B GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
TRƯỜNG ĐẠI HC BÁCH KHOA HÀ NI
NGUYN THÀNH VINH
NGHIÊN CU TÍNH CHT NHY KHÍ CA
VT LIU NANO Ô-T ST S DNG
VI CÂN TINH TH THCH ANH
LUN ÁN TIẾN SĨ KHOA HC VT LIU
HÀ NI, 2021
B GIÁO DỤC VÀ ĐÀO TẠO
TRƯỜNG ĐẠI HC BÁCH KHOA HÀ NI
NGUYN THÀNH VINH
NGHIÊN CU TÍNH CHT NHY KHÍ CA
VT LIU NANO Ô-XÍT ST S DNG
VI CÂN TINH TH THCH ANH
Ngành: Khoa hc vt liu
Mã ngành: 9440122
LUN ÁN TIẾN SĨ KHOA HỌC VT LIU
NGƯỜI HƯỚNG DN KHOA HC
1. PGS. TS. Nguyễn Văn Quy
2. GS. TS. Lê Anh Tun
HÀ NI, 2021
LI CM ƠN
Lời đầu tiên em xin gi li cm ơn sâu sắc nhất đến PGS. TS Nguyễn Văn
Quy Viện Đào tạo Quc tế v Khoa hc vt liu (ITIMS) Đại hc Bách Khoa Hà
Ni, GS. TS Lê Anh Tun Vin Nghiên cu nano Đại hc Phenikaa. Các thy đã
tận tình giúp đỡ ng dn em trong sut quá trình làm hc tp hoàn thành lun
án.
Em xin chân thành cảm ơn các thầy giáo, các anh ch em NCS, hc viên
cao hc Viện đào tạo Quc tế v Khoa hc vt liu (ITIMS), nhóm nghiên cu NEB
(ITIMS AIST Phenikaa University), nhóm iSensor (ITIMS) đã giúp đ em rt
nhiều trong công tác chuyên môn, đóng góp nhiều ý kiến tn tình trong quá trình hc,
giúp em hoàn thành lun án. Đồng thi, tôi xin chân thành cảm ơn sự giúp đỡ chuyên
n công tác ging dy, chế độ người lao động ca Ban giám hiu, tp th s
phạm nhà trường đặc bit ca anh ch em đồng nghip B môn Vt công
ngh Khoa Khoa hc ng dng Trường Đại hc Công ngh GTVT, đã giúp tôi
hoàn thành lun án.
Cui cùng và không kém phn quan trng, tôi xin cảm ơn các thành viên trong
gia đình tôi đã luôn bên tôi mang lại cho tôi động lực để hoàn thành quá trình
hc tp nghiên cu khoa hc.
Nghiên cu sinh
Nguyn Thành Vinh
LỜI CAM ĐOAN
Tôi xin cm đoan lun án này là công trình nghiên cu ca tôi dưới s ch bo
khoa hc ca tp th hướng dn. Lun án này không s sao chép tài liu, công
trình nghiên cu của người khác mà không có trích dn trong danh mc tài liu tham
kho. Nhng kết qu trong luận án chưa đưc ai công b dưới bt hình thc nào
ngoài tôi và tp th hướng dn. Tôi xin chu hoàn toàn trách nhiệm trước nhà trường
v lời cam đoan này.
Thay mt tp th hướng dn
PGS. TS Nguyễn Văn Quy
Hà Nội, ngày ……tháng…..năm……...
Nghiên cu sinh
Nguyn Thành Vinh
i
MC LC
LI CM ƠN
LỜI CAM ĐOAN
DANH MC CÁC KÍ HIU VÀ CH VIT TT ............................................. iv
DANH MC CÁC BNG ....................................................................................... vi
DANH MC CÁC HÌNH V ĐỒ TH................................................................. vii
M ĐẦU .................................................................................................................... 1
1. Lý do chn đ tài ............................................................................................... 1
2. Mc tiêu ca lun án ......................................................................................... 3
3. Ni dung nghiên cu ......................................................................................... 3
4. Đối tưng và phm vi nghiên cu .................................................................... 3
5. Phương pháp nghiên cứu .................................................................................. 4
6. Ý nghĩa khoa học và những đóng góp thực tin ca lun án ........................ 4
7. Tính mi ca lun án ........................................................................................ 4
8. B cc ca lun án............................................................................................. 5
CHƯƠNG 1: TỔNG QUAN .................................................................................... 7
1.1. Tng quan v vi cân tinh th thch anh (QCM) ......................................... 7
1.1.1. Hiu ứng áp điện ........................................................................................ 7
1.1.2. Vi cân tinh th thch anh ........................................................................... 8
1.2. Tng quan v ng dng QCM trong cm biến khí ................................... 12
1.2.1. Gii thiu v cm biến khí ....................................................................... 12
1.2.2. Cm biến QCM và nguyên lý hoạt động ................................................. 13
1.2.3. Cơ chế nhy khí ca các cm biến QCM ................................................ 17
1.3. Tng quan v vt liu nhy khí ca cm biến QCM ................................ 19
1.3.1. Vt liu nhóm cacbon .............................................................................. 19
1.3.2. Vt liu polymer và vt liu hữu cơ ........................................................ 22
1.3.3. Khung hữu cơ kim loại ............................................................................ 25
1.3.4. Vt liu nano ô-xít kim loi bán dn và các chất vô cơ ........................... 27
1.4. Tng quan v vt liu ô-xít st .................................................................... 29
1.4.1. Phương pháp chế to vt liu nano ô-xít st ............................................ 29
1.4.2. Vt liu nano ô-xít st ng dụng trong lĩnh vc cm biến môi trường...31
1.4.3. Tng quan v cu trúc vt liu nano ô-xít và ô-xít hydroxit ca st .... 36
1.5. Kết luận chương 1 ........................................................................................ 38
CHƯƠNG 2: CH TO, KHO SÁT TÍNH CHT VT LIU NANO Ô-XÍT
ST VÀ LP CM NHẬN TRÊN ĐIỆN CC QCM ....................................... 39
2.1 . Tng hp các vt liu nano ô-xít st ...................................................... 39
2.1.2. Tng hp các ht nano (NPs) ô-xít st .................................................... 39
2.1.2. Tng hp các thanh nano (NRs) ô-xít st ................................................ 42
2.2 . Nghiên cứu các phương pháp khảo sát tính cht hóa - ca vt liu...43
2.2.1. Phương pháp phân tích cấu trúc và thành phn mu ............................... 43