iii
MỤC LỤC
LỜI CAM ĐOAN........................................................................................................... i
LỜI CẢM ƠN ............................................................................................................... ii
MỤC LỤC .................................................................................................................... iii
DANH MỤC CÁC HÌNH VẼ ...................................................................................... v
LỜI MỞ ĐẦU ............................................................................................................... 1
1. Lý do chọn đề tài .................................................................................................. 1
2. Mục tiêu đề tài ...................................................................................................... 2
2.1. Về lý thuyết: ................................................................................................... 2
2.2. Về thực tiễn: ................................................................................................... 4
3. Phương pháp nghiên cứu ...................................................................................... 4
4. Cấu trúc luận văn .................................................................................................. 5
: TỔNG QUAN VỀ THUYẾT CẢM BIẾN ĐIỆN DUNG .................. 6 CHƢƠNG 1
1.1. Điện dung ............................................................................................................. 6
1.2. Hằng số điện môi ................................................................................................. 7
1.3. Các ứng dụng của cảm biến điện dung ................................................................ 8
Cảm biến khoảng cách ................................................................................... 9 1.3.1.
Cảm biến vị trí ............................................................................................. 10 1.3.2.
Cảm biến độ ẩm ........................................................................................... 11 1.3.3.
Cảm biến áp suất ......................................................................................... 12 1.3.4.
Cảm biến độ nghiêng ................................................................................... 14 1.3.5.
CẤU TRÚC C4D VÀ PHƢƠNG PHÁP PHÁT HIỆN VẬT THỂ CHƢƠNG 2:
TRÊN KÊNH CHẤT LỎNG ..................................................................................... 15
2.1. Nguyên tắc cơ bản của cấu trúc C4D.................................................................. 15
2.2. Thiết kế và vận hành cảm biến DC4D thông thường ......................................... 20
2.3. Nguyên lý hoạt động cảm biến C4D phát hiện vật thể trong kênh chất lỏng ..... 22
2.4. Thiết lập hệ thống và đo lường .......................................................................... 25
CẢM BIẾN TỤ PHẲNG VỚI VI KÊNH CHẤT LỎNG ................ 27 CHƢƠNG 3:
3.1. Cơ sở lý thuyết ................................................................................................... 27
3.2. Nghiên cứu thiết kế cảm biến tụ phẳng .............................................................. 29
