Tóm tắt Luận án tiến sĩ Kỹ thuật Hóa học: Nghiên cứu chế tạo màng phủ hỗn hợp oxit thiếc và antimon trên nền thép hợp kim cao và khả năng ứng dụng

Chia sẻ: Phong Tỉ | Ngày: | Loại File: PDF | Số trang:29

Thêm vào BST

Báo xấu

26
lượt xem 1
download

Download Vui lòng tải xuống để xem tài liệu đầy đủ

Luận án đã khảo sát ảnh hưởng của các thông số như nhiệt độ nhúng phủ, thời gian nhúng phủ, thời gian ủ nhiệt, nhiệt độ ủ nhiệt, chế độ tạo màng... đến hình thái, cấu trúc, khả năng liên kết giữa màng với nền, độ dẫn của màng.

Chủ đề:

Bình luận(0) Đăng nhập để gửi bình luận!

Lưu

Nội dung Text: Tóm tắt Luận án tiến sĩ Kỹ thuật Hóa học: Nghiên cứu chế tạo màng phủ hỗn hợp oxit thiếc và antimon trên nền thép hợp kim cao và khả năng ứng dụng

1
BỘ GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO TRƯỜNG ĐẠI HỌC BÁCH KHOA HÀ NỘI --------- HUỲNH THU SƯƠNG NGHIÊN CỨU CHẾ TẠO MÀNG PHỦ HỖN HỢP OXIT THIẾC VÀ ANTIMON TRÊN NỀN THÉP HỢP KIM CAO VÀ KHẢ NĂNG ỨNG DỤNG Chuyên ngành: Kỹ thuật Hóa học Mã số: 62520301 TÓM TẮT LUẬN ÁN TIẾN SĨ KỸ THUẬT HOÁ HỌC Hà Nội - 2018 2
Công trình được hoàn thành tại: Trường Đại học Bách khoa Hà Nội Người hướng dẫn khoa học: 1. PGS. TS. La Thế Vinh 2. GS. TSKH. La Văn Bình Phản biện 1: PGS. Phạm Đức Roãn Phản biện 2: PGS. Bùi Duy Cam Phản biện 3: PGS. Đỗ Ngọc Liên Luận án sẽ được bảo vệ trước Hội đồng đánh giá luận án Tiến sĩ cấp Trường họp tại Trường Đại học Bách khoa Hà Nội. Vào hồi:...... giờ...... ngày.......tháng ......năm..... Có thể tìm hiểu luận án tại thư viện: 1. Thư viện Tạ Quang Bửu - Trường ĐHBK Hà Nội. 2. Thư Viện Quốc gia Việt Nam 3
DANH MỤC CÁC CÔNG TRÌNH ĐÃ CÔNG BỐ CỦA LUẬN ÁN 1. Huỳnh Thu Sƣơng, La Văn Bình, La Thế Vinh, Trần Thị Hiền (2016). Ảnh hưởng của quá trình tạo màng đến một số tính chất của thép hợp kim cao. Tạp chí Hóa học, số 54 (5e1,2), pp 318- 322. 2. Huỳnh Thu Sƣơng, La Văn Bình, La Thế Vinh, Trần Thị Hiền (2017). Ảnh hưởng của chế độ tạo màng đến cấu trúc và tính chất của thép hợp kim cao phủ hỗn hợp oxit SnO2-Sb2O3. Tạp chí Hóa học, số 55(2e), pp 55-59. 3. Huỳnh Thu Sƣơng, La Văn Bình, La Thế Vinh, Trần Thị Hiền (2017). Ảnh hưởng của nhiệt độ ủ nhiệt đến cấu trúc và tính chất của lớp màng phủ hỗn hợp oxit trên nền thép hợp kim cao. Tạp chí Hóa học, số 55 (3e12), pp 184-188. 4. Huỳnh Thu Sƣơng, La Văn Bình, La Thế Vinh, Trần Thị Hiền (2017). Ảnh hưởng của quá trình xử lý nhiệt đến cấu trúc và tính chất của lớp màng phủ hỗn hợp oxit trên nền thép hợp kim cao phủ hỗn hợp oxit SnO2-Sb2O3. Tạp chí Hóa học, số 55(2e), pp 273-277. 5. Huynh Thu Suong, Dang Trung Dung, Bui Thi Thanh Huyen, La The Vinh (2017). Study on highly alloyed steel anode coated by mixed metal oxides SnO2-Sb2O3 thin film and application in wastewater treatment. Vietnam Journal of Science and Technology, Vol. 55, No. 5B, pp 132-139. 4
MỞ ĐẦU 1. Tính cấp thiết của đề tài: Trong những năm gần đây ngành công nghệ dệt may đang có những bước tiến phát triển mạnh mẽ và là một trong số ít ngành có thể khả năng cạnh tranh với các quốc gia khác. Tuy nhiên theo thống kê hiện chỉ có các nhà máy dệt nhuộm lớn là có hệ thống xử lý nước thải. Rất nhiều các làng nghề, cơ sở sản xuất nhỏ vẫn chưa có hệ thống thu gom, xử lý nước thải gây ô nhiễm môi trường trong quá trình sản xuất, làm ảnh hưởng lớn đến nguồn nước mặt, môi trường và đời sống người dân. Nước thải phát sinh từ quá trình dệt nhuộm thường chứa hàm lượng cao các chất hữu cơ, thuốc nhuộm, các chất hoạt tính bề mặt cũng như các phụ gia. Các chất này khi thải ra mồi trường làm giảm nồng độ oxy hòa tan trong nước, ảnh hưởng đến quá trình hô hấp của các loài động vật thủy sinh; gây mùi hôi thối, làm mất mỹ quan môi trường. Đặc biệt trong thành phần thuốc nhuộm có những chất khi ở trong môi trường kỵ khí sẽ bị khử tạo thành những vòng amin thơm, đây là những loại chất độc gây ra ung thư và biến dị cho người và động vật. Đối với nước thải dêt nhuộm, sử dụng các phương pháp truyền thống để xử lý như phương pháp sinh học, hóa học, hấp phụ hayphương pháp kết hợp giữa chúng đều không có hiệu quả do khó có thể phân hủy triệt để các chất hữu cơ có phân tử lượng lớn với cấu trúc nhiều vòng thơm hay chuyển từ trạng thái ô nhiễm này sang trạng thái ô nhiễm khác… Ứng dụng công nghệ điện hóa để xử lý nước thải dệt nhuộm đang được nhiều nhà khoa học quan tâm nghiên cứu do có nhiều ưu điểm như: xử lý hiệu quả đối với chất màu hữu cơ, phạm vi áp dụng rộng, thiết bị đơn giản và gọn nhẹ, điều khiển bằng dòng điện nên dễ tự động hóa; ít sản phẩm phụ, ít bã thải sau quá trình xử lý; nước thải sau xử lý có thể tái sử dụng trong quá trình sản xuất Các vật liệu thường dùng để chế tạo điện cực anot là sắt, thép, chì, titan, graphit... Mỗi loại vật liệu đều có những hạn chế nhất định. Sắt, thép, nhôm có độ hòa tan lớn; chì và hợp kim của chì thì độc hại trong quá trình chế tạo và sử dụng, titan có giá thành cao…. Vì vậy trong lĩnh vực nghiên cứu phương pháp điện hóa xử lý nước thải công nghiệp người ta thường sử dụng các anot trơ dựa trên cơ sở hỗn hợp các oxit kim loại chuyển tiếp, vật liệu này vừa có khả năng dẫn điện vừa có độ bền hóa học và điện hóa cao, ít độc với môi trường. Điện cực thép hợp kim cao là vật liệu có độ bền cơ, bền hóa cao, khả năng dẫn điện tốt. Nếu được phủ màng hỗn hợp oxit SnO2-Sb2O3, vật liệu này có thể trở thành điện cực anot trơ ứng dụng trong xử lý nước thải công nghiệp với giá thành thấp hơn màng hỗn hợp SnO2-Sb2O3 phủ trên nền titan. Ngoài ra, có rất ít công trình nghiên cứu ứng dụng vật liệu thép hợp kim cao (đặc biệt là thép hợp kim cao phủ màng hỗn hợp SnO2-Sb2O3) làm điện cực anot trong xử lý nước thải. Vì vậy chúng tôi đã lựa chọn đề tài: “Nghiên cứu chế tạo màng phủ hỗn hợp oxit thiếc và antimon trên nền thép hợp kim cao và khả năng ứng dụng”. 1
2. Nội dung nghiên cứu của luận án - Nghiên cứu quá trình tạo màng đơn và đa oxit trên nền thép hợp kim cao nhằm chế tạo điện cực anot trơ và khảo sát cac yếu tố ảnh hưởng đến cấu trúc và tính chất của màng. - Khảo sát một số yếu tố ảnh hưởng đến độ bền của anot thép hợp kim cao có phủ hỗn hợp oxit kim loại - Khảo sát khả năng ứng dụng của vật liệu điện cực trong xử lý chất màu, nước thải dệt nhuộm. 3. Ý nghĩa khoa học và thực tiễn của luận án: Luận án đã khảo sát ảnh hưởng của các thông số như nhiệt độ nhúng phủ, thời gian nhúng phủ, thời gian ủ nhiệt, nhiệt độ ủ nhiệt, chế độ tạo màng... đến hình thái, cấu trúc, khả năng liên kết giữa màng với nền, độ dẫn của màng. Ngoài ra luận án còn nghiên cứu một số tính chất đặc trưng của điện cực và bước đầu thử nghiệm xử lý chất màu, nước thải dệt nhuộm. Các kết quả nghiên cứu của luận án là các số liệu mới, có giá trị về mặt lý luận cũng như thực tiễn. Luận án đóng góp kiến thức vào cơ sở dữ liệu khoa học trong lĩnh vực nghiên cứu vật liệu anot trơ dùng trong xử lý môi trường. Luận án có tính thực tiễn cao bởi ứng dụng nguồn vật liệu trong nước có thể tự sản xuất được để chế tạo ra vật liệu anot dùng trong xử lý môi trường bằng phương pháp điện hóa, phù hợp với xu hướng phát triển xanh, sạch của thế giới nói chung và Việt Nam nói riêng. 4. Điểm mới của luận án: - Đã nghiên cứu, chế tạo được màng hỗn hợp oxit SnO2 và Sb2O3 trên nền thép hợp kim cao Cr18Ni12Ti làm điện cực anot bằng phương pháp nhúng phủ - nhiệt phân từ dung dịch SnCl4 và SbCl3 trong môi trường isopropanol và HCl. Kết quả nghiên cứu này chưa từng được các tác giả khác công bố trong tài liệu hoặc các phương tiện thông tin đại chúng. - Đã lựa chọn được chế độ, điều kiện tạo màng hỗn hợp oxit SnO 2 và Sb2O3 thích hợp trên nền thép hợp kim Cr18Ni12Ti. Màng phủ không xuất hiện hiện tượng bùn khô (crack-mud), có độ dẫn điện cao, bền cơ, bền hóa, bền điện hóa, bám dính tốt trên nền thép, đáp ứng được yêu cầu làm vật liệu anot trong xử lý môi trường bằng phương pháp oxi hóa điện hóa. - Đã thử nghiệm vật liệu anot phủ màng hỗn hợp oxit SnO2-Sb2O3 xử lý chất màu Rhodamin B và nước thải dệt nhuộm làng nghề Vạn Phúc bằng phương pháp oxi hóa điện hóa. Kết quả cho thấy vật liệu này có thể xử lý tốt chất màu Rhodamin B (hiệu suất tách màu đạt hơn 90%, giảm được 94% độ màu sau 40 phút), hàm lượng TOC giảm xuống dưới mức cho phép đối với nước mặt.Với nước thải làng nghề Vạn Phúc, sử dụng vật liệu này có thể tách 92,46% chất màu, giảm được 96,7% độ màu và hiệu suất xử lý COD đạt 98% sau 50 phút điện phân. Nước thải sau xử lý đạt yêu cầu về chỉ tiêu màu sắc, COD để thải ra môi trường theo QCVN 13:2015. 5. Cấu trúc của luận án: Luận án gồm 114 trang với các phần: Mở đầu (03 trang); Chương 1 - Tổng quan (36 trang); Chương 2 - Thực nghiệm và phương pháp nghiên cứu (11 trang); 2
Chương 3 - Kết quả và thảo luận (63 trang); Kết luận (01 trang); Tài liệu tham khảo (168 tài liệu); Danh mục các công trình đã công bố của luận án (05 công trình); Luận án có 33 bảng, 86 hình vẽ và đồ thị. CHƢƠNG 1. TỔNG QUAN - Sơ lược về vật liệu điện cực anot dùng trong kỹ thuật điện hóa - Các phương pháp chế tạo màng phủ trên vật liệu anot - Vật liệu điện cực thép hợp kim cao - Tình hình nghiên cứu trong và ngoài nước - Tổng quan về nước thải dệt nhuộm và xử lý nước thải bằng phương pháp điện hóa CHƢƠNG 2. THỰC NGHIỆM VÀ PHƢƠNG PHÁP NGHIÊN CỨU 2.1. Thiết bị. dụng cụ, hóa chất và vật liệu Mẫu nghiên cứu: là thép hợp kim cao Cr18Ni12Ti hình trụ có đường kính 8 mm. Dung dịch tạo màng với gồm SnCl4, SbCl3, HCl và isopropanol. Mẫu nghiên cứu: thép hợp kim cao hình trụ đường kính 8 mm và dạng thanh có kích thước 100mmx25mmx5 mm. 2.2. Các phƣơng pháp nghiên cứu Nhiễu xạ tia X (XRD), Hiển vi điện tử quét (SEM), phổ tán xạ năng lượng tia X (EDX), hiển vi quang học; Potentiodynamic (đo đường cong phân cực, quét thế vòng CV), đánh giá độ bền điện cực bằng phương pháp gia tốc, quét với mật độ dòng cao, đo điện thế mạch hở theo thời gian; Độ cứng Vicker, phương pháp đo độ cứng bốn mũi dò, xác định độ bám dính, phổ tử ngoại khả kiến. 2.3. Điều kiện, chế độ thí nghiệm Nhiệt độ nhúng phủ: 25-90oC; Thời gian nhúng phủ: 0 – 30 phút; Nhiệt độ ủ nhiệt: 100oC – 600oC; Thời gian ủ nhiệt: 1h – 7h; pH dung dịch: 0,7  1,5. CHƢƠNG 3. KẾT QUẢ VÀ THẢO LUẬN 3.1. Nghiên cứu tạo màng đơn oxit SnO2 trên nền thép hợp kim cao Cr18Ni12Ti Thép hợp kim cao được nhúng phủ tạo màng trong dung dịch chứa 172 g/L SnCl4, HCl, isopropanol và có độ pH bằng 1; phân hủy nhiệt ở 450oC trong 5 giờ. Chụp hình thái cấu trúc bề mặt, kết quả được trình bày ở hình 3.1. a b c d Hình 3.1. Hình thái cấu trúc bề mặt thép hợp kim cao trước và sau khi tạo màng 3
Hình 3.1 cho thấy sau khi nhúng bề mặt thép hợp kim cao vào dung dịch, trên bề mặt đã xuất hiện một lớp màng phủ khá đồng đều và sít đặc. Ở độ phân giải 10.000 lần, lớp màng phủ quan sát được khá mịn, đồng đều, có xuất hiện một số vết vi nứt với độ rộng lớn nhất khoảng 0,5 µm trên bề mặt. Kết quả này cũng cho thấy màng oxit SnO2 phủ trên bề mặt thép hợp kim cao không bị hiện tượng crack-mud như 1 số tài liệu đã công bố. Kết quả chụp kim tương bề mặt và mặt cắt ngang của mẫu thép hợp kim cao sau 1 lần nhúng phủ (hình 3.2) cho thấy có các vết lõm trên bề mặt mẫu nhưng không sâu và tương đối đồng đều trên bề mặt nền. Điều này chứng tỏ đã có phản ứng giữa dung dịch tạo màng với nền thép hợp kim cao. Nền thép Kim tương bề mặt Mặt cắt đứng của mẫu sau nhúng phủ Hình 3.2. Ảnh kim tương bề mặt và mặt cắt ngang của mẫu thép hợp kim cao Cr18Ni12Ti sau 1 lần nhúng phủ (độ phóng đại 200 lần) Tiến hành xác định cấu trúc của màng phủ bằng phương pháp nhiễu xạ tia X (hình 3.3). Kết quả cho thấy màng chỉ có một pha tinh thể là SnO2 với 3 đỉnh nhiễu xạ tại các vị trí 2θ = 26,59o; 33,88o và 52,78o, tương ứng với các mặt họ (110), (101) và (211). Trong đó đỉnh (110) có cường độ lớn nhất. Các pic xuất hiện tuy không mạnh nhưng SnO2 đã xuất hiện tinh thể ở dạng tứ phương với hệ số  = 0,387956 (radian), Hình 3.3. Giản đồ nhiễu xạ tia X của bước sóng  = 1,5405, kích thước tinh thể màng SnO2 trên nền thép hợp kim cao trung bình là 0,3637 nm. Đo điện trở suất và độ cứng HV của vật liệu thép hợp kim cao trước và sau khi phủ màng, kết quả được trình bày ở bảng 3.1. Bảng 3.1. Tính chất cơ lý của màng đơn oxit SnO2 trên nền thép hợp kim cao Điện trở suất Độ cứng HV Mẫu (.cm) (KG/mm2) Thép hợp kim Cr18Ni12Ti 5,4.10-7 239 Thép tạo màng đơn oxit SnO2 2,2.103 289 Kết quả đo ở bảng 3.1 cho thấy khi phủ màng SnO2 trên nền thép hợp kim cao, màng phủ có độ dẫn tương đối nhỏ, độ cứng của vật liệu đã tăng lên. Như vậy, khi 4
dung dịch tạo màng chỉ có SnCl4, HCl và isopropanol thì màng hình thành trên nền thép hợp kim cao đã có tinh thể với cấu trúc dạng tứ diện rutile. Tuy nhiên, kích thước tinh thể không lớn và độ dẫn điện của màng không cao. 3.2. Nghiên cứu ảnh hƣởng của việc bổ sung SbCl3 đến quá trình tạo màng hỗn hợp oxit trên nền thép hợp kim cao Cr18Ni12Ti 3.2.1. Ảnh hưởng của nhiệt độ nhúng phủ tới hình thái cấu trúc và tính chất của màng trong dung dịch tạo màng chứa 10g/l SbCl3 3.2.1.1. Ảnh hưởng đến hình thái cấu trúc bề mặt và độ sâu chân bám của màng 25oC 50 oC 90oC Hình 3.4. Ảnh hưởng của nhiệt độ nhúng phủ đến hình thái cấu trúc bề mặt của màng phủ trên nền thép hợp kim cao (độ phóng đại 200 và 1.000 lần) Từ hình 3.4 cho thấy khi nhúng phủ tạo màng ở 25oC, nung ở 450oC trong thời gian 1 giờ: bề mặt màng khá xốp và kém đồng đều. Khi tăng nhiệt độ nhúng phủ lên 50oC, bề mặt màng bằng phẳng hơn. Tuy nhiên, khi nhúng phủ tạo màng ở 90oC, bề mặt màng bắt đầu xuất hiện những vết lõm khá sâu. Điều này có thể do khi tăng nhiệt độ nhúng phủ, tốc độ phá vỡ cấu trúc nền do quá trình ăn mòn tăng nên các vết lõm do ăn mòn bề mặt sâu hơn. Tiến hành chụp kim tương bề mặt và mặt cắt đứng để xác định cấu trúc liên kết giữa màng và nền, kết quả được trình bày ở hình 3.5. Nền thép Nền thép Nền thép Hình 3.5. Ảnh hưởng của nhiệt độ nhúng phủ tới bề mặt (a) và cấu trúc liên kết của màng trên thép hợp kim cao Cr18Ni12Ti (độ phóng đại 200 lần) a. 25oC b. 50o c. 90oC 5
Từ hình 3.5 và bảng 3.2 cho thấy khi Bảng 3.2. Ảnh hưởng của nhiệt độ nhúng phủ trong dung dịch tạo màng ở nhúng phủ đến chiều cao chân bám 25oC, bề mặt nền gần như không thay đổi Nhiệt độ nhúng Chiều cao (chiều cao chân bám chỉ đạt 2,1 µm). phủ (oC) chân bám (µm) Nhưng khi tăng nhiệt độ nhúng phủ lên 25 2,1 50oC và 90oC bề mặt nền đã thay đổi rõ rệt, 50 3,5 đặc biệt là ở nhiệt độ nhúng phủ 90oC. Ở nhiệt độ này trên bề mặt nền đã xuất hiện 90 5,8 những vết lõm sâu (5,8 µm) và khá đồng đều trên bề mặt nền do sự ăn mòn của dung dịch tạo màng với nền. Như vậy nhiệt độ nhúng phủ càng cao, độ sâu chân bám càng lớn (độ bám dính của màng với nền càng tăng) 3.2.1.2. Ảnh hưởng tới tính chất của màng hỗn hợp oxit trên nền thép hợp kim cao a. Ảnh hưởng tới tính chất cơ lý: Tiến hành đo độ cứng của màng khi Bảng 3.3. Ảnh hưởng của nhiệt độ nhúng nhúng phủ ở các nhiệt độ khác nhau phủ tới độ cứng của màng (bảng 3.3) cho thấy độ cứng của màng Nhiệt độ Độ cứng hỗn hợp oxit trên nền thép hợp kim tăng nhúng phủ (oC) (KG/mm2) khi tăng nhiệt độ nhúng phủ. Giá trị độ 25 128 cứng khi nhúng phủ ở 90 oC cao gấp 3 lần so với khi nhúng phủ ở 25 C. độ o 50 300 cứng của màng đạt giá trị cao nhất là 375 90 375 KG/mm2, điện trở riêng của màng đạt 44,399 mm2/m. Như vậy khi nhúng phủ trong dung dịch có bổ sung 10 g/L SbCl3, điện trở của màng giảm đáng kể khi nhúng phủ trong dung dịch chỉ chứa SnCl 4. b. Ảnh hưởng tới độ bền điện hóa Kết quả đo điện thế ổn định của màng phủ ở 25oC, 50oC và 90oC (hình 3.6) cho thấy mẫu nhúng phủ trong dung dịch có nhiệt độ 25oC và 50oC có điện thế ổn định khá âm. Với mẫu nhúng phủ ở 90oC, điện thế ổn định, dương hơn nhiều so với mẫu nhúng phủ ở 25oC và 50oC. Ban đầu điện thế ổn định khoảng +90 mV, sau đó giảm dần về giá trị gần Hình 3.6. Ảnh hưởng của nhiệt độ nhúng bằng 0 mV và thay đổi không đáng kể phủ đến điện thế ổn định của màng phủ trong suốt quá trình đo do lớp màng hình trong dung dịch NaCl 3,5% thành đã phủ kín trên bề mặt và liên kết giữa màng và nền tốt hơn so với ở 25 oC và 50oC Như vậy, nhiệt độ nhúng phủ có ảnh hưởng khá lớn tới hình thái bề mặt, khả năng liên kết giữa màng và nền, độ dẫn điện mà và độ bền điện hóa của màng. 6
3.2.2. Ảnh hưởng của thời gian nhúng phủ tới cấu trúc và độ bền của màng khi bổ sung 10g/l SnCl3 trong dung dịch tạo màng chứa 162g/l SnCl 4 3.2.2.1. Ảnh hưởng tới hình thái bề mặt màng Tiến hành nhúng phủ tạo màng các mẫu tạo màng ở 90oC, nung ở 450oC trong 1 giờ với thời gian nhúng phủ thay đổi từ 5 phút đến 30 phút. Kết quả chụp SEM được trình bày ở hình 3.7. 5 phút 15 phút 30 phút Hình 3.7. Ảnh hưởng của thời gian nhúng phủ tới hình thái bề mặt của màng Kết quả ở hình 3.7 cho thấy thời gian nhúng phủ có ảnh hưởng khá nhiều tới hình thái cấu trúc lớp màng. Thời gian nhúng phủ càng lâu thì bề mặt càng xuất hiện những vết lõm sâu và rộng do khi nhúng phủ Fe, Ni, Cr trong nền thép chuyển thành Fe2+, Ni2+ và Cr2+. Thời gian phản ứng càng lâu thì bề mặt nền bị phá vỡ càng nhiều (ăn mòn nền càng diễn ra mạnh). Trong khoảng thời gian nhúng phủ từ 5 - 30 phút, nhúng phủ trong 5 phút có bề mặt màng tương đối đồng đều, vết lõm không quá sâu có thể đảm bảo cho màng bám được tốt trên nền. Do bề mặt nền khi nhúng phủ trong 30 phút quá gồ ghề, không đảm bảo độ bền cơ, bền hóa, bền điện hóa nên hình thái kim tương bề mặt được nghiên cứu sâu hơn với các mẫu có thời gian nhúng phủ từ 1 phút đến 15 phút. Kết quả được trình bày ở hình 3.8a,b. 1 phút 3 phút 5 phút 15 phút Hình 3.8a. Ảnh hưởng của thời gian nhúng phủ tới bề mặt kim tương của thép HKC 7
Nền thép Nền thép Nền thép Nền thép 1 phút 3 phút 5 phút 15 phút Hình 3.8b. Ảnh hưởng của thời gian nhúng phủ tới mặt cắt đứng của thép HKC Từ hình 3.8b và bảng 3.4 cho thấy Bảng 3.4. Ảnh hưởng của thời gian thời gian nhúng phủ càng lâu thì chiều nhúng phủ đến chiều cao chân bám cao và độ rộng của chân bám càng lớn, làm cho lớp phủ bám chắc hơn vào nền. Thời gian nhúng Chiều cao Tuy nhiên, khi tăng thời gian nhúng phủ phủ (phút) (µm) lên 15 phút, chiều cao và độ rộng chân 1 1,9 bám lớn có thể sẽ làm cho màng bám 3 3,2 không đều trên bề mặt nền và giảm độ 5 5,8 bền cơ, bền hóa của lớp màng 15 12,8 3.2.2.2. Ảnh hưởng của thời gian nhúng phủ tới độ bền điện hóa của màng Để khảo sát ảnh hưởng của thời gian nhúng phủ tới độ bền điện hóa, các mẫu sau nhúng phủ được tiến hành đo điện thế theo thời gian với các thời gian nhúng phủ thay đổi từ 3 phút đến 15 phút. Kết quả hình 3.9 cho thấy sau 6 giờ đo, mẫu nhúng phủ trong thời gian 15 phút có điện thế ổn định âm nhất trong 4 mẫu (-50mV). Mẫu nhúng phủ Hình 3.9. Ảnh hưởng của thời gian trong thời gian 5 phút có giá trị dương nhúng phủ đến điện thế ổn định của và ổn định hơn cả. Như vậy trong điều màng phủ trên nền thép hợp kim cao kiện khảo sát này, mẫu nhúng phủ 5 trong dung dịch NaCl 3,5% phút là bền và ổn định nhất. 3.2.3. Ảnh hưởng của thời gian nung tới hình thái cấu trúc và tính chất của màng phủ trên nền thép hợp kim cao khi bổ sung 10g/L SbCl3 3.2.3.1. Ảnh hưởng tới hình thái và cấu trúc của màng phủ Tiến hành đo SEM, XRD của mẫu nung ở 450 oC (thời gian nung lần nhúng phủ cuối cùng là 1 giờ). Kết quả được trình bày ở hình 3.10 và 3.11. Kết quả hình 3.10 cho thấy khi nung mẫu ở 450 oC trong 1 giờ, lớp phủ đã có sự kết khối vào nhau nhưng chưa hoàn toàn trên toàn bộ bề mặt lớp phủ, vẫn còn xuất hiện những chỗ có cấu trúc xốp và vết nứt có độ rộng khoảng 0,3 µm. 8
Hình 3.10. Hình thái bề mặt của màng Hình 3.11 Giản đồ nhiễu xạ tia X của hỗn hợp oxit khi ủ nhiệt ở 450oC trong màng hỗn hợp oxit trên thép hợp kim cao 1 giờ (độ phóng đại 30.000 lần) ủ nhiệt ở 450oC trong 1 giờ Kết quả chụp XRD (hình 3.11) của lớp màng phủ trên nền thép hợp kim cao cho thấy có sự xuất hiện các pic đặc trưng của oxit SnO 2 với 3 đỉnh nhiễu xạ tại các vị trí 2θ  26,59o, 33,88o và 52,78o tương ứng với các mặt họ (110), (101) và (211). Cường độ các pic thấp nên chưa có sự xuất hiện tinh thể SnO2 nhưng đã xuất hiện tinh thể Sb2O3 tại đỉnh nhiễu xạ với vị trí 2θ  50,69o tương ứng với mặt họ (212). Như vậy thời gian nung lần cuối cùng kéo dài 1 giờ lớp màng phủ hỗn hợp oxit chưa hoàn toàn kết khối vào nhau và chưa đủ để SnO2 tạo thành tinh thể. Tiến hành nghiên cứu ảnh hưởng của thời gian nung đến cấu trúc và tính chất của màng phủ với thời gian nung cho lần nhúng phủ cuối cùng thay đổi từ 1 đến 7 giờ. Kết quả được chỉ ra ở hình 3.12. 1 giờ 3 giờ 5 giờ 7 giờ o Hình 3.12. Hình thái cấu trúc bề mặt của màng khi ủ nhiệt ở 450 C với các thời gian nung khác nhau (độ phóng đại 200 lần và 10.000 lần) Kết quả cho thấy thời gian nung có ảnh hưởng khá lớn đến hình thái bề mặt của màng phủ. Khi tăng thời gian nung lên, cấu trúc của màng đã sít đặc và đồng nhất 9
hơn. Tuy nhiên khi thời gian nung kéo dài quá lâu có thể sẽ làm ảnh hưởng đến sự liên kết giữa hai oxit làm cho hình thái bề mặt màng có sự thay đổi. Kết quả hình 3.13 cho thấy cường độ nhiễu xạ tia X của các màng SnO2 pha tạp Sb luôn luôn thấp hơn màng không pha tạp. Kết quả chụp cũng cho thấy màng vô định hình khi nung ở 450oC trong 1 giờ và bắt đầu hình thành tinh thể khi ủ nhiệt ở 3 giờ trở lên với cấu trúc tứ giác rutile của SnO2, mặt tinh thể ưu tiên là (110) và mặt này phát triển cao nhất. Khi nung cho lần nhúng phủ cuối cùng ở 450oC trong thời gian từ 3 giờ đến 7 giờ, đều xuất hiện đa tinh thể SnO2 với 4 đỉnh Hình 3.13. Giản đồ nhiễu xạ tia X của nhiễu xạ tại các vị trí 2θ = 26,59o, màng ở các thời gian ủ nhiệt khác nhau 33,88o, 52,78o tương ứng với các mặt (110), (101), (211) và tinh thể Sb2O3 với đỉnh nhiễu xạ tại vị trí 2θ  50o với mặt (212). Chứng tỏ khi tiến hành nung từ 3 giờ đến 7 giờ SnCl4, SbCl3 đã bị phân hủy thành SnO 2, Sb2O3. Thời gian nung tăng lên thì cường độ pic tăng lên và độ rộng pic giảm xuống. Xu hướng này xảy ra khi nung trong thời gian từ 1 giờ đến 5 giờ. Với thời gian nung trong 3 giờ và 5 giờ, các pic đặc trưng của SnO2 đã sắc nét hơn, cường độ pic cao hơn so với khi nung ở 1 giờ. Tính toán kích thước tinh thể SnO2 theo Bảng 3.5. Sự phụ thuộc của kích thước phương trình Scherer (bảng 3.5) cho thấy tinh thể SnO2 vào thời gian ủ nhiệt SnO2 xuất hiện tinh thể khi thời gian nung Thời gian ủ Kích thước tinh thể từ 3 giờ trở lên. Kích thước tinh thể lớn nhất nhiệt TB khi mẫu được nung trong 5 giờ. Khi nâng 1h Vô định hình thời gian nung lên 7 giờ, kích thước giảm xuống do có xự xuất hiện thêm pic của oxit 3h 0,3342 nm SnO2 tương ứng với họ mặt (200) có cường 5h 0,4313 nm độ lớn hơn so với các thời gian nung còn lại. 7h 0,3659 nm Qua các kết quả nghiên cứu về hình thái cấu trúc bề mặt, cấu trúc tinh thể và kích thước tinh thể cho thấy chế độ nung ở 5 giờ cho cấu trúc tinh thể tốt nhất. Do đó chúng tôi đã lựa chọn chế độ nung 5 giờ cho các nghiên cứu tiếp theo. 3.2.3.2. Ảnh hưởng tới độ bền điện hóa của màng phủ trên nền thép hợp kim cao a. Ảnh hưởng tới điện thế ổn định của thép hợp kim cao có phủ màng Tiến hành khảo sát độ bền nhiệt động của màng hỗn hợp oxit trên nền thép hợp kim cao với thời gian nung khác nhau. Kết quả được trình bày trên hình 3.14. Kết quả cho thấy mẫu ban đầu (Mbđ) có điện thế ổn định ban đầu khoảng -90mV và có xu hướng chuyển về phía âm sau 10 giờ, tuy nhiên không nhiều sau đó điện thế thay đổi không đáng kể trong suốt thời gian 60 giờ. Với mẫu nung ở 450oC 10
trong 1 giờ và 5 giờ, điện thế ổn định đều dương hơn nhiều so với mẫu ban đầu và có xu hướng chuyển về phía âm. Mẫu được nung trong 5 giờ, ban đầu điện thế ổn định âm hơn nhưng sau đó khá ổn định và dương hơn so với mẫu chỉ nung 1 giờ. Điện thế ăn mòn càng dương thì mẫu càng bền. Như vậy, mẫu được nung 5 giờ có thể cho độ bền Hình 3.14. Ảnh hưởng của thời gian tốt hơn các mẫu khác. nung đến điện thế ổn định của màng b. Ảnh hưởng tới đường cong phân cực của thép hợp kim cao có phủ màng Mẫu ban đầu và các mẫu sau khi được xử lý nhiệt ở 450 oC trong 1 giờ và 5 giờ được đo đường cong phân cực trong dung dịch NaCl 3,5 % (Hình 3.15). Kết quả đo cho thấy dòng điện của mẫu ban đầu khá thấp, có xu hướng tăng dần khi tăng điện thế và không ổn định đến khoảng 1,3 V. Ở khoảng 1,5 V thì điện thế của mẫu gần như trùng với các mẫu nung ở 1 giờ và 5 giờ. Hai mẫu ủ nhiệt ở 1 giờ và 5 giờ có điện thế bắt đầu thụ động nhỏ (0,15 V) và khoảng thụ Hình 3.15. Ảnh hưởng của thời gian nung động khá lớn. Để làm rõ hơn về khả đến đường cong phân cực của thép hợp kim năng chống ăn mòn của mẫu xử lý cao Cr18Ni12Ti và mẫu sau ủ nhiệt trong nhiệt ủ ở 450oC trong 1 giờ và 5 dung dịch NaCl 3,5 %. giờ, các thông số điện hóa đã được xác định bằng phương pháp ngoại suy Tafel đường cong phân cực (Bảng 3.6). Kết quả cho thấy khi tăng thời gian nung thì dòng điện ic giảm và điện trở phân cực Rp tăng lên, tuy nhiên giá trị thay đổi không nhiều. Bảng 3.6. Các thông số điện hóa ngoại suy từ đường cong phân cực Thời gian xử lý ủ nhiệt iC (µA/cm2) Điện trở phân cực Rp (.cm2) Mẫu ban đầu 0,301 370,52 1 giờ 0,224 380,03 5 giờ 0,128 895,02 Như vậy khi nung ở 5 giờ, mẫu có độ bền tốt hơn hẳn so với mẫu ban đầu và mẫu nung ở 1 giờ. 3.2.4. Ảnh hƣởng của phƣơng pháp tạo màng đến cấu trúc và tính chất của lớp màng phủ trên thép hợp kim cao Tiến hành khảo sát cấu trúc và tính chất các mẫu tạo màng theo phương pháp 2 (rửa mẫu sau mỗi lần nung bằng nước cất, sấy khô ở 70oC trong 15 phút rồi quay lại nhúng phủ). Kết quả được trình bày như sau: 11
3.2.4.1. Ảnh hưởng đến cấu trúc của lớp màng phủ trên thép hợp kim ca a b Hình 3.16. Hình thái cấu trúc bề mặt của màng không rửa (a) và có rửa (b) sau 6 lần nhúng phủ (độ phóng đại 1000 lần) Kết quả chụp SEM của các mẫu nung ở 450oC, thời gian nung 5 giờ cho thấy bề mặt màng của mẫu chế tạo theo phương pháp 2 có liên kết dải khá đồng đều và sít chặt hơn so với mẫu chế tạo theo phương pháp 1. Điều này là do khi tiến hành rửa bề mặt màng sau mỗi lần ủ nhiệt sẽ loại bỏ được các chất tạo màng còn dư chưa bị phân hủy khỏi lớp màng, bề mặt trước mỗi lần rửa tiếp theo sạch hơn. Hình 3.17 cho thấy cường độ pic và độ rộng của pic ở hai phương pháp tạo màng ít có sự thay đổi, cả hai mẫu đều xuất hiện 4 pic đặc trưng của màng oxit SnO2 – Sb2O3 tương ứng với góc 2θ  270, 340, 500, 520. SnO2, Sb2O3 đều xuất hiện tinh thể tương ứng ở dạng cấu trúc tứ diện và hình thoi. Như vậy, phương pháp tạo màng ít ảnh hưởng tới cấu trúc tinh thể của màng trên nền thép hợp kim cao. Do hàm lượng SbCl3 cho vào Hình 3.17. XRD của màng khi nhúng dung dịch tạo màng ít nên cường độ pic phủ ở chế độ không rửa (a) và có rửa (b) Sb2O3 trên giản đồ nhiễu xạ tia X quá nhỏ để xác định thông số tính toán kích thước tinh thể theo phương trình Scherer. Từ phổ nhiễu xạ XRD tính được kích thước tinh thể của mẫu không rửa nhỏ hơn mẫu có rửa (0,4313 nm và 0,5976 nm) 3.2.4.2. Ảnh hưởng đến độ dày của màng phủ trên thép hợp kim cao a b Hình 3.18. Hình ảnh mặt cắt ngang của các mẫu không rửa (a) và mẫu có rửa (b) sau 6 lần nhúng phủ (độ phóng đại 1000 lần) 12
Tiến hành tạo màng theo hai phương pháp và chụp hình thái mặt cắt ngang. Kết quả chỉ ra ở hình 3.18 cho thấy, độ dày màng sau 6 lần nhúng phủ ở 2 phương pháp tạo màng có sự khác nhau. Với mẫu tạo màng theo phương pháp 1, độ dày màng là 61,7 µm nhưng với cùng số lần nhúng phủ khi tạo màng theo phương pháp 2 thì độ dày của màng giảm xuống còn 44,6 µm và có phần đặc sít hơn. Như vậy khi tạo màng màng theo phương pháp 2, cấu trúc của màng thay đổi, độ dày của màng giảm xuống. 3.2.4.3. Ảnh hưởng của chế độ tạo màng đến thành phần hóa học của màng phủ Các mẫu sau khi tạo màng theo hai phương pháp được chụp Phổ tán xạ năng lượng EDS. Kết quả được chỉ ra ở hình 3.19 và hình 3.20. Hình 3.19. Kết quả đo EDS của mẫu Hình 3.20. Kết quả đo EDS của mẫu không rửa sau nung có rửa sau nung Từ kết quả phân tích EDS cho thấy, thành phần hóa học các nguyên tố của màng đã thay đổi khi thay đổi chế độ tạo màng. Thành phần bề mặt màng chế tạo theo phương pháp 2 có sự xuất hiện của Sn với khối lượng tương đối lớn so với quá trình tạo màng theo phương pháp 1, thành phần các nguyên tố khác, đặc biệt là Cl ở hai chế độ nghiên cứu khác nhau khá lớn. Điều này làm cho màng sản phẩm theo phương pháp 2 có độ dày mỏng và đặc sít hơn. Vì khi mẫu được rửa sau ủ nhiệt đã loại bỏ các tạp chất tồn dư trên lớp màng. 3.2.5. Ảnh hưởng của nhiệt độ ủ nhiệt đến hình thái, cấu trúc và tính chất của màng phủ hỗn hợp oxit trên nền thép hợp kim cao 3.2.5.1. Ảnh hưởng đến hình thái và cấu trúc của màng phủ Để nghiên cứu ảnh hưởng này chúng tôi đã chụp hiển vi điện tử quét với các mẫu sau 6 lần nhúng phủ với nhiệt độ nung lần cuối cùng thay đổi từ 100oC đến 600oC, thời gian nung là 5 giờ. Kết quả được chỉ ra ở hình 3.21. 100oC 300oC 450oC 600oC Hình 3.21. Hình thái bề mặt của màng phủ ở các nhiệt độ nung khác nhau 13
Kết quả chụp cho thấy nhiệt độ nung có ảnh hưởng rất lớn đến hình thái cấu trúc bề mặt của lớp màng. Với các mẫu được xử lý nhiệt ở 100oC, màng có cấu trúc xốp, lớp phủ hình thành các rãnh, kẽ do quá trình mất nước vật lý. Ở nhiệt độ nung 300oC, cấu trúc bề mặt của màng đã mịn và đỡ xốp hơn khi xử lý nhiệt ở 100oC. Khi nung mẫu ở 450oC, màng đồng đều và sít chặt hơn. Nhưng khi nâng nhiệt độ nung lên 600oC, cấu trúc bề mặt màng đã thay đổi nhiều, trên bề mặt đã xuất hiện các hạt có cấu trúc hình cầu. Hình 3.22. XRD của màng hỗn hợp oxit Hình 3.23. Giản đồ nhiễu xạ tia X của ở các nhiệt độ ủ nhiệt khác nhau màng phủ khi xử lý nhiệt ở 100oC Kết quả phân tích XRD (hình 3.22, 3.23) cho thấy khi xử lý nhiệt ở 100 oC và 300oC, màng có cấu trúc vô định hình. Khi tăng nhiệt độ nung lên đến 450 oC, đã xuất hiện các pic đặc trưng của SnO2 và Sb2O3. Ở nhiệt độ nung 600oC, ngoài pic đặc trưng của SnO2 còn xuất hiện các tinh thể của Fe2O3 và Fe3O4. Điều này chứng tỏ ngoài quá trình hình thành màng hỗn hợp oxit SnO 2-Sb2O3 còn có sự phá hủy nền bởi dung dịch tạo màng dẫn đến sự hình thành các oxit sắt. Tinh thể SnO 2 dạng tứ diện chỉ xuất hiện khi nung trong khoảng 450oC. Khi nâng nhiệt độ nung lên 600oC, SnO2 ở dạng vô định hình, có sự xuất hiện thêm các tinh thể Fe 2O3 và Fe3O4 dạng mặt thoi và lập phương chứng tỏ ở nhiệt độ này, nền bị phân hủy tạo thành oxit sắt. Kết quả phân tích EDS của mẫu ủ nhiệt thay đổi từ 100oC đến 600oC (hình 3.24) cho thấy có sự thay đổi khá rõ thành phần các nguyên tố của màng khi tăng nhiệt độ ủ nhiệt từ 300 đến 600oC. Khi tăng nhiệt độ ủ nhiệt từ 300oC lên 450oC, hàm lượng Sn và O gần như không thay đổi, hàm lượng Sb tăng lên nhưng hàm lượng Fe giảm xuống. Nhưng khi tăng nhiệt độ ủ nhiệt lên 600oC, hàm lượng Fe tăng nhẹ, Sb giảm nhẹ còn O và Sn thayđổi khá mạnh. Sn giảm từ 50,17% xuống còn 14,57%; O tăng từ 22,12% lên 64,20%. Hình 3.24. Ảnh hưởng của nhiệt độ ủ nhiệt Kết quả này phù hợp với các nghiên tới thành phần các nguyên tố của màng 14
cứu trên khi ở 600oC không xuất hiện tinh thể SnO2 mà chỉ xuất hiện các tinh thể oxit sắt Fe2O3 và Fe3O4. Như vậy, nhiệt độ nung có ảnh hưởng khá lớn đến hình thái bề mặt màng, cấu trúc tinh thể, kích thước tinh thể và thành phần của lớp màng hỗn hợp oxit.Cấu trúc tinh thể của màng được tạo ra tốt nhất ở khoảng 450oC. 3.2.5.2. Ảnh hưởng đến độ bền của màng phủ hỗn hợp oxit trên nền thép hợp kim cao Kết quả đo điện thế ăn mòn của màng với thời gian nung khác nhau (hình 3.25) cho thấy điện thế ổn định của hai mẫu nung ở 100oC và 600oC giảm nhanh về giá trị âm sau 4 giờ xuống còn gần -180 mV, sau đó điện thế thay đổi không đáng kể trong suốt thời gian 60 giờ. Với mẫu nung ở 300oC, điện thế ban đầu dương nhưng Hình 3.25. Ảnh hưởng của thời gian nung thấp hơn so với mẫu được xử lý nhiệt ở đến điện thế ổn định của thép hợp kim cao 100oC. Tuy nhiên sau đó điện thế trong dung dịch NaCl 3,5% của màng dương và ổn định trong 30 giờ đầu rồi giảm dần và có xu hướng dịch chuyển về phía âm, đạt khoảng -10mV sau 50 giờ đo. Ở nhiệt độ nung này, mẫu có điện thế không ổn định, thay đổi nhiều theo thời gian. Với mẫu nung ở 450oC, điện thế ổn định ban đầu khoảng 45 mV sau đó giảm không đáng kể rồi có xu hướng chuyển dịch về phía dương hơn và ổn định ở khoảng 40 mV trong suốt quá trình đo tới 60 giờ. Như vậy nhiệt độ ủ nhiệt có ảnh hưởng khá lớn tới hình thái bề mặt, cấu trúc, thành phần và độ bền điện hóa của lớp màng oxit trên nền thép hợp kim cao. Màng ủ nhiệt ở 450oC trong 5 giờ có cấu trúc đồng đều, đặc sít và bền điện hóa hơn hẳn so với 3 chế độ ủ nhiệt còn lại. 3.2.6. Ảnh hưởng của nồng độ SbCl3 đến cấu trúc và tính chất của màng 5 g/L 10 g/L 15 g/L Hình 3.26. Hình thái bề mặt của màng phủ trên nền thép hợp kim cao khi tạo màng trong dung dịch có chứa các nồng độ SbCl 3 khác nhau Kết quả chụp SEM các mẫu có nồng độ SbCl3 thay đổi trong khoảng từ 5 đến 15 g/L (hình 3.26) cho thấy nồng độ SbCl3 trong dung dịch tạo màng phủ hỗn hợp oxit có ảnh hưởng tới hình thái cấu trúc bề mặt của màng. Nồng độ SbCl 3 trong dung dịch tạo màng càng lớn thì bề mặt màng càng đồng đều hơn. 15
Tiến hành chụp XRD các mẫu được nhúng phủ trong dung dịch có nồng độ SbCl3 thay đổi từ 0 đến 15 g/L (hình 3.27), kết quả cho thấy ở cả 4 nồng độ đều có xuất hiện các pic đặc trưng của SnO2 tại các vị trí 2θ  270, 340, 500, 520. Điều đó chứng tỏ SnCl4 đã bị phân hủy nhiệt thành SnO2. Giản đồ XRD cho thấy mẫu không bổ sung SbCl3 có cường độ píc ở họ mặt (110) lớn nhất. Khi có sự bổ sung SbCl3 vào dung dịch tạo màng, cường độ pic đặc trưng tại họ Hình 3.27. XRD của màng phủ ở các mặt (110), (101) và (211) của màng nồng độ SbCl3 khác nhau giảm đi khá rõ. Mặt ưu tiên (110) chỉ xuất hiện khi dung dịch được bổ sung 10 g/L SbCl 3, ở hai nồng độ còn lại pic của các mặt là tương đối đồng đều, không xuất hiện mặt ưu tiên. Tính kích thước tinh thể theo phương trình Scherer, kết quả được chỉ ra ở bảng 3.7. Bảng 3.7. Ảnh hưởng của nồng độ SbCl3 trong dung dịch tới hình dạng và kích thước tinh thể SnO2 và Sb2O3 Nồng độ SbCl3 trong Kích thước tinh Cấu trúc Cấu trúc dung dịch (g/l) thể SnO2 (nm) SnO2 Sb2O3 0 0,3637 tứ diện 5 0,3834 tứ diện vô định hình 10 0,5976 tứ diện hình thoi 15 0,4174 tứ diện vô định hình Bảng 3.7 cho thấy khi pha tạp Sb với nồng độ nhỏ (5 g/L) vào dung dịch tạo màng, kích thước tinh thể thay đổi không đáng kể (0,3834 nm so với 0,3637 nm khi không bổ sung). Nhưng khi tăng nồng độ Sb lên 10 g/L kích thước của tinh thể tăng lên đáng kể (0,5976 nm). Điều này có thể do với nồng độ cao, Sb pha tạp vào sẽ ở dạng Sb3+ có bán kính 0,076 µm thay thế vị trí của Sn4+ có bán kính 0,071 µm làm cho kích thước của tinh thể tăng lên. Khi tăng hàm lượng Sb lên đến 15 g/L, kích thước tinh thể đã giảm mạnh, tuy nhiên giá trị vẫn cao hơn so với khi bổ sung 5% SbCl3. Tiến hành đo điện trở suất của Bảng 3.8. Ảnh hưởng của nồng độ SbCl3 màng theo phương pháp bốn mũi dò. bổ sung tới điện trở suất của màng Kết quả đo cho thấy điện trở suất của Nồng độ SbCl3 trong Điện trở suất màng khi nhúng phủ trong dung dịch dung dịch (g/L) (.cm) không pha tạp Sb là khá lớn 2,2.103 (.cm), khi có sự pha tạp Sb vào 0 2,2.103 dung dịch tạo màng, điện trở suất 5 3,9.102 của màng giảm. Điện trở suất của 10 4,3.10-2 màng nhỏ nhất khi dung dịch được 15 1,4.103 16