, chế tạo ở các nghiên cứu khoa học khác. Phương pháp tiếp cận và mục tiêu nghiên cứu cốt yếu là: Phần nghiên cứu chính của 3
  18. luận án tiếp cận nghiên cứu các bộ ghép đa mode cơ bản 2×2 và 3×3 với cấu trúc hình học chữ nhật truyền thống hoặc những cấu trúc với chiều rộng vùng đa mode biến đổi theo hình dạng búp măng hoặc hình cánh bướm. Các bộ ghép đa mode sau đó được sử dụng với cấu trúc đơn lẻ hoặc được ghép tầng nối tiếp hay ghép kiểu giao thoa Mach-Zehnder để đạt được những cấu kiện, thành phần chức năng xử lý tín hiệu toàn quang. Mục tiêu nghiên cứu là đề xuất thiết kế các mạch tích hợp quang với những ưu điểm về chất lượng hiệu năng so với các thiết kế dựa trên các mạch quang phẳng khác về các phương diện: cấu trúc không quá phức tạp, kích thước cấu kiện nhỏ gọn, tổn hao ghép nối thấp, băng thông tương đối cao, dung sai chế tạo khá lớn và tương thích với các phương pháp chế tạo vi mạch phổ biến hiện nay để có chi phí chế tạo thấp. Phương pháp nghiên cứu tính toán thiết kế dựa trên mô phỏng số BPM - một phương pháp mô phỏng số được sử dụng rất rộng rãi trong các nghiên cứu ống dẫn sóng quang phẳng cho toàn bộ các đề xuất của luận án. Các kết quả đạt đƣợc Xuất phát từ những phân tích ở trên về tiềm năng ứng dụng của các bộ giao thoa đa mode đối với nhu cầu thiết kế các mạch tích hợp quang tử, các thành phần để ứng dụng trong các mạng thông tin toàn quang, luận án tập trung nghiên cứu đề xuất các thiết kế sử dụng các bộ ghép đa mode để tạo ra một số thành phần, cấu kiện vi quang mới. Luận án đã đạt được một số kết quả chính sau đây:  Đề xuất sử dụng bộ ghép giao thoa đa mode với các bộ ghép cơ sở trên nền vật liệu silic và thủy tinh silic để ghép tầng tạo ra các bộ chia công suất có nhiều tỷ số chia công suất bất đối xứng mới. Thiết kế bộ ghép giao thoa đa mode được khắc hình cánh bướm trên nền vật liệu silic và thủy tinh silic để tạo ra bộ chia chùm phân cực.  Thiết kế bộ chuyển mạch quang mới dựa trên ghép các bộ ghép đa mode theo cơ chế giao thoa kế Mach Zehnder – MZI (Mach Zehnder Interferometer). Trong đó, đề xuất sử dụng các ống dẫn sóng truy nhập ngoài cùng nối giữa các vùng đa mode là các bộ dịch pha cho các hoạt động của trạng thái chuyển mạch. Sử dụng hiệu ứng Kerr bằng vật liệu thủy tinh chalcogenide (As2S3) trên nền thủy tinh silic (SiO2), sử dụng hiệu ứng Pockel bằng vật liệu tinh thể AgGaSe2 (Silver gallium selenide) trên nền thủy tinh silic để tạo ra dịch pha cần thiết cho hoạt động chuyển mạch.  Đề xuất sử dụng bộ ghép đa mode trên nền vật liệu silic và thủy tinh silic để thiết kế bộ tách ghép ba bước sóng 1310 nm, 1490 nm, 1550 nm (được gọi là các bộ triplexer) dùng trong các mạng quang truy nhập FTTH. Tổ chức luận án Nền tảng lý thuyết được trình bày trong chương 1. Các nội dung được đề xuất và thiết kế các cấu kiện vi quang sử dụng giao thoa đa mode được trình bày chuyên sâu trong Chương 2, Chương 3 và Chương 4. Ba chương này thể hiện toàn bộ đóng góp khoa học của luận án. Cụ thể tổ chức như sau: 4
  19. Chương 1. Giao thoa đa mode: Chương này trình bày về cơ sở lý thuyết về nguyên lý tự tạo ảnh trong ống dẫn sóng và cơ chế giao thoa đa mode, các đặc trưng quan trọng về các cơ chế giao thoa phổ biến trong ống dẫn sóng đa mode hình chữ nhật truyền thống. Cuối cùng, chương này trình bày về các phương pháp mô phỏng số sử dụng hiệu quả cho nghiên cứu, phân tích và thiết kế ống dẫn sóng giao thoa đa mode. Chương 2. Bộ chia công suất nhiều tỷ số và chia chùm phân cực dựa trên cấu trúc giao thoa đa mode: Chương này đề xuất thiết kế bộ chia công suất nhiều tỷ số và chia chùm phân cực sử dụng cấu trúc giao thoa đa mode. Phần đầu chương đề xuất ghép tầng nối tiếp các bộ ghép giao thoa đa mode 2×2 để tạo ra các bộ chia công suất với các tỷ số chia bất đối xứng dựa trên nền tảng vật liệu silic và thủy tinh silic. Phần sau đề xuất sử dụng bộ ghép đa mode 2×2 với cấu trúc ống dẫn sóng được khắc hình cánh bướm để chia chùm phân cực. Sử dụng phương pháp ma trận truyền dẫn và phương pháp mô phỏng số BPM để thiết kế, tối ưu và đánh giá hiệu năng hoạt động của cấu kiện. Chương 3. Chuyển mạch quang dựa trên cấu trúc giao thoa đa mode: Trong chương này đề xuất sử dụng các bộ ghép giao thoa đa mode để tạo ra các bộ chuyển mạch quang không bị chặn (nghĩa là: bất kỳ cổng đầu vào nào cũng có thể chuyển mạch được đến bất kỳ cổng đầu ra nào). Trong đó đi sâu vào nghiên cứu đề xuất sử dụng 2 bộ ghép đa mode 2×2 để tạo ra bộ chuyển mạch quang 2×2 hoặc sử dụng hai bộ ghép đa mode kích thước 3×3 ghép với nhau để thực hiện nhiệm vụ của một bộ chuyển mạch quang 3×3. Trong đó, các ống dẫn sóng truy nhập nối giữa các phần ống dẫn sóng giao thoa đa mode thực hiện nhiệm vụ của các bộ dịch pha thụ động. Áp dụng các hiệu ứng Kerr hoặc hiệu ứng Pockel để tác động tạo dịch pha trong các ống dẫn sóng này cho các hoạt động chuyển mạch. Phương pháp ma trận truyền dẫn kết hợp các phương pháp phân tích truyền mode và phương pháp mô phỏng số BPM để phân tích, thiết kế, tối ưu hóa cấu kiện đề xuất cũng như đánh giá hiệu năng hoạt động của toàn bộ cấu kiện. Chương 4. Các bộ triplexer dựa trên cấu trúc giao thoa đa mode: Chương này đề xuất các thiết kế cho bộ triplexer sử dụng cấu trúc giao thoa đa mode trên nền vật liệu silic và thủy tinh silic. Đầu tiên, một bộ ghép giao thoa đa mode 2×2 hình cánh bướm được thiết kế để tách bước sóng 1310 nm và 1550 nm ra một cổng, bước sóng 1490 nm được tách riêng ra một cổng. Để tách riêng bước sóng 1310 nm và 1550 nm ra những cổng riêng biệt, luận án đề xuất: hoặc sử dụng một bộ ghép định hướng DC (directional coupler) hoặc sử dụng một bộ ghép giao thoa đa mode hình cánh bướm thứ hai để tách riêng những bước sóng này. Phương pháp mô phỏng số BPM được sử dụng để phân tích, thiết kế, tối ưu và đánh giá chất lượng hiệu năng hoạt động của toàn bộ cấu kiện. Kết luận và hướng phát triển: Kết luận ngắn gọn về toàn bộ nội dung, các đóng góp khoa học của luận án cũng như đề xuất những hướng phát triển nghiên cứu khoa học tiềm năng tiếp theo luận án này. 5
  20. Chƣơng1 Giao thoa đa mode và mô phỏng BPM Nguyên lý cơ bản của ống giao thoa đa mode là nhiều mode tồn tại trong một ống dẫn sóng. Sự truyền các mode trong một ống dẫn sóng có thể được mô tả bởi hệ phương trình Maxwell xét theo phương diện quang sóng hoặc mô tả theo phương pháp quang hình (ray optic). Phương pháp quang hình có thể mô tả đơn giản, tường minh và trực tiếp để hiểu các mode trong ống dẫn sóng. Tuy nhiên, phương pháp mô tả quang lý (về tính sóng của ánh sáng) bởi hệ phương trình Maxwell mà trực tiếp dẫn xuất là phương trình Helmholtz kinh điển đạt được nhiều thông tin một cách tường minh theo quan điểm trường điện từ của sóng ánh sáng. Nghiên cứu về ống dẫn sóng quang về sự truyền sóng và phân bố mode của các thành phần điện trường, từ trường trong ống dẫn sóng bằng phương trình Helmholtz (là những phương trình vi phân đạo hàm riêng cấp hai - còn được gọi là các phương trình vi phân parabol) dẫn đến sự cần thiết phải giải các phương trình vi phân đạo hàm riêng bằng phương pháp toán giải tích là rất khó khăn. Việc xác định chính xác các biểu thức giải tích của trường điện từ của sóng quang truyền trong ống dẫn sóng chỉ có thể giải được bằng các biểu thức giải tích một cách tường minh trong những điều kiện ống dẫn sóng với dạng hình học đơn giản. Nói chung, việc giải phương trình Helmholtz [39] để nghiên cứu về các ống dẫn sóng và sự truyền sóng để tìm hiểu chi tiết về các đặc trưng vật lý của sóng điện từ cần phải giải quyết bằng các phương pháp xấp xỉ như: xấp xỉ bằng biến đổi Fourier [111] hoặc các phương pháp phần tử hữu hạn FEM (finite element method) [28] [104], phương pháp sai phân hữu hạn FDM (finite difference method) [48]…Các phương pháp đó gọi chung là các phương pháp mô phỏng số học (numerics simulation). Chương này của luận án sẽ trình bày cơ sở lý thuyết về các ống dẫn sóng giao thoa đa mode, các cơ chế giao thoa và các phương pháp phân tích ống dẫn sóng, nhất là phương pháp truyền chùm BPM – một phương pháp mô phỏng rất thích hợp và được sử dụng rộng rãi trong các nghiên cứu về ống dẫn sóng quang giao thoa đa mode. 1.1 Giao thoa đa mode Giao thoa đa mode là hiện tượng ảnh tự chụp, một đặc tính của các ống dẫn sóng đa mode. Theo đó một trường đầu vào được tái tạo trong một hoặc nhiều ảnh tại các khoảng cách có tính chất chu kỳ dọc theo hướng truyền của ống dẫn sóng. Hiện tượng vật lý tự chụp ảnh theo chu kỳ của một đối tượng bằng sự giao thoa kết hợp của sóng ánh sáng được mô tả lần đầu tiên bởi Talbot et.al [126] vào năm 1836. Các ống dẫn sóng tự hội tụ với hệ số chiết suất biến đổi đều có thể tạo ra các ảnh thực theo chu kỳ của một đối tượng. Tuy nhiên, lần đầu tiên khả năng thu được ảnh tự chụp trong các ống dẫn sóng vuông nhỏ hệ số đồng nhất được tìm ra trong thí nghiệm của Bryngdahl [21] vào năm 1973 bằng cách sử 6
ADSENSE

CÓ THỂ BẠN MUỐN DOWNLOAD

 

Đồng bộ tài khoản
2=>2