Bài thuyết trình Vật lý màng mỏng: Màng mỏng tính chất điện - Phương pháp đo nêu lên phương pháp xác định cấu trúc màng bao gồm phương pháp nhiễu xạ tia X, phương pháp Stylus, phép đo hiệu ứng Hall, phương pháp đo điện trở suất, phương pháp sử dụng phần mềm Scout.
AMBIENT/
Chủ đề:
Nội dung Text: Bài thuyết trình Vật lý màng mỏng: Màng mỏng tính chất điện - Phương pháp đo
- VẬT LÍ MÀNG MỎNG
MÀNG MỎNG TÍNH CHẤT ĐIỆN
PHƯƠNG PHÁP ĐO
HVTH: LÊ HOÀNG NAM
LOGO
- LOGO
- LOGO
PHƯƠNG PHÁP XÁC ĐỊNH CẤU TRÚC MÀNG
Phương pháp nhiễu xạ tia X
Phương pháp Stylus
Phép đo hiệu ứng Hall
Phương pháp đo điện trở suất
Phương pháp sử dụng phần mềm Scout
- LOGO
PHƯƠNG PHÁP NHIỄU XẠ TIA X
Mục đích : Xác định cấu trúc và kích thước hạt
Cơ sở :
Công thức Sherrer
0 .9
b
(2 ) cos
- LOGO
PHƯƠNG PHÁP STYLUS
Mục đích : Xác định độ dày của màng
Sơ đồ khối của máy đo Stylus :
LVTD
LVTD Điều
Điềukiện
kiệntín
tínhiệu
hiệu
Mẫu
Mẫu Chuyển
Chuyển đổi
đổiA/D
A/D
Bàn Bộ
Bộ nhớ
nhớmáy
máytính
Bànsoi
soi tính
- LOGO
PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL
Mục đích : Xác định nồng độ hạt tải và độ linh động
Cơ sở :
r r r
FL q.(VD B)
Hình 4: Nguyên tắc phép đo hiệu ứng Hall
- LOGO
PHÉP ĐO HIỆU ỨNG HALL
Ở trạng thái cân bằng q E y q Ex Bz
Ey Ex Bz
Ey
Ta có : R H a ll
B z . jx
.Ex .Bz 1
RHall
.Ex .Bz q.n. q.n
- LOGO
XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT
Phương pháp đo điện trở vuông
R W. d
- LOGO
XÁC ĐỊNH ĐIỆN TRỞ SUẤT
Phương pháp đo bốn mũi dò
Cách đo:
Công thức tổng quát R s .d
U
với Rs . .G
ln 2 I
G : Số hiệu chỉnh (tùy thuộc vào
hình dạng và kích thước của mẫu)
- LOGO
Sử dụng phần mềm khớp phổ Scout
Mục đích : độ dày, chiết suất, độ rộng vùng
cấm, điện trở suất, nồng độ hạt tải và độ linh
động.
Nguyên tắc :
Khai báo các dữ liệu: vật liệu tạo màng, các thông số
quang ban đầu của vật liệu
Xác định loại phổ cần làm khớp, vẽ phổ lý thuyết của nó
dựa trên các thông số đã khai báo
Chọn các thông số muốn làm khớp sao cho phổ lí thuyết
trùng khớp với phổ thực nghiệm nhất.
Thay đổi dần các thông số để kết quả làm khớp là tốt
nhất. Từ đó ta xác định được các thông số của màng.
- LOGO
CHÂN THÀNH CÁM ƠN THẦY
VÀ CÁC BẠN ĐÃ THEO DÕI