Phún xạ magnetron

Bài báo "Nghiên cứu cấu trúc của màng ZnO: Ag chế tạo bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron" trình bày một số kết quả nghiên cứu chế tạo màng mỏng trong suốt ZnO: Ag (0% - 4%) trên đế thủy tinh hoặc Si, bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron. Ảnh hưởng của 3 mức công suất phún xạ là 125W, 150W, 175W lên tính chất của màng mỏng chế tạo trong môi trường Ar ở áp suất cố định 1 Pa đã được khảo sát.

5p xuanphongdacy09 29-09-2024 3 1   Download

Phún xạ magnetron xung DC tần số 100 kHz được sử dụng để lắng đọng lớp phủ vàng trên bề mặt màng polyethylene terephthalate (PET). Tính chất quang học của lớp phủ vàng được đánh giá dựa trên các phép đo phản xạ và truyền qua trên máy quang phổ Jasco V-770/SLM-907. Phân tích quang phổ cho biết thông tin về màu sắc, tạp chất, chất lượng bề mặt và độ dày của lớp phủ.

4p vigojek 02-02-2024 6 1   Download

Bài viết "Chế tạo và nghiên cứu tính chất vật lý của màng dẫn trong suốt ZnO pha tạp Ag bằng phương pháp phún xạ r.f. magnetron" nghiên cứu công suất phún xạ ảnh hưởng mạnh đến độ kết tinh của màng thu được trong khi nồng độ pha tạp quyết định độ dẫn. Nồng độ pha tạp 1% cho màng có độ dẫn cao nhất (điện trở suất ~ 8×10-4Ω.cm) và có xu hướng giảm ở các nồng độ pha tạp cao hơn. Độ truyền qua của các màng mỏng ZnO:Ag trong vùng nhìn thấy bị giảm đi khi tăng nồng độ pha tạp nhưng vẫn đáp ứng yêu cầu để làm màng dẫn trong suốt trong các linh kiện quang điện tử.

8p nhanchienthien 25-07-2023 9 3   Download

Trong nghiên cứu này, các mẫu màng TiN sẽ được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron. Trong đó, ảnh hưởng của công suất phún xạ tới tổ chức và tính chất của màng được nghiên cứu gồm: cấu trúc pha, hình thái học bề mặt - mặt cắt ngang, độ cứng và hệ số ma sát.

8p viwolverine 07-07-2023 17 4   Download

Bài viết Nghiên cứu chế tạo màng mỏng chống mài mòn TiZrN bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron RF nghiên cứu xác định các đặc tính cơ học và ma sát, sử ảnh hưởng của các thông số công nghệ (trong điều kiện nguồn khí phản ứng N2 cung cấp khác nhau). Từ đó tìm ra phạm vi và thông số kiểm soát để tìm ra lớp phủ có tính chất tối ưu nhất.

7p visirius 19-01-2023 28 5   Download

Bài viết này tập trung nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt SnO2 pha tạp Ta (TTO) đƣợc lắng đọng ở các nhiệt độ đế khác nhau. Màng TTO đƣợc lắng đọng trên đế thạch anh bằng phƣơng pháp phún xạ magnetron DC. Cấu trúc tinh thể và tính chất quang và điện của màng đƣợc khảo sát bằng giản đồ nhiễu xạ tia X, phổ truyền qua Uv-Vis và phép đo Hall. Mời các bạn cùng tham khảo!

7p tunelove 12-06-2021 34 2   Download

Bài viết bàn về lớp phủ CrN được lắng đọng trên nền thép SKD61 bằng phương pháp phún xạ xung một chiều magnetron trên thiết bị chân không B30 VTD; sử dụng nguồn xung DC giữ ổn định ở 320W; đế thép SKD61 được thiên áp ở 150V.

5p quenchua12 10-05-2021 29 2   Download

Mục tiêu của đề tài là chế tạo và đặc trưng tính chất của màng phủ cứng nitrua đơn lớp – đa nguyên tố (TiAlXN (X: Si, B, V) và đa lớp – đa nguyên tố TiAlXN/CrN (X: Si, B) có độcứng cao, hệ số ma sát thấp; tìm và khảo sát được ảnh hưởng của các thông số chính quyết định đến tính chất của các loại màng phủ.

133p capheviahe29 17-03-2021 13 5   Download

Luận án nghiên cứu chế tạo màng dẫn điện trong suốt ZnO pha tạp nhôm (AZO); nghiên cứu tính chất quang và điện của màng TiN, nghiên cứu tính chất quang xúc tác của màng TiO2; mô phỏng lý thuyết bài toán tổng quát hệ màng đa lớp từ lý thuyết Fresnel; nghiên cứu chế tạo màng đa lớp TiO2/TiN/TiO2... Mời các bạn cùng tham khảo.

170p capheviahe28 01-03-2021 23 5   Download

Luận án đã chứng tỏ mô hình hàm điện môi dựa trên lý thuyết cổ điển Drude mở rộng và dao động Lorentz mô tả rất tốt phổ đo truyền qua của màng mỏng ITO và GZO. Mô hình Lorentz sử dụng trong luận án lần đầu tiên áp dụng để tính toán sự dịch chuyển của bờ hấp thụ của màng ITO và GZO... Mời các bạn cùng tham khảo

200p capheviahe28 01-03-2021 24 4   Download

Mục đích của đề tài là thiết kế và chế tạo màng mỏng nanocomposite với các tinh thể TiC phân tán trên nền vô định hình carbon giống kim cương (DLC) bằng phương pháp phún xạ magnetron (một dạng PVD) kết hợp CVD. Màng được kỳ vọng có độ cứng cao từ tỷ lệ lớn sp3 (giống kim cương của carbon) của nền kết hợp với cốt là các tinh thể nano TiC có kích thước vài nm. Hệ số ma sát thấp do có sự chuyển hóa từ cấu trúc sp3 (kim cương) sang sp2 (graphite) trong quá trình chịu tải.

160p capheviahe28 01-03-2021 44 7   Download

Mục tiêu của đề tài là Chế tạo và đặc trưng được tính chất của màng phủ cứng nitrua đơn lớp – đa nguyên tố (TiAlXN (X: Si, B, V) và đa lớp – đa nguyên tố TiAlXN/CrN (X: Si, B) có độ cứng cao, hệ số ma sát thấp; tìm và khảo sát được ảnh hưởng của các thông số chính quyết định đến tính chất của các loại màng phủ.

26p larachdumlanat129 20-01-2021 11 3   Download

Bài viết tập trung nghiên cứu chế tạo vật liệu ZnO có cấu trúc nano bằng phương pháp phún xạ magnetron DC, sau đó biến tính hạt nano Ag lên bề mặt ZnO bằng phương pháp phún xạ magnetron DC, từ đó có thể đánh giá đế SERS ZnO/Ag qua chất thử Rhodamine 6G ở nồng độ thấp. Kết quả thu được hệ số khuếch đại EF>106 .

7p kethamoi9 01-12-2020 63 2   Download

Bài viết khảo sát ảnh hưởng của lớp xen giữa CoFe mỏng tới hiệu ứng trao đổi hiệu dịch theo phương vuông góc trong hệ vật liệu [Co/Pd]/IrMn. Các màng mỏng đa lớp được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron.

7p viputrajaya2711 22-06-2020 11 1   Download

Bài viết tổng hợp màng TiO2 bằng phương pháp phún xạ Magnetron DC trên các loại đế thủy tinh, Silic, ITO. Khảo sát một số tính chất đặc trưng của màng nhằm đưa ra điều kiện tốt nhất để chế tạo lớp đệm định hướng cho sự phát triển của thanh nano TiO2 bằng phương pháp thủy nhiệt.

7p vichoji2711 04-05-2020 53 2   Download

Bài viết nghiên cứu ảnh hưởng ủa tỉ lệ pha tạp lên cấu trúc, tính chất điện và tính chất quang của màng HIGZO. Để nắm chi tiết nội dung nghiên cứu mời các bạn cùng tham khảo bài viết.

6p kequaidan3 03-03-2020 44 3   Download

Màng mỏng trong suốt dẫn điện ZnO pha tạp F (FZO) được lắng đọng trên đế thủy tinh bằng phương pháp phún xạ magnetron từ bia gốm ZnO pha tạp ZnF2 . Cấu trúc tinh thể, tính chất điện và quang của màng FZO được nghiên cứu theo sự thay đổi nhiệt độ lắng đọng (100-300o C), bằng các phương pháp như phổ nhiễu xạ tia X (XRD), phép đo Hall và phổ truyền qua UV-Vis. Kết quả XRD cho thấy các màng FZO đều có cấu trúc đặc trưng hexagonal wurtzite của ZnO, với định hướng ưu tiên theo trục c vuông góc với bề mặt đế.

5p quenchua1 11-11-2019 89 4   Download

Màng mỏng SnO được chế tạo bằng phương pháp phún xạ phản ứng magnetron DC với bia phún xạ kim loại thiếc và khí phản ứng oxi, nhiệt độ đế (Ts) thay đổi từ 150o C đến 300o C trong suốt quá trình phún xạ. Khi nhiệt độ đế thay đổi từ 150o C đến 300o C thì có sự xuất hiện các pha ngoại lai β-Sn và SnO2 trong cấu trúc màng SnO. Các đặc trưng của màng SnOx được đánh giá thông qua phổ UV-Vis, giản đồ nhiễu xạ tia X (XRD), hiệu ứng Hall, hình thái bề mặt bằng ảnh AFM.

8p teanas 06-11-2019 61 3   Download

Hiệu ứng trao đổi dịch (EB) đã được khảo sát trong các vật liệu từ có lớp tiếp xúc sắt từ/phản sắt từ (FM/AFM) hơn nửa thập kỷ qua. Hầu hết các nghiên cứu đều được thực hiện trên các vật liệu từ truyền thống có dị hướng từ nằm trong mặt phẳng mẫu (dị hướng từ song song). Trong nghiên cứu này các hệ vật liệu có lớp tiếp xúc FM/AFM dựa trên màng đa lớp [Co/Pd]/IrMn có dị hướng từ vuông góc được chế tạo bằng phương pháp phún xạ magnetron

8p viboruto2711 15-05-2019 58 4   Download

Bài viết nghiên cứu tính chất quang điện, cấu trúc tinh thể của màng SnO2 pha tạp antimony (Sb) được lắng đọng trên đế thạch anh bằng phương pháp phún xạ magnetron DC từ bia gốm hỗn hợp SnO2 và Sb2O3.

11p sansan2 26-05-2018 67 2   Download