![](images/graphics/blank.gif)
Giáo trình môn học công nghệ vi điện tử 18
141
lượt xem 28
download
lượt xem 28
download
![](https://tailieu.vn/static/b2013az/templates/version1/default/images/down16x21.png)
Hiện nay mật độ bóng bán dẫn trên một chíp ngày một tăng nên ngoài kỹ thuật quang khắc còn nhiều kỹ thuật khác cho phép khắc lên trên lớp cảm quang những chi tiết với độ phân giải và mức độ tinh vi tốt hơn rất nhiều như kỹ thuật e-beam lithography (kỹ thuật khắc dùng chùm điện tử), hoặc tia X.
Chủ đề:
Bình luận(0) Đăng nhập để gửi bình luận!
![](images/graphics/blank.gif)
CÓ THỂ BẠN MUỐN DOWNLOAD