Chương 2<br />
CẢM BIẾN ĐO NHIỆT ĐỘ<br />
Đại lượng vật lý nhiệt độ luôn tồn tại và hiện diện xung quanh ta. Ngày nay việc đo, kiểm<br />
soát và điều khiển nhiệt độ không thể thiếu trong dân dụng và công nghiệp. Nhiệt điện trở là loại<br />
cảm biến được phát hiện do Humphry (năm 1828), ông ta nhận thấy điện trở của một số kim loại<br />
thay đổi theo nhiệt độ và Wiliam Siemens là người đầu tiên sử dụng nhiệt kế điện trở (1871) từ<br />
đó nhiệt điện trở được sử dụng rộng rãi để đo nhiệt độ và các đại lượng khác.<br />
Tùy vào tác dụng nhiệt của dòng điện cung cấp chảy qua, người ta phân thành nhiệt điện<br />
trở bị đốt nóng và nhiệt điện trở không đốt nóng.<br />
§<br />
<br />
Nhiệt điện trở không đốt nóng: dòng điện chảy qua nhỏ không làm tăng nhiệt độ của<br />
cảm biến, do đó dạng này thường dùng đo nhiệt độ môi trường.<br />
<br />
§<br />
<br />
Nhiệt điện trở đốt nóng: dòng điện qua cảm biến có giá trị số lớn làm cho nhiệt độ<br />
của bản thân lớn hơn nhiệt độ của môi trường xung quanh. Sự trao đổi nhiệt giữa điện<br />
trở và môi trường xung quanh do đối lưu, nhiệt dẫn hoặc bức xạ (sự trao đổi nhiệt này<br />
phụ thuộc vào các yếu tố kích thước hình học, trạng thái bề mặt, tính chất vật lý...).<br />
Nhiệt điện trở loại này thường ứng dụng đo các đại lượng vật lý như tốc độ của lưu<br />
chất, nồng độ và mật độ chất khí....<br />
<br />
§<br />
<br />
Ngoài hai cách phân loại trên, cảm biến nhiệt điện trở còn phân loại theo cấu trúc của<br />
vật liệu như nhiệt điện trở kim loại, nhiệt điện trở bán dẫn.<br />
<br />
Trong quá trình điều khiển các hệ thống tự động có liên quan đến nhiệt năng, chúng ta<br />
thường sử dụng đến các loại cảm biến nhiệt độ để theo dõi nhiệt độ thực của đối tượng cần được<br />
kiểm sóat trong hệ thống. Các dạng cảm biến nhiệt thường được sử dụng trong công nghiệp<br />
thuộc một trong các loại sau:<br />
§<br />
<br />
Nhiệt điện trở kim loại (RTD: Resistance-Temperature Detectors) là cảm biến<br />
dạng phát hiện sự thay đổi nhiệt độ trung gian qua sự thay đổi điện trở của kim loại.<br />
<br />
§<br />
<br />
Nhiệt điện trở bán dẫn (Themistor) là loại cảm biến đo lường nhiệt độ thông qua<br />
sự thay đổi điện trở của vật liệu bán dẫn.<br />
<br />
§<br />
<br />
Nhiệt điện trở cặp nhiệt điện (Thermocouple) là loại cảm biến dùng đo lường<br />
nhiệt độ dựa trên các hiệu ứng Peltier, Thomson và Sheebek.<br />
<br />
§<br />
<br />
Một số dạng chuyên dụng khác: đo nhiệt độ từ xa, các IC nhiệt….<br />
<br />
2.1 CÁC ĐẠI LƯỢNG NHIỆT ĐỘ<br />
Nhiệt độ là đại lượng đo cơ bản cùng với chiều dài, thời gian và khối lượng. Đơn vị đo nhiệt độ là<br />
Celsius (0C), Kelvin (0K) và Fahrenheit (0F). Mối liên hệ giữa các thang đo nhiệt độ thể hiện hình 2.1<br />
BOILING POINT<br />
<br />
373<br />
<br />
100°<br />
<br />
672<br />
<br />
212°<br />
<br />
273<br />
<br />
0°<br />
<br />
492<br />
<br />
32°<br />
<br />
0<br />
<br />
-273°<br />
<br />
OF WATER<br />
<br />
ICE POINT<br />
<br />
ABSOLUTE ZERO<br />
<br />
kELVIN CELSIUS<br />
<br />
0<br />
<br />
-460°<br />
<br />
RANKINE FAHRENHEIT<br />
<br />
Hình 2.1<br />
Bài giảng Đo lường và cảm biến<br />
<br />
Trang 10<br />
<br />
Công thức chuyển đổi thang đo nhiệt độ:<br />
°C = 5/9 (°F - 32 )<br />
°F = 9/5 (°C) + 32<br />
0<br />
<br />
K = 273 +°C<br />
<br />
0<br />
<br />
R = 460 + °F<br />
<br />
2.2 CẢM BIẾN NHIỆT ĐIỆN TRỞ KIM LOẠI:<br />
Nhiệt điện trở kim loại thường gọi là RTD (Resistance Temperature Detector) cấu tạo<br />
bằng dây kim loại hoặc màng mỏng (hình 2.2) như platinum, nickel, đồng, vonfram,... dựa trên<br />
nguyên tắc thay đổi điện trở kim loại theo nhiệt độ. Để giảm tổn hao do nhiệt dẫn, chiều dài<br />
của dây cần lớn hơn đường kính dây gấp nhiều lần (hơn 200 lần) thông thường đường kính dây<br />
thay đổi từ 0,02÷0,06mm.<br />
Platinum<br />
resistance changes<br />
with temperature<br />
Thin-film sensing element<br />
<br />
Wire-wound sensing element<br />
<br />
Rosemount’s<br />
Series 78, 88<br />
<br />
Two common types of RTD elements<br />
<br />
Rosemount’s<br />
Series 68, 58<br />
Series 65<br />
<br />
Hình 2.2<br />
<br />
Chiều dài l dây từ 5÷1000mm, điện trở dây từ vài chục ôm đến hàng nghìn ôm. Vật liệu<br />
cần chế tạo có hệ số nhiệt độ (a) lớn, bền hóa học với tác dụng của môi trường. Điện trở suất<br />
(ρ) lớn và chịu nhiệt độ cao.<br />
Để có độ nhạy cao, điện trở phải lớn. Muốn vậy phải:<br />
§<br />
<br />
Giảm tiết diện dây, việc này bị hạn chế vì tiết diện càng nhỏ dây càng dễ dứt.<br />
<br />
§<br />
<br />
Tăng chiều dài dây, việc này cũng bị giới hạn vì tăng chiều dài làm tăng kích thước<br />
của điện trở.<br />
<br />
Để sử dụng cho mục đích công nghiệp, nhiệt kế phải có vỏ bọc tốt chống va chạm và rung<br />
động, điện trở được cuốn và bao bọc trong thủy tinh hoặc gốm đặt trong vỏ bọc bằng thép (hình 2.3).<br />
Kích thước và hình dạng lớp vỏ kim loại dưới dạng thanh hình trụ: đường kính của các thanh kim lọai<br />
này tuân theo tiêu chuẩn định trước: 3, 4, 5, 6, 8, 10 và 15 mm; và bề dài thỏa tiêu chuẩn: 250, 300,<br />
500, 750 và 1000 mm. Với RTD dùng điện trở dây quấn, dữ liệu ghi nhận chính xác hơn do lớp kim<br />
loại bao bọc che chở bên ngoài và dây quấn rất ít thay đổi độ dài trong qua trình họat động. Điện trở<br />
màng là điện trở tạo nên do lớp kim loại<br />
được in lụa hay sơn phủ trong chân<br />
không lên tấm bảng bằng ceramic hoặc<br />
thủy tinh. Điện trở màng có tính chính<br />
xác kém hơn điện trở dây quấn, nhưng<br />
có lợi điểm nhỏ gọn và giá thành thấp<br />
hơn.<br />
Thường các RTD có giá trị<br />
điện trở là 100Ω ở 00C. Trên thực tế<br />
các sản phẩm thương mại có điện trở ở<br />
00C là 50Ω, 500Ω, 1000Ω. Các điện trở<br />
<br />
Bài giảng Đo lường và cảm biến<br />
<br />
Hình 2.3<br />
Trang 11<br />
<br />
có trị số lớn thường dùng đo ở dải nhiệt độ thấp, ở đó cho phép đo với độ nhạy tốt.<br />
<br />
2.2.1 Nhiệt điện trở Đồng:<br />
Là loại cảm biến nhiệt độ được chế tạo bằng dây đồng. Dải làm việc của nhiệt điện trở đồng từ<br />
500C ÷ 1800C. Phương trình biểu diễn quan hệ giữa điện trở và nhiệt độ:<br />
Rt = R0 (1 + at )<br />
<br />
(2.1)<br />
<br />
Trong đó: α- hệ số nhiệt độ. α=3,9.10-3 1/0C trong khoảng nhiệt độ từ 00C ÷ 1000C; t- nhiệt độ;<br />
R0- điện trở tại 00C<br />
<br />
Hình 2.4<br />
2.2.2 Nhiệt điện trở Niken:<br />
Là loại cảm biến nhiệt độ có dải làm việc cao hơn đồng từ 1950C ÷ 2600C.<br />
Niken có độ nhạy nhiệt cao hơn nhiều so với platin. Điện trở niken ở 1000C gấp 1,617 lần<br />
ở 00C, đối với platin chỉ bằng 1,385. Tuy nhiên, niken dễ bị oxy hóa khi nhiệt độ tăng do đó<br />
dải nhiệt bị giới hạn dưới 2500C.<br />
Ưu điểm của niken là điện trở suất cao (gấp 5 lần đồng). Trong khoảng nhiệt độ từ 00C ÷<br />
1000C có αNi=4,7.10-3 1/0C.<br />
Do có hệ số nhiệt độ lớn cho phép chế tạo được cảm biến có kích thước nhỏ.<br />
2.2.3 Nhiệt điện trở Platin:<br />
Platin được chế tạo với độ tinh khiết cao nhằm tăng độ chính xác của đặc tính điện. Platin trơ<br />
về hóa học và ổn định về tinh thể cho phép hoạt động tốt trong dải nhiệt rộng từ: -2000C ÷<br />
10000C. Phương trình đặc trưng cho quan hệ giữa điện trở và nhiệt độ là:<br />
Rt = R0 (1 + at + bt 2 + c (t - 100)3 )<br />
<br />
(2.2)<br />
<br />
Rt = R0 (1 + at + b t 2 )<br />
<br />
(2.3)<br />
<br />
Công thức (2.2) dùng trong cho t0<br />
Trong thực tế người ta thường sử dụng nhiệt điện trở Platin được chế tạo dưới dạng chuẩn<br />
Pt100 để làm cảm biến đo nhiệt độ từ 00C ÷ 1000C. Quan hệ giữa điện trở và nhiệt độ có đặc<br />
tuyến gần như tuyến tính:<br />
<br />
Bài giảng Đo lường và cảm biến<br />
<br />
Trang 12<br />
<br />
Rt = R0 (1 + at )<br />
<br />
(2.4)<br />
<br />
Với α≈ 4,3.10-3 1/0C<br />
Các cấp sai số cho phép của RTD được trình bày trong bảng 2.1 sau đây:<br />
BẢNG 2.1: SAI SỐ CHO PHÉP CỦA RTD PLATINUM THEO CÁC CẤP A, B, C, D:<br />
CẤP SAI SỐ<br />
<br />
BIỂU THỨC XÁC ĐỊNH SAI SỐ<br />
<br />
A<br />
<br />
± (0,15 + 0,002. t )<br />
<br />
B<br />
<br />
± (0,30 + 0,005 . t )<br />
<br />
§ |t| là giá trị tuyệt đối của nhiệt<br />
độ tại giá trị đo được.<br />
<br />
C<br />
<br />
± (0,40 + 0,009. t )<br />
<br />
§ Giá trị của sai số và nhiệt độ t<br />
tính theo độ 0C.<br />
<br />
D<br />
<br />
± (0,60 + 0,0018. t )<br />
<br />
GHI CHÚ<br />
<br />
Ngoại trừ các thông số vừa nêu trên, theo tiêu chuẩn IEC751 RTD còn có các đặc tính khác như:<br />
điện trở cách điện, khả năng chịu đựng đối với môi trường, hiệu ứng nhiệt điện, chấn động... Một<br />
vài đặc tính được trình bày như sau:<br />
Hiệu ứng nhiệt điện: RTD thường được tạo thành từ hai kim lọai: phần tử cảm biến làm<br />
bằng Platinum và các đầu ra làm bằng đồng (cấu tạo này có tác động tương tự như<br />
thermocouple). Với độ chênh lệch nhiệt độ đặt trên phần tử, điện áp sinh ra do hiệu ứng nhiệt<br />
điện có giá trị bằng 7mV/ oC. Hiệu ứng này thực sự chỉ cần đến với các phép đo lường chính xác<br />
cao tại các dòng điện kích thích có giá trị rất thấp.<br />
Dòng điện đo lường: Giá trị dòng điện đo lường trong phạm vi từ: 1, 2 và 5 mA; tuy<br />
nhiên giá trị 5mA không cho phép xãy ra trên RTD cấp A<br />
Các đầu dây ra trên RTD: có thể thuộc 1<br />
trong 3 dạng sau: 2 , 3 hay 4 đầu dây. Theo<br />
tiêu chuẩn IEC751 tại mỗi đầu của RTD cho<br />
phép ra 2 dây, các dây này phải có code màu<br />
giống nhau. Code màu thường dùng cho các<br />
đầu ra RTD là : đỏ và trắng, xem hình 2.5.<br />
Ký hiệu ghi trên cảm biến: Theo tiêu chuẩn<br />
IEC751 trên RTD cho phép ghi: giá trị định<br />
mức Ro; cấp sai số, cấu hình của các đầu dây ra, dãy nhiệt độ làm việc cho phép.<br />
Hình 2.5<br />
<br />
Ví dụ trên cảm biến ghi: Pt 100 /A /3 /-100 /+200 . Ý nghĩa của các ký hiệu được hiểu như sau:<br />
Pt : RTD là loại Platinum<br />
100: Điện trở định mức của RTD ở 0oC là Ro = 100 W.<br />
A: Cấp sai số là cấp A.<br />
3: RTD có 3 đầu ra dây.<br />
-100/+200: Dãy nhiệt độ làm việc: từ -100oC đến 200oC.<br />
<br />
Bài giảng Đo lường và cảm biến<br />
<br />
Trang 13<br />
<br />
Bảng 2.2 : Bảng tóm tắt đặc tính của một số RTD của các nhà sản xuất sau:<br />
MẢ SỐ<br />
CẢM<br />
BIẾN<br />
<br />
NHÀ<br />
<br />
THÔNG SỐ<br />
<br />
SẢN-XUẤT<br />
<br />
NGÕ RA<br />
<br />
TD4A<br />
HONEYWELL<br />
<br />
TO92<br />
<br />
(1854W tại 0 C)<br />
<br />
(-40 C ¸150 C)<br />
<br />
hay trong<br />
ống<br />
<br />
1KW đến 2KW tại<br />
25oC<br />
<br />
TD5A<br />
<br />
± 6oC ¸ ± 12oC<br />
<br />
SOD-70<br />
<br />
o<br />
<br />
KTY81<br />
KTY82<br />
KTY83<br />
<br />
KIỂU VỎ<br />
<br />
± 2,5oC<br />
<br />
8W/ oC<br />
<br />
DÃY SAI SỐ<br />
<br />
o<br />
<br />
o<br />
<br />
SOT-23<br />
<br />
PHILIPS<br />
(+ 0,8% / C)<br />
<br />
(-55oC ¸ 150oC có<br />
thể đến 300oC)<br />
<br />
1KW đến 2KW<br />
<br />
KTY84<br />
<br />
SOD-68<br />
SOD-80<br />
<br />
KTY85<br />
<br />
KYY11<br />
<br />
SIEMENS<br />
<br />
Điện trở màng kim<br />
lọai trên silicon<br />
<br />
Điện trở silicon dạng<br />
khối (bulb). Dòng kích<br />
thích duy trì trong<br />
phạm vi lớn hơn<br />
0,1mA và nhỏ hơn<br />
1mA<br />
<br />
± 1oC và ± 3,5oC<br />
<br />
o<br />
<br />
KYY10<br />
<br />
YÊU CẦU<br />
<br />
tại 25oC<br />
<br />
TO92<br />
<br />
KYY13<br />
<br />
(+ 0,8% / oC)<br />
<br />
(-55oC ¸150oC)<br />
<br />
32208243<br />
<br />
Như Pt100 và<br />
Pt1000<br />
<br />
±1oC<br />
<br />
1206SMD<br />
<br />
(-50oC ¸ 130oC)<br />
<br />
SOT223<br />
<br />
Điện trở silicon dạng<br />
khối (bulb).<br />
<br />
32209115<br />
HERAEUS<br />
HA421<br />
HA2421<br />
<br />
Pt200 tại 25oC<br />
<br />
± 4,5oC ¸ ± 15oC<br />
(-70 C ¸1000 C)<br />
o<br />
<br />
o<br />
<br />
Thanh<br />
<br />
RTD có phủ mặt<br />
Áp dụng trong công<br />
nghiệp auto<br />
<br />
Trong ứng dụng người ta thường sử dụng nguồn dòng 1mA để cung cấp cho RTD:<br />
<br />
Bài giảng Đo lường và cảm biến<br />
<br />
Trang 14<br />
<br />