Company
LOGO CÔNG NGH QUANG KH CỆ Ắ
ĐIÊN T 1 – K3 - HaUI Ư
NHOM SINH VIÊN
T Ngoc Tungừ
2
Nguy n Văn Ph ngễ ươ
4
Trinh Văn Khai
31
Nguy n Đ c Du nễ ứ ẩ
33
CÔNG NGH QUANG KH C Ệ Ắ
Quang kh c?ắ
Quang kh cắ là k thu t s d ng b c ỹ ậ ử ụ ứ
x ánh sáng làm bi n đ i các ch t cạ ế ổ ấ ản quang ph ủ
trên b m t đ t o ra hình nh c n t o.ề ặ ể ạ ả ầ ạ .
Cây đàn kích c hàng micrometỡ
• Công ngh quang kh c có th t o ra ệ ắ ể ạ
v t li u kích c micrometậ ệ ỡ
• Đ ch t o v t li u kích th c nh h n ể ế ạ ậ ệ ướ ỏ ơ
50nm, ng i ta dùng ph ng pháp kh c ườ ươ ắ
trùm tia đi n tệ ử
CÔNG NGH QUANG KH C Ệ Ắ
ng d ng:Ứ ụ
Ch t o vi m ch đi n t trên phi n Siế ạ ạ ệ ử ế
Ch t o các linh ki n vi c đi n t (MEMS)ế ạ ệ ơ ệ ử
Ch t o các chi ti t v t li u nh trong ngành khoa ế ạ ế ậ ệ ỏ
h c và công ngh v t li u.ọ ệ ậ ệ
M T S THU T NG Ộ Ố Ậ Ữ
M T N (PHOTOMARK):Ặ Ạ
Là m t t m th y tinh có hình nh c a v t li u c n ộ ấ ủ ả ủ ậ ệ ầ
t oạ
• Hình nh trên m t n đ c t o b ng ả ặ ạ ượ ạ ằ
cách ăn mòn có ch n l c l p crom m ng ọ ọ ớ ỏ
t o nên các vùng sáng và t i. Vùng có ạ ố
crom s ngăn không cho ánh sáng đi ẽ
qua
crom
crom